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25件 - メーカー・取り扱い企業
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【初展示製品多数】医薬品・化粧品の開発に関わるご担当者様必見！
PRインターフェックスWeek東京に出展します。ニッチだけど新しい、費用対…
ジャパンマシナリーは、「インターフェックスWeek東京」に出展いたします。 一つのカテゴリーに収まりきらない製品群を持つ当社のブースでは、 商品開発、プロセス開発、生産技術、製造、保全までのすべての ご担当者様必見です。 わずか1μL/秒の極小領域対応のシングルユース対応シングルユースマイクロ ドージングポンプ「QB2-SD」や、ゲームチェンジャーとなる世界最小クラスの 顕微ラマン分光センサー...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンマシナリー株式会社
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PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…
attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー
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ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）
熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…
ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…
業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプロセス、脱ガスなどの冶金用途、硬質膜コーティング装置やＣＶＤ装置、樹脂成型などの一般工業用途など、幅広い用途の真空排気の問題を解決！...信頼性と目的にあわせた個別設計が特徴...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…
高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多彩なオプション：上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他 ◉ nanoPVDは、最大スパッタ源3源+3系統（MFC制御）、RF/DC PSUの増設（最大2電源まで）...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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高耐久性ドライ真空ポンプ SDEシリーズ
耐久性と省エネを実現し、ランニングコストを低減 あらゆるプロセスに対応する高耐久性ドライ真空ポンプ 【特徴】 ○独自のスクリュー圧縮技術により ハードなプロセスでの安定稼動を実現 ○ポンプ構造材は耐食材料を使用。腐食性ガスの排気にも対応 ○スクリュー形状、及び駆動系の改良により 従来製品に対し、消費電流を40%低減 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード...
メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社
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遠隔インターネット管理を実現、真空ガス分析管理装置
装置の真空の質（正常／異常）を判別するＲＧＡ装置です。 これまで、シリアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離を越えて制御が行えます。 使い易さの向上のみならず、プロセスモニタリングやe-Diagnostics（診断）に新しい可能性を切り開きます。 【仕様】 ◇マスレンジ： 1-100 ...
メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社
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真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…
プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。 【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力...
メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応 省…
φ３００ｍｍウェハ対応のバッチタイプ 表面波プラズマ（SWP）による高密度ダメージフリーラジカル処理 急速昇降温型ホットプレート装備 真空プロセスによるボイドレスバンプを実現 オプションでレジストアッシングに対応 サンプルテスト対応中...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン
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ステージ上のパーティクルをインラインクリーニング ウェハ型ステージクリ…
製品のおもな特長 ■真空プロセスで実績のある材料で構成 ウェハ型ステージクリーナー「イレイザーディスク（eRaser Disk）」はすべて真空プロセスにおいて実績のある材料で構成されています。 ■各種ステージに対応 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー
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固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』
均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置
AFTEX-8000シリーズは、1つの成膜室に傾斜配置したECRプラズマ源を2基搭載し、高品質な光学薄膜などを最大8インチ径の基板上に均一性に優れた多層膜を形成できる、C to C枚葉式全自動多層膜形成装置です。 高活性・高密度ECR(Electron Cyclotron Resonance)プラズマ源を用い、プラズマ引き出し部にターゲットを配置することによって固体ソースによるECRプラズマ成膜...
メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社
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Premtek RTP-1200A（SEC）（SEF）
4～8インチに対応した、シングルチャンバ全自動RTP装置です。搬送方式はオープンカセット・SMIFどちらかの選択で、カセットステーションは2台になります。 ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。 熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。 温度測定範囲は20℃～1250℃となります。熱電対とパイロメータが...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
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高純度、高熱伝導、軽量で靭性があり、高い耐熱衝撃性を発揮する高温セラミ…
■高熱伝導性（ヒータとして熱均一性を向上） ■高温下で引張強度が増加（>1000℃でも安定して使用可能） ■耐熱衝撃性（過激なヒートサイクル環境下でも使用可能） ■わずかなアウトガス（高真空プロセスで実績） ■異方性がもたらす電気的、機械的、熱的な利点 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...
メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
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デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！
Morpher ALDシステムは、業界標準の枚葉ウエハ真空クラスタプラットフォームを組み込み、ウエハバッチを完全自動処理するように設計されています。 米国特許取得済みのウエハバッチフリップ機構により、他の半導体製造ラインとのシステムの統合が可能で、またSEMI S2/S8認定により、当システムが業界の最も厳しい規格と互換性があることが保証されています。 Morpher ALDシステムは、...
メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社
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先進の真空プラズマ技術による低温PVDコーティングです。
半導体モールド金型用セルテスXコーティングは、先進の真空プラズマ技術による低温PVDコーティングです。PBS（プラズマブースタースパッタリング）プロセスにより成膜された２～５μｍの窒化クロム被膜（CrxNy）はビッカース硬さ1800以上で、シリカ粒子によるアブレシブ摩耗に対してすぐれた耐摩耗性を示します。また鋼母材では、放電加工面上の被膜の脱膜再コーティング加工も可能です。詳しくはカタログをダウン...
メーカー・取り扱い企業： ナノコート・ティーエス株式会社 石川事業所
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確かな技術力と強固なグローバルネットワークを武器に世界へと挑みます。
株式会社アドバンテックは、国内５拠点、海外８拠点で事業を実施し、半導体及び液晶業界のお客様からご愛顧をいただいております。 半導体装置等で使用されるテスト用ウエアー販売事業や、使用済みのウエハー等を再資源化するリサイクル事業に取り組み、企業様からシリコン材料等の有価廃棄物を買取らせて頂いております。 さらに環境事業での排出権取引やカーボン・オフセット事業、太陽電池関連事業を実施しております。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アドバンテック 愛媛本社
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量産に必要な多くの安全対策仕様！コンパクトな装置サイズで成膜温度50～…
『Phoenix G2』は、中規模量産に適したサーマル式のALD装置です。 優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザインで、 多用途に対し容易に使用可能。 また、セミオートローダー又は真空ロードロックに対応しており、 適切なチャンバーサイズ(＜370mm×470mm)となっております。 【特長】 ■優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ
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後工程の半導体製造装置に「本当に適した部品」を使用できてますか？
「チップの引っ掛けキズやひび割れ」「作業時にチップの持ち帰り問題」など…
当資料は、有限会社オルテコーポレーションが提案した後工程における、半導体製造装置の課題解決事例集です。弊社が得意とする消耗パーツの紹介をはじめ、多くのユーザーが課題に挙げる、チップの破損ダメージについてや、ディスペンサーやエポキシ転写の不安定問題、ワイヤボンディング用トーチ電極などの事例を多数ご紹介しております。当社は、装置メーカーが勧める汎用性の高いパーツでは対応できないケースにおいても、数多く...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社
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次世代パワー半導体モジュールのシンタリング（焼結）接合試作＆量産装置
シンタリングシステム『SIN200+』は、従来ののSn系はんだ材に代わる新しい接合技術で、パワー半導体モジュールのシンタリング(焼結）によるダイアタッチ接合のR&D試作評価から量産までの用途に対応できます。特に、SiCパワー半導体に最適です。 真空チャンバー内での加熱、シンタリング（加圧）、冷却の全工程で、サブストレート温度、雰囲気圧力および、プロセスガスを、リアルタイムで正確に制御すること...
メーカー・取り扱い企業： ピンク・ジャパン株式会社
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お客様のニーズに的確に捉え、最適なサービスを提供し、躍進して参ります。
アローズエンジニアリング株式会社は1986年の創立以来半導体業務に携わりお客様のニーズを的確に捉え、半導体業界には無くてはならない企業であり続けたいという想いと共に、社員全ての人達が日々価値ある最高の製品・技術・サービスを提供する事で躍進して参ります。確かな技術と高度な知識で様々な問題の解決をお手伝いし、お客様のニーズに的確に捉え、最適なサポートを提供いたします。 詳しくはお問い合わせ、もしくは...
メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社
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「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！
当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要求仕様に基づくカスタマイズも承ります。 【特長】 〈デュアルゲートバルブ〉 ■完全水平移動の為、Oリングの擦れが無い ■左右の独立駆動によりPM/TMチャンバ...
メーカー・取り扱い企業： ナカンテクノ株式会社
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私たちは半導体業界に新しい風を起こします。
半導体製造装置の延命化のため、他社では不可能な周辺機器の修理を致します。コスト低減はもとより省エネルギー化などの改造も行い、環境問題にも取り組んでいます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【事業内容】 ○半導体製造における関連製品の開発・販売 【サービス】 ○これまでに培った技術と経験を生かし、半導体製造装置のサポート、 延命化のご提案をいたします。 ○...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイディーディー
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洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)
洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング…
● 大気圧作動であるため真空システムが不要 ● コンパクト設計 ● 操作が簡単、メンテナンスが容易 ● 低コスト...UV-1は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。...
メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社
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3軸円筒座標型クリーンロボット
防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」
最高温度400℃！小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。
半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」は、加熱源にセラミックヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。 温度コントローラーは、専用タイプによりプロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できます。 【特徴】 ○空冷にて、最高温度400℃対応 ○小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適 ○観察窓により、ワークの状態が視認できる...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー
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防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。
水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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