「炉」内外のダメージメンテナンス　～診断から補修まで～

PR「よく分からない」「今さら聞けない」「だけど永く使いたい」炉のメンテナ…

深刻なトラブルになる前に炉廻りのメンテナンスを。 省エネに向けたムダの洗い出し、自己点検のレクチャー、 予算に合った補修・定期点検まで、ご要望にお応えします。 【炉の診断＆補修の効果】 ・断熱性向上 ・品質向上 ・稼働トラブル回避 ・安全対策 【短工期施工】 ・炉を解体せずに行う、ファイバーキャスト注入による施工 ・炉壁コーティング ・プレキャスト施工等...【ご相談から診断、施工までの流れ】...

メーカー・取り扱い企業： 熱産ヒート株式会社 本社

簡易型ディスペンサー『チビット』※お試しレンタルOK

PR加工時の工作油の給油や設備メンテナンスの給油・給液に。ディスペンサーよ…

つるした缶から落ちる一滴ではアバウトすぎるけど、ディスペンサーほどの精密さは必要ない... 簡易型ディスペンサー『チビット』は、そんな現場に好適な滴下液体供給装置です。 水・油・薬剤・溶剤に対応しており、たらす・飛ばす・噴霧など様々な用途で使用できます。 タンクから直接吸い上げるので、液体の小分けや加圧タンクが不要。高いコストパフォーマンス発揮します。 加工時の工作油の給油や設備メンテ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社笠井製作所

ハンドクリーンロール「HCR」／メンテナンス用品

シリコン系/ノンシリコン系のハンドクリーンロールなどを紹介します。

リーンロールは、握りやすいグリップとベアリングの使用によりスムーズな作業を実現します。 シリコン系、ノンシリコン系を取り揃えており用途に応じて最適なロールタイプをお選びいただけます。 また、メンテナンス用品にはシリコン系HCRハンドクリーンロール対応のメンテナンスキット「イージークリーン」や転写用粘着パッド「DCRパッド」、ノンシリコン系SRRロール専用の洗浄液「SRRクリーン」、YGクリーナ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤンゴージャパン

ポンプ・メンテナンスの改造、移設等、休日対応も承ります。

真空蒸着装置とこれらに関連する機器メンテナンスサービスを行っております…

真空蒸着機は一般的な稼働状態で１～２年に１度のメンテナンスが必要です。弊社では、これまでに新旧様々なタイプの真空蒸着機や真空ポンプなどのメンテナンス、修理、移設、カスタマイズ等を行ってまいりました。特にメンテナンス作業では装置の細かい部分まで分解しクリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジメカニック

中古蒸着装置の販売＆メンテナンス

ご相談下さい。中古蒸着装置と周辺設備の販売・メンテ・改造・移設まで

　近年、急激に需要が高まってきたのが、中古蒸着装置。 弊社では装置本体から、ポンプ・各種周辺設備までをご要望に応じてご提供します。 　もちろん、現在ご使用の装置のメンテナンスから改造、移設までをご要望に応じて対応。 　新規導入にあたり、ご経験のないお客様でも積極的に技術指導をさせて頂きます。 ↓Point↓ ◆オーバーボールでリニューアル！ ◆改造で新し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クラフト

自動車部品用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１０７５ＳＲ型）

コンパクトな筐体で自動車外装品など大型樹脂成形品の全面成膜に対応　高速…

高速バッチ処理を実現。 シンプルな装置構成と高速バッチ処理で量産ラインの生産性の向上を図ります。 オールドライ排気系の採用と前扉型の装置形状によって 排気系のメンテフリー化とシステムのメンテナンス性にも優れており 高い稼働率を実現しています。 【特長】 ■樹脂基板への高速バッチ処理 ■安定した成膜性能と高速排気性能 ■オールドライ排気系による排気系メンテナンスフリー化 ■...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

OLED, OPV, OTFT等の有機材料用・温度応答性/安定性に優れた高性能有機ソースLTE（最大4源）、交換・メンテナンスが容易に行える金属蒸着ソースTE（最大2源）を採用、手動運転モードから、自動連続多層膜、同時成膜の自動モードでの運転も可能です。 コンパクトサイズにも関わらず、基本性能・膜質・均一性・操作...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

VAC・GENESISグローブボックスシステム

洗練されたシンプルなグローブボックスは使う人を選ばない。再生ガス・再生…

2.酸素濃度・水分濃度を１ｐｐｍ未満に保つ能力があります。 3.洗練されたシンプルな装備は、取り扱いもしやすく使う人を選ばない。 　導入時の優れたコストパフォーマンスはもちろん。 　メンテナンス簡易性、メンテナンスコストも割安。 4.酸素除去・水分除去を独立制御 酸素除去用精製装置と水分除去用精製装置が独立して設置されています。 酸素除去と水分除去を必要に応じて独立制御できま...

