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シリコン半導体の工程等、クリーンなプロセスに!メタルフリータイプ
メタルフリータイプは、金属を極限まで排除し、より高次の清浄性を!シリコ…
タイプに比べ、金属元素を使用しない 設計のため、金属汚染が気になるお客様でも安心してお使い頂ける製品です。 表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用しており、 基板には標準規格のシリコンウエハを使用。半導体前工程での利用を想定し クリーンなプロセスで利用できるよう設計しています。 【特長】 ■金属元素を使用しない設計 ■表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用 ■...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サクラクレパス PI事業部
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MEMSデバイス試作から量産まで!お客様の未来創りをMEMS技術でお手…
シリコンセンシングのMEMSファンドリは1999年創業以降の自社MEMSジャイロセンサの生産実績を生かし、お客様のニーズにお応えしたMEMS開発・生産受託を行います。 PZT圧電薄膜、Si深掘りエッチング、ガラス加工、ウエハ接合など、自社ジャイロ製品へのユニークな要素技術開発にて培った豊富なノウハウを生かし、お客様をサポートいたします。 【サービス紹介】 ○PZT圧電薄膜成膜・エッチング...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン
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半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…
す。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、APCを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○8,12インチ用装置も設計可能 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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柔軟な対応と30年の実績!多岐に渡るご要望に応える、高機能受託加工サー…
、TiN など ・二元蒸着による合金膜の生成 ・各種積層膜:Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr、Cu/Cr、SiO2/Al など ■基板材質 ・シリコンウエハ など ・ガラス材:石英、ホウ系酸ガラス など ・セラミックス:サファイヤ材、SiC材、AIN材 など ・金属材:Al材、Ti材、SUS材 など ・樹脂:PET、PEN、PI...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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【コーティング事例】シリコンウエハ基板へのTiN膜コーティング
Alスパッタ+陽極酸化に耐える事ができ、規格を満たす事ができた事例をご…
東京都八王子市にある首都大学東京様からシリコンウエハ基板にAlを スパッタし陽極酸化処理を施したいが、密着性や特性等が規格を 満足する事がでいず困っていると相談がありました。 TiN膜を初層に成膜することにより、どのような変化を示すの...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ケンコー・トキナー 本社
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