チャンバー式 | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

ギ酸還元対応　卓上型真空リフロー装置『VSS-450-300』

PR課題解決事例を進呈中！ギ酸還元でボイドレス・フラックス残渣ゼロの高信頼…

『VSS-450-300』は、はんだリフローや酸化還元処理の他、ペーストの焼結など、様々なアプリケーションにも柔軟に対応した卓上型真空はんだリフロー装置です。有効加熱エリアは300×300×50mmですので、高さのある部品実装にも余裕で対応することができます。【特長】 ■フラックスレスはんだ（還元方式）・フラックス入りはんだ両対応 ■卓上型サイズながら、最大到達温度...

メーカー・取り扱い企業：ユニテンプジャパン株式会社

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

ME-5000　枚葉式スピンエッチャー　

ウエハ300mm、両面処理対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーで…

『ME-5000』は、シリコンウエハ300mm/８.6.4インチ、８.6.4インチSiC及びGaNウエハ対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーです。エッチングチャンバーの上下可動方式で２本のアームによる動きは旋回、上下運動が可能です。洗浄部カバー内に気流を作り、薬液は酸系４種類及び純水の５種類で分離回収します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください.....

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

実験器具自動洗浄装置『LAB500シリーズ』＜Steelco社＞

洗浄工程のリスク低減・自動化・効率化！洗浄対象器具ごとに洗浄方法の設定…

『LAB500シリーズ』は、破損、けがの恐れ、洗浄ムラなどリスクを低減、洗浄に掛かる時間を節約できる実験器具自動洗浄装置です。内蔵マイクロプロセッサで洗浄サイクルの状態を常に監視し、洗浄終了やエラーなどをアラームでお知らせ。カスタマイズできる制御プログラムは、洗浄温度、時間、回数、洗浄水の選択及び液体洗浄剤の種類、投入のタイミング、洗浄剤の量、乾燥温度、時間等の設定ができます。また...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンマシナリー株式会社

《新型》セミオートUDSスピン枚葉装置

RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど！各種プロセ…

当装置は、薬液の完全分離・再利用を達成し、薬液処理⇒リンス⇒乾燥のフルプロセスをワンスピン処理可能なマニュアルSpin枚葉処理装置です。フットプリントやコストの大幅な削減ができ、《特許取得成立済み》丸形状の基板は勿論、角形状基板にも対応可能。「RCA」は勿論、「現像」「エッチング」「洗浄」「剥離」「リフトオフ」と言った各種プロセス処理に対応実績多数です。【特長】...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

【スチール製】移動式乾式スクラバー『HFF』TAKASHO

スチール製の小型スクラバー！水洗浄では除去しにくい有機溶剤や悪臭をフィ…

『HFFシリーズ』は、不溶性ガス・有機溶剤・悪臭をチャンバー内に格納された粒状活性炭で吸着するスチール製の移動式乾式スクラバーです。実験室内の悪臭除去に、または実験台での作業で溶剤ガスが発生する場合、局所的に除去排出させるのに好適。また、キャスター付きですので、実験室から実験室への移動も簡単です。【特長】 ■スチール製 ■チャンバー内に格納された粒状活性炭で吸着...

メーカー・取り扱い企業：貴商エンジニアリング株式会社

【ステンレス製】移動式乾式スクラバー『HFF』TAKASHO

ステンレス製の小型スクラバー！水洗浄では除去しにくい有機溶剤や悪臭をフ…

『HFFシリーズ』は、不溶性ガス・有機溶剤・悪臭をチャンバー内に格納された粒状活性炭で吸着するステンレス製の移動式乾式スクラバーです。実験室内の悪臭除去に、または実験台での作業で溶剤ガスが発生する場合、局所的に除去排出させるのに好適。また、キャスター付きですので、実験室から実験室への移動も簡単です。【特長】 ■ステンレス製 ■チャンバー内に格納された粒状活性炭で...

