ギ酸還元対応　卓上型真空リフロー装置『VSS-450-300』

PR課題解決事例を進呈中！ギ酸還元でボイドレス・フラックス残渣ゼロの高信頼…

『VSS-450-300』は、はんだリフローや酸化還元処理の他、ペーストの 焼結など、様々なアプリケーションにも柔軟に対応した 卓上型真空はんだリフロー装置です。 有効加熱エリアは300×300×50mmですので、高さのある部品実装にも 余裕で対応することができます。 【特長】 ■フラックスレスはんだ（還元方式）・フラックス入りはんだ両対応 ■卓上型サイズながら、最大到達温度...

メーカー・取り扱い企業： ユニテンプジャパン株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

実験用真空チャンバー

納入後のプロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応！大気圧ピラニ真空…

当社で取り扱う『実験用真空チャンバー』をご紹介いたします。 チャンバー材質はステンレス、チャンバー容量は約58L。空冷式ドライ 真空ポンプを搭載しております。 当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて 装置を設計、製造いたします。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様（抜粋）】 ■チャンバー材質：ステンレス製 ■チャンバーサイズ：Φ1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社DINOVAC

コンパクト真空チャンバー『AXCVC10T』

稼動部分はウィルソンシール(上下部)を使用したコンパクト真空チャンバー

『AXCVC10T』は、上下駆動部をスライドブッシングを使用することにより 正確な稼動が可能なコンパクト真空チャンバーです。 NW(クイックフランジ)を上下及び側面に設置しており、あらゆる真空用 部品(真空計等)に対応。 また、前面大口径ハッチの採用でチャンバーの内部のオペレーションが 容易になっております。 【特長】 ■前面ハッチはレバー式を採用にて締め付けが容易 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本アクシス

真空発生チャンバー

びびりピタV用の真空発生器！！

真空発生器と真空チャンバーを一体化した画期的な商品です。...●真空発生器内蔵です。エアーガン等で圧縮空気を注入しタンク内を真空にします。 ●常時エアーホースを繋ぐ必要が無いので、テーブル回転式の横型マシニングセンタ、テーブル移動量の大きい門形マシニングセンタにも最適です。 ●電力を使用しないので切削液がかかる環境でも漏電の心配がありません。 ●ワーク側の吸着面にもよりますが、1時間位は圧縮...

メーカー・取り扱い企業： 香川クレメン株式会社

卓上真空貼合装置(B3タイプ)

研究開発（要素技術）に最適！/卓上真空貼合装置

チャンバー蓋開閉：ヒンジ式 加圧力：40kgf ロードセル：有り Z軸：自動 真空計：ピラニー ヒーター:有り ・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。 ・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。 ・上下ステージはMax120℃のヒーター内蔵。 ・貼り付け動作は精密Zステージを電動操作。 ・ロギン...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

卓上真空ラミネーター(B2タイプ)　真空貼合装置

研究開発（要素技術）に最適！/卓上真空ラミネーター

チャンバー蓋開閉：ヒンジ式 加圧力：40kgf ロードセル：有り Z軸：手動 真空計：ピラニー ヒーター:無し ・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。 ・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。...基板サイズ：20mm×20mm～120mm×120mm　 上ステージ：石英（UV照射エリア110mm...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

卓上真空ラミネーター(A2タイプ)　真空貼合装置

研究開発（要素技術）に最適！/卓上真空ラミネーター

チャンバー蓋開閉：分割式 加圧力：40kgf ロードセル：有り Z軸：手動 真空計：ピラニー ヒーター:無し ・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。 ・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。...基板サイズ：20mm×20mm～120mm×120mm　 上ステージ：石英（UV照射エリア110mmロ...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

卓上真空ラミネーター(B1タイプ)　真空貼合装置

研究開発（要素技術）に最適！/卓上真空ラミネーター

チャンバー蓋開閉：ヒンジ式 加圧力：4kgf ロードセル：無し Z軸：手動 真空計：プルドン ヒーター:無し ・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。 ・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。...基板サイズ：20mm×20mm～120mm×120mm　 上ステージ：石英（UV照射エリア110mmロ...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