メーカー・取り扱い企業： 山八物産株式会社 YAMAHACHI&CO.,LTD

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

＾-7Pa） ■真空計設置スペースを節減 ■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現 ■高真空部は耐久性の高い新しい構造のCCGを採用 ■イージーメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

開発・製造レポート『溶剤蒸気発生装置』

温水でフラスコに入っている有機溶剤を蒸発させる装置の開発概要をご紹介し…

で、既存品がどのような動きで、どのような規格・仕様なのかを お調べして「溶剤蒸気発生装置」を新規製作。 タッチパネルなどを用い操作性の向上や試験機のダウンサイズ、サンプルの 装着方法やメンテナンスの容易さを向上しました。 【製品概要】 ■試験データを取り出す前工程の重要な装置 ■アナログでしか対応できないところはアナログ式を採用 ■タッチパネルなどを用い操作性の向上や試験機の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンメック

ロードロック式EB蒸着装置

好適な表面処理によるパーティクル低減！ロードロック式による高真空プロセ…

膜厚分布および 再現性を実現しています。 ロードロック式による高真空プロセスをはじめ、リフトオフプロセスや、 トレイ搬送にも対応。 最高900℃の高温プロセスが可能で、チャンバのメンテナンスが容易です。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■最高900℃の高温プロセスが可能 ■基板回転による優れた膜厚分布および再現性を実現 ■ロードロック式による高真...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

3連式電子ビーム蒸着装置

メンテナンス性・作業性が簡便！リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を採用…

当製品は、金属材料を対象とし、リフトオフ成膜可能な電子ビーム蒸着装置です。 3連式EBガンはスライド移動機構により、メンテナンス性・作業性が簡便。 基板寸法は最大φ3インチで、リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を 採用しております。 【特長】 ■基板寸法：最大φ3インチ ■基板加熱温度：常用600℃ ...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

改善成功事例　事例2　金属蒸着セル　KMDW-Cell

改善成功事例　事例2　金属蒸着セル　KMDW-Cell

以上もの大電流を印加している。ボート式は、初心者でも容易に蒸着可能であるが、 大電流を使用することで、膜質に悪影響をもたらす要因と考えられる。 また、蒸着の際の飛散量が激しく、チャンバー内のメンテナンスが頻繁に必要となり、 綺麗な環境での使用は困難となっている。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

改善成功事例　事例1　有機蒸着セル　KOD−cell

改善成功事例　事例1　有機蒸着セル　KOD−cell

いる。 ◆◇◆結果◆◇◆ KOD-Cellの先端部へ配向性を高める為に蒸着ノズルを設置することにより、 ルツボ容量1ccとコンパクト性に優れていることから、指向性が非常に良く、 メンテナンスが容易となった。また、極低レート蒸着制御が 膜厚コントローラー及び温調器の組み合わせにより可能となり、 材料効率及びメンテナンス性が良く地球環境に優れた製品である。 また、手軽に蒸着実験を...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

フリーマウント式金属蒸着源『KFMD-1』

メンテナンスフリー！ボートタイプで取扱容易なフリーマウント式金属蒸着源

きます。 小型で簡易な設計の為、研究開発用途におすすめです。 【特長】 ■コンパクトな取り付けフランジICF070 ■ボートタイプで取扱が容易 ■定めた位置への蒸着が可能 ■メンテナンスフリー ■真空槽内部の汚染防止が可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D395mmサイズで卓上型 ■お手持ちの排気系、膜厚計を取付可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

ポリパラキシレン蒸着成膜装置

ポリパラキシレン成膜に特化した装置です。メーカは35年以上、ヨーロッパ…

けでなく、量産にも対応できる装置を販売しております。また、装置の販売実績は50台を超えており、生産ラインで既に使用されております。 本装置の特徴は、次の通りです。 ・装置クリーニング及びメンテナンスが、容易です。 ・基材との密着性を向上させる為の前処理がin-situで処理可能です。 ・装置に付帯するPLCによりプロセスが実行可能です。成膜レシピのログもCSVファイルに出力することがで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

真空蒸着装置『MiniLab-090』（グローブボックス用）

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

80ℓ大容積MiniLab-080チャンバーをグローブボックスベンチ内に収納可能な構造にしたMiniLab-080のグローブボックスモデル。作業ベンチを最大限活用できるスライド開閉式チャンバー、メンテナンス性を考慮した背面開閉ドアを採用。プロセス処理後の試料を大気・水分に露出せずグローブボックス内の管理された環境内で一貫した処理ができます。GB, ガス精製機はGBモデルの仕様を参照下さい。 ◉ ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

