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20件 - メーカー・取り扱い企業
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【止水・防水・防滴をロボットが実現】シーリングロボットシステム
PR産業用ロボットにミキシングノズルを搭載して3次元、凹凸等どのような形状…
自動車部品、住宅設備、配電盤等種々様々な隙間を発泡ウレタンによって埋め、止水・防水・防滴の役割をする技術をドイツから輸入。 産業用ロボットにミキシングノズルを搭載して3次元、凹凸等どのような形状にも塗布可能です。更にドイツから輸入した技術を紹介します。 その技術とは発泡ウレタンの硬さ、柔らかさの質感、塗布幅、塗布高さ、塗布量を対象に合わせるレシピです。 実績としてダイムラー、BMW、フォ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ROSECC
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PRホットメルトの特徴やメリットを分かりやすく解説! さらに様々な業界で…
■【入門書】 ホットメルト接着剤は幅広い分野での導入されています。 ホットメルトを使用する上で必要不可欠な要素や、塗布パターン(塗り方)の概要などを解説! 【掲載内容】※一部抜粋 ■ホットメルトってなに? ■ホットメルトの特徴 ■環境に配慮したホットメルト接着剤 ■ホットメルトアプリケーション ■衛生材料アプリケーション ■一般産業アプリケーション ■【ディスペンサー導...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サンツール
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~10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…
) ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能(オプション) ・高粘度材料で難しいEBR(エッジリンス)機能 高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く塗布いたします。 ポリイミドの使用温度や保存温度に対応するため、シリンダに対応したディスペンサータイプの...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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ロール・スプレーコーターの置き換え!回転カップ式レジスト塗布装置
多彩な薬液に実績あり!低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
当社の装置はロールコーターやスプレーコーターなどで塗布するような基板でもスピンコーティングで処理をすることができます! 細長い長方形の基板や正方形に近い角基板、段差のある基板や厚膜などでもスピンコーティングで塗布ができる回転カップ式塗布装置です(...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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厚さ100um!極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置 コーター
GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績(…
薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。 ウェーハ搬送装置(ウェーハソーター)の作製実績など、薄くて割れやすい(脆い)ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT(タンタル酸リチウム)、ガラス(石英)、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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両面プロセスに最適!両面自動フォトレジスト塗布装置 コーター
ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます!
一度ウェハをセットするだけで、ウェハの両面プロセスが自動で行える装置です。 塗布は片面ずつ行いますが、反転ユニットを使い、自動運転が終わる時には両面にレジストが塗られています。 ウェハの処理が律速しないように最適化した塗布・ベーク・反転の搬送手順で処理を行います。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度~高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置(フルオートリソグラフィ)
レジスト塗布~露光~現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…
【主な仕様例】 ■カセットステージ:1組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6"、□4インチも可 ■レジスト滴下ノズル:1組 ■バック・エッジリンス:1組/塗布CUP ■現像ノズル:1組 ■リ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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MAX400℃!高温ベーク対応レジスト塗布装置(スピンコーター)
BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能!高温ベ…
S処理、高温ベーク(MAX400℃)、低温ベーク(MAX200℃)、クーリング機能を搭載。 低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。 レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能! その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド(PI)、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます! シリコン(Si)、サファイア、セラミック、L...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー(塗布・現像)
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度~高粘度レジス…
【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:1組 ■バック・エッジリンス:1組/塗布CUP ■現像ノズル:1組 ■リンスノズル:1...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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段取り替えなし!複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター
現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…
【主な仕様】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:2組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:2組 ■ベークユニット:2組(Max200℃) ■クーリングユニット:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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反りウェハも搬送!ベルト搬送式自動レジスト塗布装置(コーター)
ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットで…
トを使わず、高スループットを実現!ベルト搬送でのスピンコーターです。 トラックシステム(ベルト搬送)のため反りウェハの搬送も問題なく行えます。 ロボットは搬送フローの自由度が高いですが、塗布・ベークと決まった搬送フローであれば、並列の搬送システムを使用することで大量処理が可能です(量産向け) 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 フルオ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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フォトレジスト量削減!回転カップ式塗布装置(スピンコーター)
ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効!回転カップ式スピンコータ…
回転カップ式スピンコーターは高粘度材料(ポリイミドや高粘度レジスト)の使用量を大幅に削減できます! 弊社取得特許により、最小塗布量の薬液を低回転で均一に塗り広げることで、使用量を削減することに成功しました。 削減の幅は薬液によりますが、使用量3割~7割の削減実績があります。 生産量に合わせて、マニュアル機~フルオ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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コンパクト!装置幅300mm自動レジスト塗布装置(コーター)
装置「幅」が300mm!ウェハサイズではなくて装置の幅が300mmの装…
【主な仕様】 ■ウェハ搬送置台:1組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ1~2" ■レジスト滴下ノズル:1組 ■センタリングユニット:1組 ■装置サイズ:(例)300×1800×1800(Φ4"本体) その他オプション多数...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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シリコンから化合物半導体、マニュアル機から量産機まで!取扱製品をご案内…
当カタログでは、株式会社エイ・エス・エイ・ピイが取り扱う 製品をご案内しております。 センター4軸ロボットを採用した「自動レジスト塗布装置」をはじめ、 「マスクアライナー」や「自動リフトオフ装置」などを掲載。 すべての装置においてサンプルテストが可能ですので、 いつでもお気軽にお声をお掛け下さい。 【掲載内容】 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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大型角基板用(~430mm)回転カップ式自動レジスト塗布コーター
430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます!正方形、…
角基板は正方形、長方形などあらゆる形状のものを均一に塗布できます。 また、弊社の回転カップ式スピンコーターでは、ある程度の段差も気にすることなく均一に塗ることができます(高粘度で実績多数!) 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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低粘度~高粘度レジスト対応!小口径~大口径まで、どのウェハサイズの装置…
【主な仕様例】 ■カセットステージ:2組 ■スピン塗布ユニット:1組 ■スピン現像ユニット:1組 ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ12" ■レジスト滴下ノズル:1組 ■バック・エッジリンス:1組/塗布CUP ■現像ノズル:1組 ■リンスノズル:1...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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角基板対応自動レジスト塗布・現像装置(コーター・デベロッパー)
低粘度~高粘度レジスト対応!どのウェハサイズの装置も作製可能です!
P(厚み150um)、LT(厚み120um)など薄い基板や角基板の搬送実績も多数あります! 【特長】 ■低価格を実現 ■低~高粘度(1.7cP~10000cP)まで対応可能 ■回転カップ塗布方式による均一な成膜分布 ■2~12インチまで対応可能 ■複数種類ウエハ処理可能(3・4・5インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減(省スペース...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater
低~高粘度レジスト対応!どのウェハサイズの半自動機(セミオート)も作製…
彩な薬液に実績があります。 Si(シリコン)、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2(ガラス)など多数の基板搬送実績もあります。 【特長】 ■半自動レジスト塗布機(セミオート)で低価格を実現 ■2~12インチまで対応可能 ■低~高粘度(1.7cP~10000cP)まで対応可能 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減(省スペース化) ■レジ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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R&Dや少量生産に最適!手動レジスト塗布装置(スピンコーター)
研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置!卓上タイプとは違う自動機と同…
ました♪ 自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために最適な手動機(マニュアル)装置です。 卓上タイプとは違い、自動機と同等のレジスト塗布が可能なので、自動機へ移行した際もプロセスの条件出しが必要なく、同じレシピが使用できます! ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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高粘度フォトレジスト対応!密閉式自動レジスト塗布装置(コーター)
高粘度フォトレジスト塗布に自信があります!10000cPのポリイミドで…
高粘度フォトレジストやポリイミド塗布の実績が多数あります! 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 ベローズポンプやシリンジの対応も可能です! マニュアル機~フルオート機までお客様...
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10000cP!高粘度対応自動レジスト塗布装置(スピンコーター)
10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能!ASAP(エイ・エス…
高粘度レジストの塗布に強みを持っています! 例えば、400cP以上のレジストでも面内均一±5%以内に納めます(φ300mmウェハ) ASAP(エイ・エス・エイ・ピイ)特許の回転カップ方式によって厚膜を均一良...
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