卓上真空ラミネーター(A1タイプ)　真空貼合装置

研究開発（要素技術）に最適！/卓上真空ラミネーター

チャンバー蓋開閉：分割式 加圧力：4kgf ロードセル：無し Z軸：手動 真空計：プルドン ヒーター:無し ・微粘着パッドにより真空中でガラス基板を保持し、下基板に気泡レスで貼り付けます。 ・上ステージは石英ステージを採用。貼合状態の観察と真空中でのUV照射が可能です。...基板サイズ：20mm×20mm～120mm×120mm　 上ステージ：石英（UV照射エリア110mmロ）...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

真空注液機 / 真空シーラー　『VD1000A』

ラミネート型セルの電解液注液(注入)から含侵・真空シールまでこれ1台で…

●『VD1000A』はラミネート電池(パウチセル)専用のラボ用真空注液装置です。 ●チャンバー内を真空にして電解液を注入・含浸し、真空状態のままラミネートフィルムを任意の温度で加熱封止します。 ●アルゴン雰囲気のグローブボックスやドライルームに設置可能です。...電解液の注液量はモータドライブ式計量ポンプにより、必要量を精度良く計量します。 注入速度は流量可変注入ポンプにより、自由に設定...

メーカー・取り扱い企業： 宝泉株式会社

【コンパクト×高拡張性】モジュール式真空成膜装置の優位性

シンプルな操作性！短時間かつ低コストで全く異なる目的の真空システムに再…

当社が取り扱う『モジュール式真空成膜装置』についてご紹介します。 一般的な真空装置の場合、KFポートやCFポートが溶接されていて、 システム導入後はポート配置は固定され、チャンバー構成を 変更することはできません。 当製品の場合、すべてのパネルは取り外して交換可能。 まさにブロックを組み立てるような要領で、さまざまな チャンバー構成に変更することができます。 【優位性（一...

メーカー・取り扱い企業： テガサイエンス株式会社

ルーツ真空ポンプ

メカニカルブースターポンプ

まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 　 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 　 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

一段式ロータリーベーン真空ポンプ SOGEVAC Bシリーズ

一段式の油回転式真空ポンプ。 低い騒音レベルとスムーズな操作性。幅広…

一般産業だけでなく研究開発分野においても適した油回転式真空ポンプ。 低～中真空の排気に適し、ルーツ真空ポンプやターボ分子ポンプなどと 組み合わせることにより高真空を得ることもできます。 排気速度10～750m3 x h-1の幅広いラインナップからお客様のニーズに適したポンプを選択できます。 【主な特徴】 -　低圧でも高い排気速度 -　低い騒音レベルとスムーズな操作 -　内蔵の効率的な排気フィルタ...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社

真空デシケーター『FVD-BU』

300mmウェーハのFOUP、FOSB用！シンプルなベーシックユニット…

『FVD-BU』は、ウェーハをFOUP・FOSB（パージポート付）に入れたまま真空保管、 脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使える真空デシケーターです。 ウェーハはFOUPの気密性に影響されず、長期間保管可能。チャンバーはFOUPの 大きさに合わせたコンパクトなサイズ。 また、FOUPなどの出し入れに便利なダンパーヒンジ付きで開閉がスムーズです。 この他に、電動タイプの「FV...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

周辺機器　真空プローバーシステム

お客様のニーズに応えて新しい真空システムの誕生です！

当社では、お客様のニーズに応えて新しい真空システム 『周辺機器　真空プローバーシステム』の設計・製造・販売を行っております。 【特徴】 ○真空チャンバー部分は内寸φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ）と 大き目な設計のため冷却、加熱機構の他、研究用途に応じた対応が可能 ○本体寸法：420ｍｍ（幅）ｘ420ｍｍ（奥行き）ｘ545ｍｍ（高さ） ○チャンバー内寸：φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ） ○アル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

耐熱204℃カプラと真空バッグコネクタ　オートクレーブ・乾燥炉用

特殊シールで200℃を超える仕様の耐熱カプラ　VC200(オスメスセッ…

この高性能なクイックリリース真空カップリングと真空バッグコネクターは真空ホースを素早く確実に取り付けることができるように設計されています。 VC200は、オスとメスの2つのパーツで構成されています。 接続すると気密性が高くなり、空気を通すことができます。 取り外すと自動的に内部のバルブが閉じ、カップリングの片側からの空気の漏れを防ぎます。 VC200はＣＦＲＰ等の複合材料用にカスタムメイド...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トミタ