アークフィラメント式イオンプレーティング装置　

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　Ｃ…

ＳｉＣ膜を高速形成。 高密度プラズマによる反応性プロセスによりCVDより低温で溶射法より緻密な膜質を実現。 半導体関連部品にも応用可能なクリーンな成膜プロセスを実現。 PVD法のため装置のメンテナンスも容易で低コスト。 絶縁膜（酸化膜・炭化膜）を高速形成。緻密な厚膜を高速形成。従来型のイオンプレーティング法の弱点を克服。 新たな表面機能を生み出す用途創成型最新ＰＶＤ装置 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

II イオンソース 　軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい 　高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く(70～80℃)基板への 　熱ダメージが少なく、熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリー ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

非常に小さなサイズながら 3.大きなイオン電流が広範囲に得られます 4.高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く（70～80℃）基板への熱ダメージが少なく、また熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリーです 5.極微量のガスでイオンビームが得られますので、低い圧力での動作が可能 6.特殊コーティングのイオン源は高濃度酸素中でも酸化によるチャージアップが無く安定な運転が可能 7.スタ...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

真空装置用冷凍機SUPCOLD

シンプルな構造で低価格を実現。消費電力、設置スペース、GWPの低減にも…

本設計は米国で、使用している主要部品の多くは米国、ヨーロッパ製を使用し、中国製ではありますが冷凍能力とその品質は、米日の水蒸気ポンプメーカー製と同等以上の性能を有しています。装置価格のみならず、メンテナンス（修理）費用も安価で迅速なサービス体制を有しています。 また、新冷媒を採用し温暖化係数を低減しています。 すでに、中国国内では200台以上の納入実績を持ち、その信頼性とサービス体制はお客様を...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』

コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置

【特長】 ■排気シーケンスはPLCにて制御可能 ■金属の蒸着はボート式とルツボ式を標準搭載 ■膜厚計は3センサーを標準搭載 ■金属蒸着源はボート式とルツボ式を標準搭載 ■蒸着室はメンテナンスが容易な防着板を標準搭載 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

Epitaxial-EB蒸着装置

最高900℃の高温プロセスが可能！エピタキシャル促進機構により単結晶成…

『Epitaxial-EB蒸着装置』は、エピタキシャル促進機構により金属膜や酸化膜の単結晶成膜に適した製品です。 基板回転による優れた膜厚分布および再現性を実現させ、またチャンバの メンテナンスが容易。 リフトオフプロセスにも対応しており、適切な表面処理によりパーティクル 低減させます。 マルチチャンバ仕様やバッチ式も製作可能です。 【特長】 ■酸化促進ガス導入機構 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

当社は30年以上真空技術に携わり、ユーザー様の仕様に合わせた製品を 主に研究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や 安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着装置」など 真空成膜装置を多数ラインアップ。 その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの 各種研究用装置もご用意しております。 ご用命の際はお気軽にご相談...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

ロールtoロール生産ラインにCMWH超広幅ウェブクリーナー装置

ロールtoロール生産ラインで超広幅装置をご検討のお客様へ

AC、PVA、PVC、PMMA等）の2350mm~3000mmの広幅ウェブでも安定した除塵を実現いたします。広幅ラインで懸念されやすいカーボン芯を使用することにより低慣性、高剛性、軽量化を実現。メンテナンス性等全てを考慮した広幅装置をご提案させていただきます。 ＜コンバーティングの技術領域＞ コーティング技術（ウェットコーティング、ドライコーティング〔蒸着、スパッタリング、その他〕） ラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤンゴージャパン

真空蒸着装置『nanoPVD-T15A』

限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…

OLED, OPV, OTFT等の有機材料用・温度応答性/安定性に優れた高性能有機ソースLTE（最大4源）、交換・メンテナンスが容易に行える金属蒸着ソースTE（最大2源）を採用、手動運転モードから、自動連続多層膜、同時成膜の自動モードでの運転も可能です。 コンパクトサイズにも関わらず、基本性能・膜質・均一性・操作...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（ICF70）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

0-?Pa） ■真空計設置スペースを節減 ■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現 ■高真空部は耐久性の高い新しい構造のCCGを採用 ■イージーメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□

グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…

80ℓ大容積MiniLab-080チャンバーをグローブボックスベンチ内に収納可能な構造にしたMiniLab-080のグローブボックスモデル。作業ベンチを最大限活用できるスライド開閉式チャンバー、メンテナンス性を考慮した背面開閉ドアを採用。プロセス処理後の試料を大気・水分に露出せずグローブボックス内の管理された環境内で一貫した処理ができます。GB, ガス精製機はGBモデルの仕様を参照下さい。 ・最...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

3源抵抗加熱蒸着装置

EB源増設ポート付！4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備…

当製品は、金属材料を対象とした3源切り替え式抵抗加熱蒸着装置です。 角型チャンバーにより、メンテナンス性が向上。 4インチ基板対応で、基板加熱機構と膜厚制御機構を備えています。 【特長】 ■基板寸法：100×100 ■基板加熱温度：常用600℃ ■基板回転ホルダー ■水晶式膜...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社