ウエハー平坦度測定機『Wafercom 300』

シリコン透過式変位センサーを用いて、シリコンウエハ厚みを非接触で検出し…

『Wafercom 300』は、ベアーウエハー対応の多機能な計測装置です。 シリコン透過式変位センサーを用いてシリコンウエハ厚みを非接触で検出。 測定時の揺れを最小限にする為、Y 軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)には インド産黒御影石を使用した高精度なエアーベアリングを採用しており、 ウエハの厚みデータを正...

メーカー・取り扱い企業： 土井精密ラップ株式会社

高精度高機能低抵抗率計『ロレスターGXII MCP-T710』

カラー液晶タッチパネルにより高性能・簡単操作！4端子4探針法

、データ管理をタッチで実行します。 【特長】 ■測定範囲を0.001×10^-4～9,999×10^7Ωまで拡大 ■スタートボタン押すだけで自動的に測定可能 ■シリコンモードによりシリコンウエハの測定も可能 ■印加電流可変機能により電流を流し難い試料にも対応可能 ■電流の極性反転により更に安定な測定が可能 ■PCへの測定結果のリアルタイム出力可能(別売のデータロガーソフト使用)...

メーカー・取り扱い企業： 日東精工アナリテック株式会社

薄ウエハー厚み測定機『Real BG300』

Y軸とθ軸にてスパイラル軌道による全面の厚み測定も可能な測定機をご紹介

『Real BG300』は、バックグラインド工程後の多機能な厚み計測装置です。 高精度なX軸(左右軸)、Y軸(前後軸)とθ軸(回転軸)を有し、XYθ軸にて 2本の中心ライン測定、切断されるチップ間のスクライブライン測定が可能。 また、透過式変位センサーを使用している為、バックグラインドフレーム付き ウエハ・保護膜付きウエハも測定出来ます。 【特長】 ■シリコン透過式変位セン...

メーカー・取り扱い企業： 土井精密ラップ株式会社

抵抗率・厚み測定器 【EC-80SCAN】

抵抗率・厚み測定器 【EC-80SCAN】

【面内直線上をスキャン測定可能な、非接触 抵抗率/厚さ測定器】 ◆抵抗率・厚さセンサーを搭載し、１度に２種類の測定データ表示可能なので、太陽電池シリコンウエハの測定に最適 ◆抵抗率・厚さ測定は１点測定の他に、面内直線上を測定し、グラフ表示可能な『スキャン測定モード』を搭載 ◆エアーフローティングステージにより、ウエハ取扱いが容易 ◆測定データ...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【CRESBOX】

抵抗率／シート抵抗測定器【CRESBOX】

ション：オートステージシャッター） ●ユーザーフレンドリー性の高いパソコン+専用ソフトウェアでの操作システム ●測定パターンプログラマブルのため、円型・角型測定可能 ●セルフテスト機能、シリコンウエハ測定用厚さ・周辺位置・温度補正機能 ●シート抵抗・メタル膜厚表示可能 ●円型：最大1,225点、角型：最大1,000点の2-Ｄ/3-Ｄマッピングソフトウェア（オプション） ●対象ウエ...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

ＰＮ判定器 【PN-12α】

ＰＮ判定器 【PN-12α】

【広範囲な抵抗レンジで測定可能な接触型PN判定器】 ◆判定方式：熱起電力方式（ホット＆コールドプローブ） ◆ペン型のプローブを当てるだけで判定が可能 ◆ほとんどの試料（シリコンウエハ、バルク、インゴット）に対応 （表面が酸化している試料は判定不可能） ◆温度計、アナログメーターを標準装備 ◆自動ウエハ搬送装置に組込使用が可能（PN-12β） ●対象ウエハサイズ...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【NC-10】

抵抗率／シート抵抗測定器【NC-10】

接触の渦電流法なのでダメージを与えることなく測定が可能 ◆測定レンジにより、MiddleとHighの組み合わせセンサー交換式（オプションでLowセンサーもお選び頂けます） ◆温度補正機能（シリコンウエハ） ●対象ウエハサイズ：3インチ〜8インチ、または〜140mm角（オプション：2インチまたは12インチ対応、140mm以上の角型基板） （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

原子間力顕微鏡『ハンディAFM』

圧倒的な分解能を実現！今まで隠れていた微少な現象を測定

【測定検査例】 ■ソーラーセル ■炭化珪素薄膜 ■量子ドット ■シリコンウエハ ■プローブ痕 ■ICパターン ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ソフトワークス株式会社

Si フォトダイオード (TOパッケージ) (Si PD)

◆逆バイアス状況下で駆動◆大口径、四角形もラインナップ◆低ダークカレン…

■スペクトル検出範囲：400nm～1100nm LD-PDはMIL-I-45208に準拠した検査システムを導入しており、 Telcordia試験要件（TA-NWT-00093）およびMIL-STD-883試験方法に準拠しています。 【パラメータ：Typical値・シンボル・試験条件】 ●丸形φ0.2～φ8.0mm ディテクタサイズ(mm)：φ0.2、φ0.5、φ1、φ2、φ4、φ5、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプトロンサイエンス

非接触ウエハソーティングシステム【NC-3000R】

非接触ウエハソーティングシステム【NC-3000R】

【ロボット搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆シリコンウエハの抵抗・厚さ・P/Nタイプを非接触センサーで測定 ◆標準カセット数：7（ローダー/アンローダー合計、各カセット数は任意に設定可能） ●対象ウエハサイズ：12インチ（または、6インチ＆8...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

ＰＮ判定器 【ＰＮ-50α】

ＰＮ判定器 【ＰＮ-50α】

【センサーに近づけるだけで瞬時に判定可能な非接触ＰＮ判定器】 ◆判定方式：光パルス照射による光起電力方式 ◆非接触方式のため、シリコンウエハにダメージを与えません ◆表面に酸化膜のあるウエハも判定可能 ◆光パルス照射のため、瞬時に判定可能 ◆ＰＮ判定可能な抵抗率範囲：0.1〜1,000Ω/cm 　　　　（ただし、ウエハの表...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

ＰＮ判定器 【ＰＮ-1Ｓ】

ＰＮ判定器 【ＰＮ-1Ｓ】

【スピーディーな測定が可能な接触型PN判定器】 ◆判定方式：整流電力方式 ◆ほとんどの試料（シリコンウエハ、バルク、インゴット）に対応 （表面が酸化している試料は判定不可能） ◆測定ステージに載せ、0.2mmの細い2本の探針部に軽く接触させるだけで、瞬時に測定が可能 ◆自動ウエハ搬送装置に組...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【WS-8800】

抵抗率／シート抵抗測定器【WS-8800】

【4探針測定器にロボットとアライメントユニットを搭載した全自動システム】 ◆厚さ測定、P/N判定、温度測定に対応可能（シリコンウエハ） ◆セルフテスト機能、校正機能、広範囲測定レンジ ◆厚さ・周辺位置・温度補正機能（抵抗率測定時） ◆シート抵抗・膜厚表示が可能（メタル膜測定時） ◆カセット数はご要望により、いくつで...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社