平行平板式減圧プラズマ処理装置　真空プラズマ装置

各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基（親水、親油、密着性…

「PC-RIEシリーズ」は、各種基板/フィルム等に対して、様々な表面改質効果を与える処理が可能です。 もちろん、一般的なプラズマ処理装置として、アッシング、エッチング、デスミア等の処理も可能です。 チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○官能基修飾処理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

角型ゲートバルブ

「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！

当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。 【特長】 〈デュアルゲートバルブ〉 ■完全水平移動の為、Oリングの擦れが無い ■左右の独立駆動によりPM/TMチャンバ...

メーカー・取り扱い企業： ナカンテクノ株式会社

押出成形機の真空供給に好適：クロー真空ポンプ「 MINK 」

モノマー、オリゴマーを吸引しても怖くない！構造がシンプルでロックしにく…

★---------------------------------------------★ ★プラスチックジャパンに実機展示します★ 12月7日より幕張メッセで開催の展示会「プラスチックジャパン」で実機をご覧いただけます。導入事例のご紹介もいたします。是非お越しください！ ★---------------------------------------------★ プラスチックの...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

スクリュー式　ドライ真空ポンプ

真空包装業界の方に朗報！　廉価版低運転費新型ポンプです！

スクリュー式ドライ真空ポンプＳシリーズは、不等ピッチスクリューを標準採用し、モーター容量を、従来型と比較して、１ランク小さくできる可能性があります。 また、一般大気以外の気体の対応も幅広く対応可能です。 補助機器も含め、真空源全体の設計も受けまわっておりますので、一度御相談ください。...スクリュー型ドライ真空ポンプは、平行したスクリュー型のローターから構成されています。一方は、左巻、他方は、...

メーカー・取り扱い企業： ガードナー・デンバー株式会社 八潮事業所　ブロワー事業部

管路バイパスシステム『SCP』

汚水槽、配管、装置から悪臭が出ない管路バイパスシステム

『SCP』は、水道の本管部分と各家庭に繋ぐ取り付け管部分を、 同時にバイパス・管理することができ、 真空の力で汚水を確実に搬送する真空制御システムです。 従来の家庭枡を使用しながら、安全に下水管の補修作業を行うことが可能。 また、現状のライフラインへの影響を懸念することなく 早期の工事着工ができるため、よりスムーズなライフライン回復が 期待できます。 【特長】 ■汚水槽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山陽

【納入事例】自動車部品リークテスト用 高真空排気ユニット

ターボ分子ポンプを主ポンプとした『高真空排気ユニット』の事例をご紹介し…

今回自動車部品のリークテスト向けに納入させていただいた排気ユニットは、 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型 油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。 ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの アングルバルブで真空チャンバーと接続します。 ターボ分子ポンプと油回転真空ポンプは、車輪のついたカートに 取り...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

真空装置　基板用平行平板プラズマ処理装置　PC-RIEシリーズ

処理可能基板サイズ550×650ｍｍ。無廃液化・低ランニングコストを実…

「PC-RIEシリーズ」は、中型液晶基板、プリント基板等のアッシング、デスミア、表面改質、Ｆ系ガスエッチング等の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○真空プラズマ技術は従来の処理に比べて良環境化 →クリーン化，無廃液化 ○低ランニングコス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

角型ゲート/インサート MONOVAT

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロック…

-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン ...開口サイズ: 32 x 222mm to 100 x 500mm (1.26“ x 8.74“ to 3.94“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミット...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

米国XALOY社製「BERINGERジェットクリーナー」

金属部品に付着した樹脂の安全で効果的なクリーニングに

ジェットクリーナーは、ダイ・スクリュー・スクリーンチェンジャー部品など金属部品に付着した樹脂を、熱と真空を利用して除去します。 トーチや手作業のブラッシング、化学処理のような時間のかかる複雑な処理を行う必要が無い為、クリーニングの時間、コストが削減でき、加えて安全性も向上します。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○熱媒不要 →熱媒交換が必要ないためコスト...

