アンモニアを含む排水処理に！『アンモニア除去・回収装置』

PR【多数導入実績あり】必要に応じた濃度のアンモニアの回収が可能な装置のご…

アンモニア除去・回収装置は、廃水中のアンモニアを放散回収する過程で使用される装置です。 これにはスチームで放散する方法と空気で放散する方法があります。 アンモニアは、用途に応じた濃度のアンモニア水、もしくはアンモニアガスとして回収することが出来ます。 硫安として回収することも可能です。 触媒を組み合わせることで放散させたアンモニアを分解させ、無害化することも可能です。 【特長】 ■必要濃度でア...

メーカー・取り扱い企業： 第一エンジニアリング株式会社

繊維・樹脂をどちらもリサイクルできる熱硬化エポキシ樹脂システム

PREzCicloを使用したCFRPは、反応窯装置で専用分解剤のCleaV…

繊維だけでなく、樹脂も再利用、再成形ができるためリサイクルが可能となり、循環型社会の実現に大きく寄与することが期待できます。 【特長】 ■100%回収できる樹脂 ■新設備を導入する必要がありません ■回収繊維の長さを維持できる ■回収繊維の強度を維持できる ■廃棄物がない ■循環型社会に大きく寄与できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 .....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社GSIクレオス　機材ソリューション部

薬液供給・回収装置

薬液供給装置・薬液回収装置

●薬液供給装置 N2圧送式、ポンプ圧送式から選択でき、液管理、pH 管理、自動濃度管理機能付もできます。お客様の安全を第一に考えた製品をご提供致します。 ●薬液回収装置 ポリタンク回収や大型タンク回収も設計・製作します。※大型タンクも可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

パーカーハネフィン　油水分離装置 (油水分離器)

【デモ機貸与可能！】浮上油分離から液中分離まで油水分離のお悩みを効果…

源：　3相 AC200V 0.4kW ■処理流量：　600～1200ℓ / hr ■最高使用温度：　80℃ ■重量：　30～107kg 内容をヒアリング後、機種選定いたします。 FOS浮上油回収装置、CRS液中油水分離装置はデモ機のご用意があります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シー・エス・シー 本社、大阪支店、福岡出張所

高田工業所社製ダイシングフレーム洗浄装置『TFCシリーズ』

ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自…

『TFCシリーズ』は、ウエハー切断（ダイシング）工程で使用される ダイシングフレームに付着した、テープ糊や手脂などをジェットを使用し除去します。 ブラシ等の接触物がない為、糊等の2次付着による洗浄性の劣化がありません。 ■特長 ・高い洗浄性能をもつ独自のジェットノズルを採用した非接触方式洗浄機構 →ブラシ洗浄及びウエス等の布を使用しないので、目づまりによる洗浄力低下、及び再付着があり...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

廃棄物回収装置の世界市場の調査レポート YH Research

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

2023年9月12日に、YHResearchは「グローバル廃棄物回収装置のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、廃棄物回収装置の世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別、地域別、国別に分類されます。売上...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

FPCエッチング装置

当社独自の搬送ロール配列及びスプレー配置！回収部分は作業者がアクセスし…

『FPCエッチング装置』は、FPC（Flexible Printed Circuits）をRtoR方式で 連続エッチングする製品です。 レジスト種類に問わず剥離カスを連続回収。回収部分は作業者が アクセスしやすい構造にしていますので、メンテナンスが容易です。 当社独自の搬送ロール配列及びスプレー配置により、製品の配線パターンに 問わず好適なエッチングバランスを実現。薬液管理タンク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トーア電子

樹脂、プラスチックの原料検査『ペレット・パウダ異物検査装置』

樹脂、プラスチックの原料検査に最適！　独自開発の検査機構でペレットやパ…

『ペレット・パウダ異物検査装置』は樹脂、プラスチックの原料検査に最適です！ 独自に開発したターンテーブル方式に自社開発の画像ユニットを組込み、ペレットで難しい透明品種の気泡・中空孔・凹凸等を 誤検査することなく、異物だけを判別する装置です。 【注目ポイント】 ●驚異の検出能力（検出精度　標準16.6μｍ／高精度9μm）で、 　なおかつ検査ボックスと制御盤を組み合せたコンパクトタイプ！...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューブレイン

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、 位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。 ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。　クッション室に生じるエゼクタ効果に...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

高田工業所社製試作用枚葉式ウェット処理装置『TWPmシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用…

試作研究用『TWPmシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・高い剥離性をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

環境対応はんだ付材料『次世代表面実装ソルダーペースト』＋装置『鉛フリーはんだ対応エコリフロー炉』

保存・供給安定性、濡れ性、耐熱性等の問題点を解決！次世代環境対応！

【エコソルダーペースト S70G】 鉛フリーソルダペースト「エコソルダーペースト」は、従来のソルダペーストに比べ、鉛フリー化に伴う問題点である保存安定性や、供給安定性、濡れ性、高融点化による耐熱性等の問題点を解決した次世代環境対応型のソルダペーストです。 □特長 ・従来品の保存・スキージングによる粘度安定性を維持 ・耐熱性、フラックス飛散抑制、信頼性の向上 ・実装品質・生産性までを総...

メーカー・取り扱い企業： 千住金属工業株式会社

OTEC / 電解研磨装置 EF FLEX

イエローゴールド、レッドゴールド、ホワイトゴールド、シルバーのための …

EF Flexは、イエローゴールド、レッドゴールド、ホワイトゴールド、シルバーのための 革新的な電解研磨装置です。 この装置により、複雑形状の宝飾品に対する研磨処理を短時間で行うことができます。 複雑で美しいディテールはそのままに、内部の形状も素晴らしい仕上がりになります。 これにより手作業による研磨は最小限に抑えられ、表面の品質が大幅に向上します。 また、モジュール設計により、個別に制...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーケービー

e-クリーン　2液1槽式脱脂洗浄機（HC溶剤+HFE溶剤）　

省スペース・低ランニングコスト・低価格の超音波洗浄機！安全・簡単乾燥を…

炭化水素（HC)系洗浄溶剤で洗浄⇒HFE溶剤蒸気でリンス洗浄⇒乾燥工程で速乾性のあるHFE溶剤を回収（乾燥・洗浄終了）⇒取り出し HC溶剤は洗浄中、HFE蒸気に覆われ、直接空気に触れる事が無い為、引火の心配が不要。 リンス洗浄工程で使用するHFE溶剤の沸点は56℃で洗浄物の表面温度は56℃以上には上昇しません。 洗浄後の製品取り扱いが非常に簡単になります。 本装置で使用します溶剤は全て回収...

メーカー・取り扱い企業： 大川興産株式会社

IPA蒸気乾燥装置VD-200CBT　ＩＰＡベーパー

CO2ガスによる自動消火システムを装備

基板が収納されたカセットをエレベータにて自動昇降させるIPA蒸気乾燥装置です。凝結したIPAは回収タンクへ回収します。 ...【特徴】 ■保安装置 　 ガス濃度検知器により空気中のIPAの濃度を監視し、設定値を超えると警報を 　発し、ヒーター電源を切る ■IPAの供給/廃液 　 内蔵されたキャニスターにより、IPAの自動供給を行う。 　ワークで凝結したIPAと水はバッファタンクで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

千住金属工業　クリーンリフロー炉 CX-430

半導体用クリーンルーム対応リフロー炉

【特徴】 ○炉内清浄度クラス1000を実現 （ウォーキングビーム搬送方式と遠赤・輻射加熱方式） ○炉内酸素濃度100ppm以下 （気密性に優れたチャンパー構造） ○フラックスヒューム回収装置 炉内で発生したフラックスヒュームは回収装置によって回収・除去 ○自在性の高い温度設定 ヒーターは搬送方向に4ゾーン、各ｿﾞｰﾝが8ブロック分割制御されており、自在性の高い温度設定が可能（3...

