もやもやを解決！エンコーダ付きステッピングモータの「使い分け」

PR【何となくで選んでいませんか？ 】エンコーダ付きステッピングモーターの…

一括りにされがちな”エンコーダ付きステッピングモータ”ですが、実は機能も種類も様々です。 本冊子ではエンコーダ付き2相ステッピングモータを「センシング化の歴史」 「メリット」「ラインアップと比較」の観点から、分かりやすくご紹介します。 初めてエンコーダ付きステッピングモータを使用する方にも、 何となく使用していたけど改めて知りたい方にも 活用のヒントになるお役立ち情報が詰まった一冊です。 【掲...

メーカー・取り扱い企業： ミネベアミツミ株式会社 回転機器

異物除去装置　樹脂粉・フロス除去装置『マジックダストクリーナー』

PRプラスチック樹脂原料を空気輸送中に発生する樹脂粉・フロス・異物を1台で…

樹脂粉・フロス除去装置『マジックダストクリーナー』は、 樹脂原料で発生する粉塵・フロス等の異物を綺麗に除去する製品です。 振動式の原料供給部と、フィンを設けたフィーダー部で異物を高効率除去。 不良品を削減でき、トータルコストの削減につながります。 【特長】 ■インバーター制御により、吸引ブロワを数値で制御。目視確認が不要 ■静電除去装置を使うことで、さらに除去効率がアップ ■紙くず、糸くず、毛...

メーカー・取り扱い企業： エム・エルエンジニアリング株式会社

6インチ用 ウェハローダー WR-100A

6インチ用 ウェハローダー WR-100A

6インチ用、マニュアルタイプのウェハローダー 【特徴】 ○ウェハをカセットから顕微鏡の受け渡し位置へ渡し 　作業終了後、カセットへ収納 ○検査するウェハは選択可能 ○オリフラ角度の設定が90度単位で可能（オプション） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型

対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！

自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。本機の対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動フォトリゾ装置

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。 勿論工程の選択も出来ます。 ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多関節ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、200mm□基板又はφ300mm基板に適用します。 詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

LED材料用液体・粉体自動分注シリーズ　SAP-1 A14/M6

LED分注工程の生産革新！生産現場で要求される精度を実現します

使用 →粉体±0.3mg・液体±1mgの精度を実現 →消耗品の少ない方式 →液体ポンプは高粘度・低粘度対応可能 →粉体は蛍光体の他、比重の軽い分散剤の分注も可能 ○SAP-1 M6 →ローダー・アンローダーは使用しない半自動タイプ ○SAP-1 A14 →ローダー・アンローダー、バーコードリーダーを使用できるフルオートマチックタイプ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルコム

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…

本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

半導体製造装置　マスク自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションに…

本機はローダーに収納されたマスクを自動的に搬送し、各処理槽を経てアンローダーに収納する装置です。 バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

バッチ式洗浄装置

クリーン化技術・搬送／制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗…

装　置　仕　様 【洗 浄 対 象】 ～12 インチカセット（※対象サイズはご相談ください） 【槽構成】 ローダー（水中も可）→処理槽（最大９槽）→アンローダー ※乾燥は上記乾燥方式により選定...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

多彩な製品と高い技術力で実装トータルソリューションを提供します！

お客様の実装課題を解決するため、パナソニック社を始めとした実装関連装置…

ールカウンター ■基板カッティング装置 ■断面観察用超音波カッティング装置 ■目視支援装置 ■異形部品挿入機 & 半自動部品挿入機（インサーター） ■防湿塗布機 ■ディスペンサー ■ローダー & コンベヤー ■リフロー炉 ■ステンシル & ステンシルクリーナー ■リワークステーション ■自動はんだ付ロボット ■生産支援ソフトウェア など ※メーカー名につきましては、PDF...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

等 ＜　対応ウエハ口径　＞ 　・　φ2”～φ4” 　・　φ6”～φ8”　 ＜　その他　＞　　　　　　 　単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、 　ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、 　複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。 　洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

ウェハソーター

正確に、素早くソーティング。キャリアに挿入されたウエハを自動で取り出し…

当製品は、ローダーキャリアからウエハを取り出し、 シリコンウエハに印字された文字を読み取り、 オリフラ位置の位置合わせを行ったうえで アンローダーキャリアへ戻す、自動ソーティング装置です。 設計から製造...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

生産設備　設計・製作サービス

ラインすべての自動化を一貫体制でご提案します

・発塵無き機構部の装置：粉体秤量装置　他 ■食品 　・クリーンルーム対応装置 　・発塵無き機構部の装置：材料投入装置　他 ■FPD 　・クリーンルーム対応装置 　・ガラス基板搬送装置：ローダー/アンローダー装置　他 ■半導体 　・クリーンルーム対応装置 　・上流・下流装置問わず連結可能：EFEM　他 ■自動車関連 　・ASSY組立装置 　・画像検査装置　他 ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： レック株式会社

マスクレスアライナー『MLA300』

プロダクション向け高性能マスクレスアライナー

m 最小ラインアンドスペース：2 µm 最大書き込み速度：5000 mm2 / min（@405 nm、1モジュール時） リアルタイムオートフォーカス 前面と背面の位置合わせ フルオートローダー 複数モジュール搭載可...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

半導体自動切断機『SMB-812-40280』

円筒加工済みのインゴットをコーン、ブロック、サンプルに切断します

ロックの切断及びブロック毎の サンプリング切断を行う、半導体自動切断機です。 ブロックやサンプルにはレーザー／インク印字を行い、 物流仕分のLAN結合システムも可能。 また、全自動ローダー・アンローダーは別途仕様により対応いたします。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■インゴットサイズ：8",12"×2,800l／500kg ■ブロック長：100～...

メーカー・取り扱い企業： 齊藤精機株式会社

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…

『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。 【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

サーマルALD装置『Phoenix G2』

量産に必要な多くの安全対策仕様！コンパクトな装置サイズで成膜温度50～…

enix G2』は、中規模量産に適したサーマル式のALD装置です。 優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザインで、 多用途に対し容易に使用可能。 また、セミオートローダー又は真空ロードロックに対応しており、 適切なチャンバーサイズ(＜370mm×470mm)となっております。 【特長】 ■優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザイン ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

枚葉自動スピン剥離装置

本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能

カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

VPG 300 DI

VPGシリーズに300x300mm角基板まで対応した高速描画装置が加わ…

mまで描画可能。 選択できるWrite Mode(最小寸法0.5um　または0.8um) 高出力DPSSレーザー 最大描画面積　300x300mm2 リアルタイムオートフォーカス オートローダー 基板検出機能 裏面アライメント機能 Zerodur採用 高精度微分干渉計によるステージ制御...

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

自動現像/エッチング装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…

スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

有機ＥＬ基板洗浄装置　ME-6500-10

有機EL等の基板製造装置に最適です！

●装置寸法：L4500×D1220×H1500mm ●工程：ローダー⇒入口⇒AC１⇒洗浄ブラシ⇒AC２⇒シャワー⇒HPMJ⇒MS⇒●リンス⇒エアナイフ⇒出口⇒アンローダー ●コンベア巾：400mm...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

【仕様】 ○ワークサイズ ： ＳＭＤ ２０１６以下の小型サイズにも適応可能 ○装置構成 ： ３室（仕込室、処理室、取出室） インライン式 　※オプションで ＬＤローダー（Ｏオーバー.Ｄドライブ付属）、 　　ＵＬＤとドッキングが可能 ○搬送系 ： ＳＦＥ－Ｂ０３型と同じくＸ軸搬送をＨ／Ｌに各々採用 ○排気系 ： 処理室 １２インチＣＰ 仕込室/取出室 ＲＰ＋...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

＜　対応ウエハ口径　＞ 　・　φ2”～φ4” 　・　φ6”～φ8”　 ＜　その他　＞　　　　　　 　単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、 　ドライ・ウェットのローダー・アンローダー付タイプ、 　複数チャンバータイプなど、ご予算・ご要望に応じて対応致します。 　洗浄方法についてのご相談など、お気軽にご相談ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

『クロムマスク自動現像機』

現像／エッチングを完全に自動化！一貫した良質の製品の生産を保証します

ムマスクを 　　自動的かつ安全に搬送するロボット式のリニア搬送システム ■GP9／6T 　・「GP1／6T」のすべての機能と、追加のハードウェアと 　　ファームウェアを備えた9ポジションのローダーがあり、 　　最大9枚の露光済みクロムマスクが装填可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部

UV照射装置

UV照射装置の供給収納タイプ

UV照射装置は、UVを照射するための設備である。 尚、ローダー側はマガジン（段数21 段）を3 つセットできるものとし、アンローダー側も3 つの空マガジンをセットできるものとする。 ご要望のピーク波長にて、能率よくUV照射を致します。 ヘパフィルター...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社システムエンジニアリング

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...○被搬送物 ～1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。 処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、2"□～5"□基板又はφ2"～φ5"基板に適用します。 詳しく...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用します。 詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉式ウエハ処理装置『自動基板用現像装置』

装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し基盤搬送！

器により常に一定温度に保たれウエハにスプレーし高精度の現像処理を行います。 また現像方式はスプレー式とパドル式の選択が出来ます。 基板搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーはFOUPまたはカセット式が有ります。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

半導体製造装置　自動レジスト剥離装置

【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれて…

本機はレジスト剥離装置になります。 ローダーにセットされたカセットをロボットが自動的に搬送し、各処理工程を経た後、温風ブロー/スピンドライヤーで乾燥し、アンローダーに払い出す装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

キャリヤー及びフープ自動洗浄装置（カセット洗浄装置）

【デモ機貸し出し可能！】ブラシ洗浄とファインジェット洗浄が組み込まれて…

本機は、バスケットに収納されたキャリヤーやボックスを精密洗浄し、乾燥するもので、ローダーから各処理工程を経て、アンローダー(乾燥部兼用)に搬出される自動洗浄装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ロードロック式周波数調整装置 「SFE-B03-II」

コンパクト設計・高精度・低価格・高安定・高再現性

しました。 ２室ロードロック方式を採用することで、処理室は常時真空に保持されているので、タクトタイムが真空排気及び大気開放の時間に依存しません。 オプションユニットとしてオーバードライブ機構付ローダー・アンローダー装置装着により、連続運転が可能となりました。 【特徴】 ○コンパクト設計 ○高精度 ○低価格 ○高安定性 ○高再現性 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハ洗浄装置』

3軸多関節クリーンロボットと単軸ロボットの組み合わせで構成！

枚葉自動洗浄装置でウエハ搬送は3軸多関節クリーンロボットと前後搬送の単軸ロボットの組み合わせで構成されています。 【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多関節ロボットを使用 ○各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理 ○カセットの他FOUPも使用できるタイプも有り 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…

『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。 【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

枚葉自動スピン現像装置

装置寸法：2000W×1200D×2000H　(200WCBT)/20…

セットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、パドル現像、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン現像装置です。本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

フルオートブレーク装置『TEC-1018AR』

チップ分離、パッケージ分離他、広範囲で活用できる全自動ブレーク装置！

ダブルチップの発生の 低減を実現しました。 【特長】 ■画像認識搭載のフル・オート操作 ■オートウェハアライメント機能 ■ブレーク認識機能搭載 ■高剛性設計による小チップ対応 ■ローダー・アンローダー・システム ■カスタムブレークブレード可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場