メーカー・取り扱い企業： 極東貿易株式会社

焼成後のパン・焼き菓子の冷却時間を大幅削減する真空冷却機

通常冷却では60～120分かかるところ、真空冷却機を利用することで約8…

焼成後のパンや焼き菓子の冷却時間に悩まされていませんか？ 当資料では、冷却時間を短縮するウェーバー・クーリング社の真空冷却について 詳しくご紹介しております。 製パンの革新的技術や真空冷却のメリット、We Bakeの特長などを豊富に掲載。 通常の冷却では焼成後冷却用のラックやコンベアに乗せて約60～120分かかるところが 真空冷却機を利用することで冷却時間を約8～13分に大幅削減が可能！ 【...

メーカー・取り扱い企業： パシフィック洋行株式会社 機械部・ベークウェアー部

真空乾燥器・真空乾燥装置・真空ベーキング装置

ご要求仕様に合わせて製作するカスタマイズの真空乾燥・ベーキング装置。ニ…

佐藤真空の真空乾燥器・真空乾燥装置・真空ベーキング装置は、チャンバーサイズ・真空度・加熱温度・操作方式など、各々に特長をもった多種多様なシリーズをラインアップしています。 ご要求仕様に合わせて製作するカスタマイズの真空装置を得意としており、お客様のご要望を真空装置として具現化します。...【製品ラインナップ】 ■真空乾燥器・真空乾燥装置：DQ-P ■真空乾燥器・真空乾燥装置：DQ-S ■真...

メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社

製品カタログ　真空装置

FCCLや透明導電膜、脱ガスなどをラインアップ

当カタログは、株式会社ヒラノK&Eが取り扱う真空装置を掲載した 製品カタログです。 マルチチャンバー方式を採用することにより生産量に応じたレイアウトが 可能な「FCCL」をはじめ、1000mm以上の広幅の成膜が可能な「透明導電膜」、 アモルファスシリコン系太陽電池の製造装置として納入実績のある「各種電池」 などをご紹介しております。 【掲載内容】 ■FCCL ■透明導電膜 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒラノK&E

真空乾燥・真空ベーキング装置 DN "Aurora"Type

到達圧力 ×10^1Pa により、多様な研究開発の要請にお応えする真空…

外装はオールステンレス製の美しいヘアライン仕上げで、設置場所に合わせた 真空ポンプとのつなぎ方が可能です。 実験机の上などのスペースを有効利用できる真空乾燥装置です。 ...■高真空…到達圧力：×10^1Pa 油回転真空ポンプとつないで高い真空度が得られ、漏れの極めて少ない真空室でのクリーンな加熱処理を提供 ■真空度の測定が可能 ピラニ真空計のセンサーをセットできるゲージポート(φ15...

メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社

真空ガス置換乾燥装置

低酸素環境でのクリーンなガス雰囲気循環ファン加熱を可能とする真空ガス置…

真空排気による効率的なガス置換により、処理室内の酸素濃度を迅速に低減、低酸素環境でのクリーンなガス雰囲気循環ファン加熱をおこないます。...【特徴】 ■置換に要するガス量と時間を大幅に低減。 　強力な真空排気機能によりガス置換を効率的におこない、フロー式に比べガス量の節約と時間の短縮をもたらします。 ■酸素濃度管理と工程管理が確実で容易。 　一定の排気能力を持った真空ポンプで槽内エアを...

メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社

【資料】WEBER VACUUM COOLING＜真空冷却＞

スマートに焼成して品質向上！パン、焼き菓子製造のためのインスピレーショ…

当資料では、ウェーバー・クーリング社の真空冷却について 詳しくご紹介しております。 製パンの革新的技術や真空冷却のメリット、We Bakeの特長などを豊富に掲載。 専門知識とスケールメリットを活かし、抜群の費用対効果を持つ製品を 開発しています。製品選定の際に、ぜひご一読ください。 【掲載内容(一部)】 ■ウェーバー・クーリング社：真空冷却は私たちにお任せください ■真空...

メーカー・取り扱い企業： パシフィック洋行株式会社 機械部・ベークウェアー部