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技術情報誌 201909-01 シリカ表面のシラノール基の定量
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
する重要な因子である。本稿では、精度および感度が高く、安定的にシラノール基を定量する手法を紹介する。 【目次】 1.はじめに 2.原理 3.シリカ粒子の反応性シラノール基の定量 4.シリコンウエハの表面シラノール基の定量 5.シラノール基量の加熱による変化 6.まとめ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター
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