メーカー・取り扱い企業：貴商エンジニアリング株式会社

【塩ビ製】移動式乾式スクラバー『HFF』TAKASHO

塩化ビニール製の小型スクラバー！水洗浄では除去しにくい有機溶剤や悪臭を…

『HFFシリーズ』は、不溶性ガス・有機溶剤・悪臭をチャンバー内に格納された粒状活性炭で吸着する塩化ビニール製の移動式乾式スクラバーです。実験室内の悪臭除去に、または実験台での作業で溶剤ガスが発生する場合、局所的に除去排出させるのに好適。また、キャスター付きですので、実験室から実験室への移動も簡単です。【特長】 ■塩化ビニール製 ■チャンバー内に格納された粒状活性...

メーカー・取り扱い企業：貴商エンジニアリング株式会社

ドラム式脱水機『トロンメル／ドラムスクリーン』

あらゆる分野で使用可能！微細浮遊物などの除去、濃縮、脱水、固液分離等に

『トロンメル／ドラムスクリーン』は、SS、スラッジ、微細浮遊物などの除去、濃縮、脱水、固液分離等あらゆる分野で使用できるドラム式脱水機です。少容量から大容量のスラリー処理が可能です。ワイヤーメッシュまたはパンチングプレートは目的に合わせ適したサイズに選定できます。また、洗浄脱水機構が付属した特殊仕様品もあります。【特長】 ■少容量から大容量のスラリー処理が可能...

メーカー・取り扱い企業：相川鉄工株式会社あいかわてっこう

TEIJO社（フィンランド）シングルステージ高圧パーツ洗浄機

自動的にパーツを洗浄！効率的な濾過機能で洗浄液の使用可能期間を延長

当製品は回転スプレーパイプから温水が高圧噴射され洗浄チャンバー内で自動的に対象物を洗浄する高圧パーツ洗浄機（部品洗浄機）です。モーターによって上端スプレーパイプが回転し、より良い洗浄結果をもたらします。【特長】 ■効率的な濾過機能で洗浄液の使用可能期間を延長 ■断熱効果で熱損失を低減 ■洗浄液の低コスト化 ■ポンプ遮断弁で、タンク中の脱水を行わずにメンテナンス実施可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クロスリンク・パシフィック

全自動バッチ処理装置（基板再生・エッチング・RCA洗浄等）

高スループット　高信頼性　低コストなバッチ式処理装置

■カセットタイプのバッチ式処理装置です。 ■APM/MS、SPM、HPM、DHF等のRCAプロセスに対応したバッチ処理に最適 ■有機剥離やPoly-Si再生等の基板再生処理にも対応します。 ■MEMS等異方性エッチにも対応実績有り ■300mmまで実績がございます。 ■S/DやIPA蒸気乾燥、温水引き上げ乾燥の各種乾燥ユニットに対応　◎IPA蒸気乾燥では、ウォータマーク抑制機能を搭載...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

乾式スクラバー『GF』TAKASHO

排ガス洗浄装置！不溶性ガス、有機溶剤をチャンバー内に設けられた粒状活性…

『GFシリーズ』は、水洗浄では除去しにくい有機溶剤や悪臭を活性炭で除去する乾式スクラバーです。主に不溶性ガス、有機溶剤をチャンバー内に設けられた粒状活性炭(カートリッジ式)で吸着除去。動物舎の臭気処理、及び有機溶剤使用事業所の排ガス処理に適しています。【ラインアップ】 ■GF14 ■GF28 ■GF56 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業：貴商エンジニアリング株式会社

炭化水素系　ユニット式洗浄機

ユニットの組み合わせは、条件に合わせて自由に選択！

【洗浄は乾燥が大きな問題です】 ●特に水系洗浄装置・炭化水素系洗浄装置については乾燥が　遅い事が大きなマイナス要因です。 ●炭化水素系『光』洗浄機は、光・真空スピン乾燥機をセットし、　乾燥が遅いという問題を解決します！！ ●真空チャンバー内で、スピン・連続輻射加熱によるクイック　（２〜３分）・クリーン乾燥で洗浄の仕上げを行います。 ●洗浄ラインとの連動自動化が搬...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ワールド機工

