【解説資料】今さら聞けないパッキン・ガスケット・Oリングの違い

PRパッキン・ガスケット・Oリングの違いと、ステンレス容器の密閉に欠かせな…

ステンレス容器を使用する場合、使用目的により容器に対して様々な要求があります。 容器を密閉したり、容器から製造機器へ配管する際にシール部品が活躍しています。 ここでは弊社のステンレス容器で多く使用している様々なシール部品と、その中でもパッキンについて解説いたします。 ただし、ここに書かれているのは一般的に知られているものの紹介になります。 シール部品は材料や用途により、これ以外にも多く...

メーカー・取り扱い企業： MONOVATE(旧：日東金属工業)株式会社 八潮工場

ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

サイズ: DN 100 – 400 mm (4“ – 16“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質 アルミニウム: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、JIS リーク量 バルブボディ アルミニウム: < 1 × 10-9 mbar ls-1 アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26.4

高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ

-アングルおよびインラインボディ -ベローズ軸シール -大きな差圧対応 -長いサイクルライフ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

PARTICLE-FREEゲートバルブ

パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ

– ショックが極小 – パーティクル発生が少ない – 真空部と機構は隔離 – Vulcanized ゲートシール - 長いライフサイクル...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

低価格オールメタルアングルバルブ　SERIES 54.1

（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用

-シールはFLEX VATRING方式 -シール面の変形は弾性変形の範囲内 -標準的な六角レンチ、トルコ管理不要 -コンダクタンス大 -FLEX VATRINGは2回まで交換可能...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式高真空バルブ　Series 16.2

コンパクトな真空封止用バルブ

) アクチュエータ 圧空作動式: 単動シリンダー 、閉動作はスプリング（NC） 3位置圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC） ボディ材質: アルミニウム 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、ASA-LP、JIS リーク量 バルブボディ、バルブシート: < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲: 1 × 1...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

コントロールゲートバルブ　Series 64.2

極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

サイズ: DN63-400mm アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS シール技術: VATLOCK リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

UHVゲートバルブ　SERIES 10.8

開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態…

-潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易　...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

真空ゲートバルブ　SERIES 12.1

VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ

研究開発および産業の低真空アプリケーション用のバルブ -機械的なロックで、逆圧状況においても確実にシールするVATLOCKシステムのゲートバルブ -エアダンピングにより、振動が少ないためポンプに負担を掛けない構造 -取外しが簡単でメンテナンスが容易 -低コスト...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ソフト排気用アングルバルブ　Series 29.0

大きな差圧に対応可能！

≤ 1 bar DN 100-160: ≤ 1 bar 第一回サービスまでのサイクル数 DN 63-80: 三百万回 DN 100-160: 百万回 軸シール（メインバルブ） DN 63-80: ベローズ DN 100-160: Oリング軸シール 電磁弁 DN 63-80: 24V DC、9.0W DN 100-160: 24...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

バタフライコントロールシステム　Series 61.2

CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

サイズ: DN25-320mm (1“ – 12“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-KF、ISO-F リーク量: バルブボディ < 1 × 10 -9 mbar ls -1 使用圧力範囲: 1 × 10 -8 mbar...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

コンボコントロールバルブ　SERIES 95.1/95.2

優れた圧力制御能力を持ったコントロールバルブの組み合わせバルブ

システム。ゲートバルブはバタフライコントロールバルブのスレーブで、OEMインターフェイスに向いています。 Series 95.1: コントロールバルブとアングルバルブの組み合わせ。ベローズ軸シール付き。0.1MPaの差圧でバルブの開動作可能。 Series 95.2: コントロールバルブとゲートバルブの組み合わせ。O-リング軸シール付き。...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ミニUHVゲートバルブ　SERIES 01.0

UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ

-潤滑剤不要 -パーティクル発生が少ない -ショック低減 -Vulcanizedシール

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ FLAPVAT　Series 06.8

短い開閉時間による高いスループット

19.69“ ～ 3.94“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール リーク量 バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1 バルブシート: < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧 バル...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ SOLVAT　Series 06.6

過酷なプロセスおよび高温に対応した設計

19.69“～11.81“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: Oリング軸シール リーク量 バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1 バルブシート: < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧: ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ TWINVAT　Series 06.1

軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ

リミットスイッチ/電圧: 24V DC PNP (NPN optional) 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤2 s（開口高さ150 mm） 軸シール: Oリング軸シール 取付け方向: アクチュエータ上向または下向...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

バタフライバルブ　SERIES 21.0

コンパクトな真空遮断バルブ。ゲートバルブの代替品としても活用。

サイズ: DN 63-250mm (2 ½“ – 10“) アクチュエータ: ターニングレバーによる手動式 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: O-リング回転軸シール 標準フランジ: DN 63-160 ISO-F DN 250 ISO-F, ISO-K...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲート/インサート MONOVAT

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロック…

(1.26“ x 8.74“ to 3.94“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール シール技術: MONOVAT機構 ゲート開口部の寸法にかかわらず、アクチュエータは共通のモジュラーシステムを採用...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

オールメタルゲートバルブ　SERIES 48.1/48.2

開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応

サイズ: DN 16-320mm (⅝“ – 12“) アクチュエータ: 手動式 圧空作動式 複動シリンダー、延長型とコンパクト型 ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-Fメートルねじ シーリング技術: VATRING "hard on hard"...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

UHVアングルバルブ　Series 28.4

腐食性ガスにも対応！

(⅝“ – 2½“) アクチュエータ: 手動式-取外し可能なハンドホイール式 圧空作動式-単動シリンダースプリングによる閉動作（NC) ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-R...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ビームストッパー/ビームストッパー インサート

フォトンストッパー等の多様なアプリケーション用

サイズ: DN 63-160mm (2 ½“ – 6“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-F...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

緊急遮断シャッターシステム　Series 77.1/77.3

加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護する

サイズ: DN 40-160mm (1 ½“ – 6“) アクチュエータ: 圧空作動式、複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-F...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

高真空ゲートバルブ　SERIES 09.1

0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ

0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能 -真空封止アプリケーション用の高真空ゲートバルブ -ウェッジシールにより圧力差があっても開け閉め可能...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

均等なガスフローで高度なプロセスに最適

50mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム 軸シール: ベローズ フランジ: ポンプ側 ISO-F, JIS チャンバー側 顧客仕様による...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封…

250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム 軸シール: ベローズ フランジ: ポンプ側 ISO-F, JIS　チャンバー側 顧客仕様による ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

Lゲートバルブ　SERIES 92.0

半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮…

イズ: DN10-100mm(⅜“ – 4“) アクチュエータ: 圧空作動 単動シリンダースプリングによる閉動作、または複動シリンダー ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-KF, ISO-F, CF-F 真空レベル: HV, UHV ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型ドアー L-VAT　Series 07.8

優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ

3000 mm (3.19“ × 31.50“～9.84“ × 118.11“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ゲート材質: アルミニウム シール技術: L-VAT リーク量: ゲート（閉方向） < 1 x 10-7 mbar ls-1（Δp at gate = 0.1 MPa） ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ閉方向: ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社