メーカー・取り扱い企業： 千住金属工業株式会社

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

ャリアレス搬送式、キャリア搬送式、キャリアハンガー搬送式等、コストに合わせてお選びいただけます。 ■前後装置との受け渡し機構や外部通信機能の追加が可能。 ■自動扉や自動蓋、自動薬液供給、秤量、回収装置を装備可能。 ■エッチング液の濃度管理機構の装備が可能。対象薬液はご相談ください。（例：TMAH、KOH、HF、HCLなど） ■出荷前検査としてエッチング処理槽内の温度分布の計測が可能。 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

リフトオフ装置　※テスト可能機種あり

枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタ…

ダルトンのリフトオフ装置は６種のラインナップと６種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます。 【ラインナップ】 ・HU型（量産向け）…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり ・HM型（研究開発・量産向け）…Jet処理のみで剥離が可能なウエハーに好適。 ・CHU型（研究開発向け）…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現 ・MJ型（研究開発向け）…...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

TM-0013-SW＆SW-52ST 地震監視装置

最大3台までの地震監視装置の接続が可能

地震での二次災害を防ぐ。それは現地で確実に地震をとらえることから始まる。 公共設備・インフラ設備など、さまざまなシーンで地震での二次災害防止のために地震計の設置が進んでおります。IMVの地震監視装置は、微細な地震動も検出可能なサーボ式加速度ピックアップを採用した高精度な地震計です。...TM-0013-SWは、耐圧・粉塵防爆型地震監視装置SW-52EX、および標準型地震監視装置SW-52STと組...

メーカー・取り扱い企業： ＩＭＶ株式会社

真空装置用冷凍機SUPCOLD

シンプルな構造で低価格を実現。消費電力、設置スペース、GWPの低減にも…

Supcold社は2011年に創業した新しい会社ではありますが、この分野では経験豊富なスタッフが事業に携わっています。基本設計は米国で、使用している主要部品の多くは米国、ヨーロッパ製を使用し、中国製ではありますが冷凍能力とその品質は、米日の水蒸気ポンプメーカー製と同等以上の性能を有しています。装置価格のみならず、メンテナンス（修理）費用も安価で迅速なサービス体制を有しています。 また、新冷媒を採...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

分析・解析機器　全自動気相分解装置「Expert(TM)」

シリコンウェーハ中の不純物分析に欠かせない全自動気相分解(VPD)装置…

半導体製造において、ウェーハの金属不純物分析は欠くことができない管理項目の一つです。 弊社のVPD装置は、従来の装置にはない様々な特長を持っています。 ...【特徴】 ◯特別に設計されたオートサンプラーと独自のソフトウェアを用い、 　ウェーハの分解、回収、分析まで真の自動化を実現 ◯VPDシステムからICP-MSへの移送中に起こる汚染のリスクを回避 ◯二段構造のスキャンノズルを用いて、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IAS Inc. IAS Inc.

ウエキコーポレーション　ガストータルソリューション

ガス設備設計・製作・施工、ガス使用現場のトータル管理、高圧ガス・特殊ガ…

ネオン、クリプトン、各種混合ガス 標準ガス：大気汚染測定用、ガス検知器校正用、自動車排ガス測定用、石油化学工業用 ・ガス機器販売 ガス機器：ガス発生装置、ガス精製装置、ガス混合装置、ガス回収装置、排ガス除害装置、露点計、各種分析計、測定器、ガス検知器、検知警報装置 etc 低温機器：クライオスタット（極低温恒温槽）、液化天然ガス自動補給装置、低温容器 etc 溶材機材：溶接装置、溶断...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウエキコーポレーション

現像・エッチング・剥離装置

設置場所に合わせて各チャンバーやポンプのレイアウトを設計致します

成において、現像後のワークを投入する事により 塩化第二銅にてエッチングを行いその後、苛性ソーダによって ドライフィルムを剥離。 この時、ドライフィルムは膨潤剥離型のフィルムとし、剥離片の回収装置が ついています。これは剥離液の全量濾過を行うものとします。 【特長】 ■メンテナンス性を重視 ■使いやすい設計 ■設置場所に合わせて各チャンバーやポンプのレイアウトを設計可能 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファイコーポレーション

非接触エンドエフェクター

ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド

り負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 　このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの　 ローダ・アンローダに最適です。 　このハンドには排気回収装置(特許）が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。 　また位置決め機構が付いておりますのでアライメントされたウエハを搬送可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

全自動ブラスト装置　アスコ　ロボットブラスト　ＡＢＳ−３５

最新ロボットを駆使したブラストで、作業効率は大きく変わる！

ブラスト作業の効率を追及して生まれたロボットブラストです。ロボット技術を駆使したため、安全に短時間でのブラストが可能。さらに研掃・回収・選別・供給・集塵の各機能も装備。ブラストシステムをトータルにご提供いたします。...従来のブラストシステムにロボットを用いることにより、一層フレキシブルな作業を可能としました。これにより全自動連続研掃で作業の省力化・生産性の向上とコストの削減を図ることができます。...

メーカー・取り扱い企業： 厚地鉄工株式会社

株式会社イズミテクノ　事業紹介

ニーズに合わせた高度な表面処理を施します！

株式会社イズミテクノは、自動車エンジン部品、半導体・液晶製造装置、 医療機器、航空機部品等のアルミ素材に対し、超硬質・高耐蝕・ クラックレス・潤滑・高耐電圧等、お客様のニーズに合わせた 高度な表面処理を施した各種機能アルマイト皮膜の開発、 生産を行っております。 当社のオリジナル技術である「イズミコート」は、絶縁皮膜である アルマイト皮膜に導電性を持たせ、半導体製造行程等での静電気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イズミテクノ

高精細スキージ研磨機　マイクロ・ドレッサー　MDL-5型/11型

精密スクリーン印刷の必須。スキージの直線性と平滑性を極める

マイクロ・テックの高精細スキージ研磨機「マイクロ・ドレッサー」は、軟質ゴム用特殊多孔質砥石を高速回転させ、スキージホルダーを精密にストロークさせるためウレタンゴムだけでなく、シリコンゴムスキージも高い直線性で平滑に研磨できます。砥石は粗目と細目の二種類が取り付けてあり、目詰まりのない効率的な研磨ができます。スキージの長さに合わせて、最長500ｍｍ用のMDL-5型と1100ｍｍ用のMDL-11型が有...

メーカー・取り扱い企業： マイクロ・テック株式会社

量産用マイクロボールマウンタ　SBP662

最大１２インチウェハに対応した量産用マイクロボールマウンタ

本機は、フラックス印刷とボール搭載機能を有したウェハー用ボールマウンタです。 独自の非接触ボール搭載方式によりダメージレスでウエハ上にマイクロボールを安定して搭載できます。 更に小さなボールにも対応出来ます！！...主な特徴 ■最小　φ50μｍ～のボール搭載に対応。 ■安定したボール搭載 　　独自の非接触ボール搭載方式により、ボールに対しダメージレスで 　　搭載が可能。 ■資材ロ...

メーカー・取り扱い企業： 澁谷工業株式会社 メカトロ統括本部

ジェットスクラバー機

今後の超薄板製品対応が可能！上部2組,下部2組でノズルユニット位置を錯…

当製品は、広幅12mmディスクを適用及びローラーの 間隔25mmピッチを適用したジェットスクラバー機です。 最小0.06mm（コア）超薄板製品の移送及び処理対応が 可能になるよう設計。 今後の超薄板製品対応が可能です。 【特長】 ■上部2組,下部2組でノズルユニット位置を錯角に設計 ■均一な噴射が可能 ■駆動部は設備維持補修が容易いように設計 ■最大の回収率を具現す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部

キャリアー用非接触ロボットハンド

ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド

触キャリヤー用ロボットハンド」は、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハのローダ、アンローダに最適です。このハンドには排気回収装置が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。また位置決め機構が付いておりますのでアライメントされたウエハを搬送可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体垂直噴流方式「非接触チャック」