ラボ向け業務用全自動洗浄機『OSK50TH GWシリーズ』

Smeg S.p.A.社の30年以上にわたるラボでの洗浄・消毒作業の経…

1.高度な洗浄能力 Smeg Instrumentsは、欧州および世界のラボ、製薬、化学、工業の分野で、技術的に高度な製品を提供し続けています。 Smeg S.p.A社の数ある製造部門の一つである同社は高品質な素材を使用した最先端のガラス器具洗浄機を製造しています。これらの洗浄器は個々の洗浄プログラムに関して綿密な調査と「高度な洗浄」達成するために配合された業務用洗剤との組み合せにより高い...

メーカー・取り扱い企業：オガワ精機株式会社

TEIJO社（フィンランド）トップロードタイプ高圧パーツ洗浄機

溶剤洗浄から水性洗浄へ！シンプル、効率的、経済的なアルカリ洗浄

当製品は密閉式システム内で洗浄対象物に洗浄液を高圧噴射後、液を循環・濾過し、再利用する高圧パーツ洗浄機（部品洗浄機）です。密閉式の洗浄液循環による安全で環境に配慮した装置。直感的で使いやすい、装置上部より洗浄部品を投入するトップロードタイプ。スチーム抽出装置は、洗浄サイクル後に自動的に開始し、スチームを機械から抽出し、外気へ排出します。【特長】 ■優れた洗浄結...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クロスリンク・パシフィック

Vertical & Spin枚葉リフトオフ装置

有機剥離にもご使用可能！サイクロンや複合金網でフィルター負荷の大幅低減…

当装置は、リフトオフ処理時に発生する多量の剥離メタルゴミの再付着汚染等の各種問題点に対応したリフトオフ専用の枚葉処理装置です。剥離Dip槽ではダウンフロー/QDR/噴流/シャワー/側面US/揺動、洗浄乾燥Spin枚葉チャンバーでは特殊ノズル/MSリンス/HP-Jet等の組合わせで高効率で均一な短時間リフトオフや再付着汚れのない、高清浄度な基板表面が得られます。【特長...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

TEIJO社（フィンランド）マルチステージタイプ高圧パーツ洗浄機

基本サイズは5種類！ニーズに合わせてカスタマイズ！全機種、ステンレス素…

当製品は回転スプレーから温水洗浄液をシングルチャンバー内の洗浄対象物に高圧噴射し、洗浄します。多目的に使用でき、顧客のニーズに合わせてカスタマイズ可能。オイルセパレータは、洗浄液の使用期間を延ばし、洗浄効果を確実なものにします。【特長】 ■効率的な濾過機能で洗浄液の使用可能期間を延長 ■断熱効果で熱損失を低減 ■洗浄液の低コスト化 ■ポンプ遮断弁で、タンク中...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クロスリンク・パシフィック

スピン＆コンベア処理装置　（エッチング・洗浄・剥離）

高品質基板を高スループット且つ低コストで提供可能！

■エッチングや洗浄プロセスに最適です。 ■薬液処理はスピン方式で、リンス乾燥はコンベアー方式 ■W-レーンで更なる高スループット対応した実績有り。 ■エッチング時の危険な腐食性ガス対策　◎スピンチャンバー部に前後シャッターやローラーを具備 ■薬液の温調循環再利用機能や排水の濃厚/希薄分離機能を有します。 ■リンス時のスィングスプレー機能も搭載可能 ■リンス水飛沫の再付着防止を考慮し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長・高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減・枚葉化による品質・歩留り向上（クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上）・1チャンバー完結　完全枚葉処理・パドル処理、低速回...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの物理的アシスト利用…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した量産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社

試作開発枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの物理的アシスト利用…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計（従来機から約40％コンパクト化）レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用するこ...

メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社