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高平坦度・高位置精度のキャリア
『シリコンキャリア』は、半導体製造装置を改造せずに、 小口径ウエハや異形ウエハ等を搭載して搬送、そのまま大気中、 または真空中でのプロセスを可能とする高精度キャリアです。 2~12インチシリコンウェハを、お客様の基板が搭載可能な様に 加工(研削・研磨)、組み立てを致します。 また、シリコン以外に石英・金属・セラミック等各種材料にも対応可能です。 ご要望の際は、お気軽にご相談下さ...
メーカー・取り扱い企業: Carrier Integration株式会社
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抵抗率・厚み測定器 【EC-80SCAN】
【面内直線上をスキャン測定可能な、非接触 抵抗率/厚さ測定器】 ◆抵抗率・厚さセンサーを搭載し、1度に2種類の測定データ表示可能なので、太陽電池シリコンウエハの測定に最適 ◆抵抗率・厚さ測定は1点測定の他に、面内直線上を測定し、グラフ表示可能な『スキャン測定モード』を搭載 ◆エアーフローティングステージにより、ウエハ取扱いが容易 ◆測定データ...
メーカー・取り扱い企業: ナプソン株式会社
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抵抗率/シート抵抗測定器【CRESBOX】
ション:オートステージシャッター) ●ユーザーフレンドリー性の高いパソコン+専用ソフトウェアでの操作システム ●測定パターンプログラマブルのため、円型・角型測定可能 ●セルフテスト機能、シリコンウエハ測定用厚さ・周辺位置・温度補正機能 ●シート抵抗・メタル膜厚表示可能 ●円型:最大1,225点、角型:最大1,000点の2-D/3-Dマッピングソフトウェア(オプション) ●対象ウエ...
メーカー・取り扱い企業: ナプソン株式会社
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PN判定器 【PN-12α】
【広範囲な抵抗レンジで測定可能な接触型PN判定器】 ◆判定方式:熱起電力方式(ホット&コールドプローブ) ◆ペン型のプローブを当てるだけで判定が可能 ◆ほとんどの試料(シリコンウエハ、バルク、インゴット)に対応 (表面が酸化している試料は判定不可能) ◆温度計、アナログメーターを標準装備 ◆自動ウエハ搬送装置に組込使用が可能(PN-12β) ●対象ウエハサイズ...
メーカー・取り扱い企業: ナプソン株式会社
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電磁スキャナー式(特許取得済み) ダメージレスで非破壊で測定可能 …
初心者でも正確な測定が可能です! サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます! ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。 【製品特徴】 ・奥行幅、共に15cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能 ・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績 ・低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します ・スキャンに電磁スキャナー(特許取得済み)を使用す...
メーカー・取り扱い企業: ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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抵抗率/シート抵抗測定器【NC-10】
接触の渦電流法なのでダメージを与えることなく測定が可能 ◆測定レンジにより、MiddleとHighの組み合わせセンサー交換式(オプションでLowセンサーもお選び頂けます) ◆温度補正機能(シリコンウエハ) ●対象ウエハサイズ:3インチ〜8インチ、または〜140mm角(オプション:2インチまたは12インチ対応、140mm以上の角型基板) (※)その他詳細についてはお問い合わせ下さい...
メーカー・取り扱い企業: ナプソン株式会社
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本機械はφ8”シリコン製ウエハの厚さ測定を行う装置です
Siウェーハの厚さ及びSi段差部の各種測定を非接触、自動測定を行う装置です。...・前機種TME-06型より、操作性と機構等改善を行いました。 機構はシンプル化を行い、操作性はオペレータの利便性を優先項目として改善を行いました。 ・3種類のセンサを設けて多種多様な測定が可能になりました。 ・SECS通信、HSMS通信によるHOST通信に対応しています。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジャステム
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非接触ウエハソーティングシステム【NC-3000R】
【ロボット搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆シリコンウエハの抵抗・厚さ・P/Nタイプを非接触センサーで測定 ◆標準カセット数:7(ローダー/アンローダー合計、各カセット数は任意に設定可能) ●対象ウエハサイズ:12インチ(または、6インチ&8...
メーカー・取り扱い企業: ナプソン株式会社
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PN判定器 【PN-50α】
【センサーに近づけるだけで瞬時に判定可能な非接触PN判定器】 ◆判定方式:光パルス照射による光起電力方式 ◆非接触方式のため、シリコンウエハにダメージを与えません ◆表面に酸化膜のあるウエハも判定可能 ◆光パルス照射のため、瞬時に判定可能 ◆PN判定可能な抵抗率範囲:0.1〜1,000Ω/cm (ただし、ウエハの表...
メーカー・取り扱い企業: ナプソン株式会社
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PN判定器 【PN-1S】
【スピーディーな測定が可能な接触型PN判定器】 ◆判定方式:整流電力方式 ◆ほとんどの試料(シリコンウエハ、バルク、インゴット)に対応 (表面が酸化している試料は判定不可能) ◆測定ステージに載せ、0.2mmの細い2本の探針部に軽く接触させるだけで、瞬時に測定が可能 ◆自動ウエハ搬送装置に組...
メーカー・取り扱い企業: ナプソン株式会社
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抵抗率/シート抵抗測定器【WS-8800】
【4探針測定器にロボットとアライメントユニットを搭載した全自動システム】 ◆厚さ測定、P/N判定、温度測定に対応可能(シリコンウエハ) ◆セルフテスト機能、校正機能、広範囲測定レンジ ◆厚さ・周辺位置・温度補正機能(抵抗率測定時) ◆シート抵抗・膜厚表示が可能(メタル膜測定時) ◆カセット数はご要望により、いくつで...
メーカー・取り扱い企業: ナプソン株式会社
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