空気でつかむ

●非接触にて吸引保持、搬送する。 ●きず、汚れ、パッド跡を付けない。 ●クリーンルームにて使用可能 ●通気性ワーク、穴あきワーク、極薄柔軟ワークも可能 ●手操作にても使用可能 ...気体垂直噴流方式「非接触チャック」フロートチャックSA(SAN)型（特許））は、気体を噴出することにより、ワークを空中に浮遊した非接触状態にて吸引保持し、搬送します。反転、傾斜させることも可能...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・1チャンバー完結　完全枚葉処理 ・パドル処理、低速回...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

ペレット・パウダ異物検査装置

独自開発の検査機構でペレットやパウダの異物および変色を検出！

ペレット・パウダ異物検査装置は、独自に開発したターンテーブル方式に株式会社ヒューブレインの画像ユニットを組込み、ペレットで難しい透明品種の気泡・中空孔・凹凸等を誤検査することなく、異物だけを判別する装置です。驚異の検出能力（検出精度16.6µｍ）で、なおかつ検査ボックスと制御盤を組み合せたコンパクトタイプです。クリーンユニット標準装備により簡易クリーンルーム対応で、工場にも設置可能です。タッチパネ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューブレイン

試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計（従来機から約40％コンパクト化） レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用するこ...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

e-クリーン　2液1槽式脱脂洗浄装置（HC溶剤+HFE溶剤）　

省スペース・低ランニングコスト・低価格の超音波洗浄装置で、安全で、簡単…

炭化水素（HC)系洗浄溶剤で洗浄⇒HFE溶剤蒸気でリンス洗浄⇒乾燥工程で速乾性のあるHFE溶剤を回収（乾燥・洗浄終了）⇒取り出し HC溶剤は洗浄中、HFE蒸気に覆われ、直接空気に触れる事が無い為、引火の心配が不要。 リンス洗浄工程で使用するHFE溶剤の沸点は56℃で洗浄物の表面温度は56℃以上には上昇しません。 洗浄後の製品取り扱いが非常に簡単になります。 本装置で使用します溶剤は全て回収...

メーカー・取り扱い企業： 大川興産株式会社

ペレット・パウダ異物検査装置　※クリーンルーム対応で工場設置可能

独自開発の検査機構でペレットやパウダの異物および変色を検出！

『ペレット・パウダ異物検査装置』は、独自に開発したターンテーブル方式に 自社開発の画像ユニットを組込み、ペレットで難しい透明品種の気泡・中空孔・凹凸等を 誤検査することなく、異物だけを判別する装置です。 【注目ポイント】 ●驚異の検出能力（検出精度　標準16.6µｍ／高精度9µm）で、 　なおかつ検査ボックスと制御盤を組み合せたコンパクトタイプ！ ●クリーンユニット標準装備により簡...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューブレイン

独自開発の検査機構でペレットやパウダの異物および変色を検出！

ペレット・パウダ異物検査装置　　※クリーンルーム対応で工場設置可能、9…

『ペレット・パウダ異物検査装置』は、独自に開発したターンテーブル方式に 自社開発の画像ユニットを組込み、ペレットで難しい透明品種の気泡・中空孔・凹凸等を 誤検査することなく、異物だけを判別する装置です。 【注目ポイント】 ●驚異の検出能力（検出精度　標準16.6µｍ／高精度9µm）で、 　なおかつ検査ボックスと制御盤を組み合せたコンパクトタイプ！ ●クリーンユニット標準装備により簡...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューブレイン

手動陽極酸化装置

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…

陽極酸化装置は従来、電流を流し酸化膜を形成させる装置でしたが、さらに応用したポーラスシリコン形成装置は使用薬液・電流密度を変えることで多孔質シリコンを形成する装置です。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■用途に合わせたカスタマイズが可能で研究開発等に適しています。 ■オプションにより薬液供給・回収機能、濃度計等選択出来ま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり

生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…

自動酸・アルカリ洗浄装置。 対応ワークサイズ　φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください。 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能。 【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能。 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン