位置制御 | イプロスものづくり

PRLC3 IC は 3 段式電動昇降装置で、ドライバー内蔵。協働ロボット…

LC3 IC は 3 段式電動昇降装置で、ドライバーが内蔵されているため、電動昇降装置のオンボード制御や診断が簡単です。LC3 IC は、産業用通信インタフェースにより、協働ロボットパレタイザーや高さ調整可能なコンベアベルトなどの用途など、産業人間工学に好適な電動昇降装置となっています。 LC3 IC は ELEVATEと呼ばれるモデルで、特に特定のインターフェース、ソフトウェアドライバー、...

メーカー・取り扱い企業：リナック株式会社日本支社

スクリューメータ高精度容積式流量計「OMGシリーズ」

PR精度はなんと±0.1％Ｒ.Ｓ.で最大流量7500Ｌ／分！２次標準器とし…

スクリューメータ容積式流量計「ＯＭＧシリーズ」は、流体が直線的に流れる構造ですので一般的なギアー式に比べると格段に圧力損失が低く、流量計内部の負荷も軽減されます。測定精度は±0.1RS と非常に高く、流量基準器としてもご使用いただけます。対応流体は、接着剤，シーラー，PVC，ポリオール等の高粘度液体の計測はもちろんのこと、ガソリン，軽油，灯油等の燃料の低粘度液体の計測も可能です。また、豊...

メーカー・取り扱い企業：日本テスコン株式会社

長ストロークに対応！精密位置決め装置

長距離（150mm）を細かく位置決め可能！『精密位置決め装置（分解能：…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。長ストローク（150mm）を細かく（10nm単位※）位置決め可能。ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を作るのに適しています。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性を位置決め後の位置保持性を備えております。 ※フィードバック...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-111

100nm分解能で位置決め！リニアエンコーダによる位置フィードバックで…

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージコントローラ　FC-511

10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！

10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式：FC-511 接続対象ステージ：FS-10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

フィードバックステージシステム総合カタログ（大気・真空）第5版

リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現！特注製…

当社が設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置および真空対応高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)の総合カタログです。フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ、ケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。特注品・カスタム品の製作も承っております。お気軽にご相談ください。【大気用システムの特徴】リニア...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

微小回転用フィードバックステージ FS-1120θ

【精密位置決め装置】『0.00005°』又は『0.0001°』のフィー…

光学式エンコーダを内蔵したストローク『±4°』の微少回転用位置決めステージです。最小ステップ送り『0.00005°』(*1)又は『0.0001°』(*2)でフィードバック制御が可能となっております。自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-401との組み合わせ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

ロングスケールステージ FS-3000/2000シリーズ

【精密位置決め装置】ロングストロークで高分解能・高い位置決め再現性・位…

光学式リニアスケールを搭載して検出誤差を少なくした高分解能ロングストローク位置決めステージです。『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 200mm 』『 300mm 』『 400mm』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　リニアエンコーダ内蔵により5nm分…

光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）。真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』ま...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバー内で使用可能です。リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 ...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、　リニアエンコーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

Z軸用サブミクロンステージ FS-1005Z/1010Z

【精密位置決め装置】50nm又は100nmの高分解能・高い位置決め再現…

光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-3200X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 50nm 』または『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。スローダウンセンサを搭載しており、ストローク...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　50mm動作

【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…

真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

ジョグコントローラ　JC-01

手元で簡単操作　位置決め対象を見ながら操作ができる

位置決め装置のステージコントローラ（シグマテック製）を手元で操作することができます。ジョグによるステージ動作だけでなくコントローラにプログラムされた動作（ティーチング機能）を実行することができます。 ...接続対象：FC-110 / FC-410 / FC-510 / FC-610 / FC-910シリーズ制御軸数：2 機能：十字JOG操作、JOG速度段階切替、JOG指令パルス量切...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応サブミクロンフィードバックステージ昇降タイプ

真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能のZ軸用位置…

光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィー...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応サブミクロンフィードバックステージ微小回転タイプ

真空中で使用可能！回転方向調整用ステージ　

光学式リニアエンコーダを内蔵しており、ステージの可動部分の位置を検出することができるため、その位置情報をもとにコントローラが降るクローズドループ制御を行うため位置の再現性に優れています。分解能はコントローラによって「0.00005」または「0.0001」分解能で動作させることができます。アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。...最小分解能：0.00005°（...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　微小回転タイプ

【真空対応】最小分解能0.00001°で±4°動作できるエンコーダ内蔵…

光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能微小回転ステージです。 0.00001°分解能でストロークは±4° アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。回転方向の調整用に適しています。 ...○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：120mm×120mm ○テーブル移動量：±4° ○繰返し位置決め精度：±0.00002...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応サブミクロンフィードバックステージ 100mm動作

真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能の位置決めス…

内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能、位置再現性に優れています。アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 100mmの範囲を動作可能でその分解能はコントローラによって「50nm」または「100nm」になります。 ...最小分解能：50nm（FC-411使用時）　　　　　：100nm（FC-...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

特注例 X軸・XY軸ステージ（透過穴追加）

ステージ中央にφ100mmの透過穴（開口）を追加したステージ

特注ステージ例の透過穴がテーブル部に空いているステージです。テーブルサイズ、透過穴のサイズやストロークは変更が可能です。内蔵のリニアスケールを用いたフィードバック制御による高い再現性が実現できます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、リニアスケール内蔵 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○分解能：5nm / 10nm / 50nm ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め　可動範囲最大50mm

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせくだ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージコントローラ　FC-514

10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載

10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています。 10nmフィードバックステージではロングスケールタイプのステージに...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-411

50nm分解能で位置決め！フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。...型式：FC-411 接続対象ステージ：FS-10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージコントローラ　FC-611

検査や研究を効率化！5nm分解能で位置決め制御ができます。

5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式：FC-611 接続対象ステージ：FS-10□0...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-114

100nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-114はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）第5版

リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステ…

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）の総合カタログ。フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明リニアスケールを内蔵した小型位置決...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY

【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　サブミクロン分解能で位置決め　可動…

ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、サブミクロン分解能（0.1μm or 0.05μm）の再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは20mm～10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　リニアエンコーダ内蔵により10nm…

ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは20mm～100mmまでラインアップ。 ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージシステム

リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め　可動範囲最大50mm…

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、幅広い用途で利用されています。ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までライ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

総合フィードバックステージシステムカタログ（大気・真空）

リニアスケールフィードバックで高分解能・高再現性・高保持性を実現したス…

シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置（フィードバックステージシステム）の総合カタログ。フィードバックステージ・フィードバックステージコントローラ及びケーブル、オプションについての仕様・構成・価格などを網羅。位置決めの事なら何でもご相談ください。 ■大気用システム特徴・説明リニアスケールを内蔵した小型位置...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...最小分解能：10nm 最大移...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ昇降タイプ

【真空対応】リニアエンコーダ内蔵で10nm分解能のZ軸用位置決めステー…

光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 10nm分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を用意。アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。テーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えており...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)

[真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めス…

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバーにそのまま導入可能です。自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等の特徴を備えています。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、　リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。真空チャンバーにそのまま導入可能です。動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が１台でできます。自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等な特徴を備えています。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボール...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラF...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。高トルクタイプはFS-1050SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。高トルクタイプはFS-1020SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。高トルクタイプはFS-1040SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY

【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ.....

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-3150X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-3150X/XY

【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

Z軸用10nmステージ FS-1005PZ/1010PZ

【昇降ステージ】リニアエンコーダ内蔵により10nmの高分解能・高い位置…

光学式リニアエンコーダを内蔵した高分解能Z軸用位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えて...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY

【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れています。フィードバックステージコントローラ FC-411と組み合わせることで『50nm』分解能で動作。 FC-111と組み合わせることで『100nm』分解能で動作します。ストロ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY

【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...最...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-3200X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社