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53件 - メーカー・取り扱い企業
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95件 - カタログ
1045件
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PR厚膜で耐食性・耐久性に優れたライニング!納期3日間~の短納期が可能
当社では、フッ素樹脂厚膜焼付ライニング加工を行っております。 強酸、強アルカリ性の薬液や腐食性ガスから基材を守り、 付着防止、防汚対策に好適で、付着しても簡単に除去が可能。 また、一体で継ぎ目がない為、攪拌羽や複雑な形状でも安心して使用でき、 優れた撥水、撥油性により薬液やパーティクルの残留を防止します。 【特長】 ■耐薬品性 ・強酸、強アルカリ性の薬液や腐食性ガスから基...
メーカー・取り扱い企業: サーフ工業株式会社
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厚膜フッ素樹脂コーティング対応立形ドライ真空ポンプTRVシリーズ
PR酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(2…
ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社宇野澤組鐵工所
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光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり
シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など厚さ数nm以下の極薄膜について、XPS分析によって膜厚を算出した事例をご紹介します。Siウエハ最表面のSi2pスペクトルを測定し、得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程か ら膜厚を見積も...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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多点マッピング測定により膜厚分布を可視化
蛍光X線分析(XRF)では、元素分布や膜厚の簡便な評価が可能です。 本事例では、金属薄膜の評価事例として、4inchのSiウエハ上のAuの膜厚分布について多点マッピング測定をした事例をご紹介します。 多点マッピングを行うことで、各点...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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極小領域の膜厚測定が可能に!電子線照射時に発生する特性X線の強度から膜…
当社ではEPMAによる薄膜の膜厚分布測定を行っております。 薄膜の膜厚測定は主に蛍光X線法やX線反射率法で行われており、X線を入射源と しているためある程度の広い測定領域の平均的な膜厚しか測定できませんでした。 それ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大同分析リサーチ
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X線反射率測定(XRR)で膜厚・密度の分析が非破壊で可能です
を活かし、実用化が進みつつあります。有機ELデバイスは有機膜を積層させて作製しますが、有機膜積層状態での有機膜分析を行うことは困難でした。今回、XRR法を用いることによって、積層状態のまま、有機膜の膜厚測定および密度測定を行うことが可能となりました。 結晶質、非晶質を問わず、積層膜の膜厚および密度の分析が可能です。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】シームレスカプセルの三次元構造観察および膜厚解析
X線CTによりシームレスカプセルの評価・解析が可能
で、内部に粉末や液体を内包することができ、医薬品などに利用されています。 本事例では、X線CTにてシームレスカプセルの3D構造を評価しました。その結果、皮膜内部に異物が確認されました。また、皮膜の膜厚分布を3Dイメージおよびヒストグラム化しました。このようにX線CTを用いることで、内部構造の確認、異物の調査、膜厚分布等を非破壊で評価可能です。 測定法:X線CT法 製品分野:医薬品 分析目的...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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弊社において成膜した製品はもとよりお客様お手持ちの製品の測定、評価も請…
分光測定、光学濃度測定、膜厚測定、形状測定、欠陥観察等の測定を実施可能です。 自社で成膜した製品対しては合否確認の目的をもった測定データを製品に添付しお届け致します。 お客様がお手持ちの製品についても測定のご依頼は可能です...
メーカー・取り扱い企業: 京浜光膜工業株式会社
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詳細な状態評価と併せ、膜厚計算が可能
XPSでは試料表面の化学結合状態を評価することができ、波形解析により更に詳細な評価をすることが可能です。加えて、波形解析結果に仮定パラメータを用いることで、表面酸化膜等の膜厚を算出することも可能です。 本資料では、SiC表面の組成・状態評価を行うとともに、取得したピーク強度から酸化膜厚を算出した事例をご紹介します。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価と酸化膜厚評価
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
酸化物の分布を得ることができ、イメージ分析によって空間的な分布を評価することが可能です。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:製造装置・部品 分析目的:化学結合状態評価・組成分布評価・腐食層の膜厚 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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メッキや薄膜、多層膜の分析を多彩な手法で適切に実施致します。
【特徴】 ・断面研磨:10μm以上の観察 樹脂包埋を行い、指定箇所で断面だしを実施後、光学顕微鏡もしくは、SEMで観察します。 膜厚が約10μmまでなら、凹凸のない研磨が可能です。それ以上の薄膜の観察をご希望の場合は、イオンミリング(CP加工)を推奨します。 ・イオンミリング(CP加工):100nmオーダーでの観察 イオ...
メーカー・取り扱い企業: JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社
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TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価
大気下におかれた金属銅(Cu)の表面は自然酸化膜で覆われており、このような銅表面は大別して「Cu」「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」の状態にわけられることが知られています。 市販の標準品である「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」粉末をTOF-SIMSにより深さ方向分析を行うことで、各状態に応じて特徴的な分子イオンの取得が可能であることがわかりました。 これらの分子イオンを用いて、...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価
エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…
he TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 分光エリプソメトリーは光の偏光状態の変化を測定し、光学定数(屈折率・消衰係数)や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例を紹介する。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター
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弊社では表面処理層や表面酸化層について、目的に応じて最適な方法を提案す…
薄膜は多様な分野で応用されており、膜の厚さが製品の性能を決定する一要因であるため高精度な膜厚評価を行う必要があります。弊社では目的に応じて最適な方法を提案することによりお客様のご要望にお応えします。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大同分析リサーチ
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膜厚・密度・結合状態を評価
SiCパワーデバイスは、電力損失を抑え、小型で大電力を扱える電力変換素子として期待されています。 デバイスの特性を向上させるために必要なゲート酸化膜の膜厚、密度をXRR(X線反射率法) および結合状態をXPS(X線光電子分光法)で評価した事例をご紹介します。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TEM_SEMによる有機EL_OLED_ゲート酸化膜の断面観察
低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます
適用できます。 1) TEM専用機に比べて加速電圧が低いSEM装置によるSTEM観察 測定法:TEM・SEM 製品分野:LSI・メモリ・ディスプレイ・太陽電池・照明 分析目的:形状評価・膜厚評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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XRR:X-ray Reflectivity
、X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その反射強度を測定します。この測定で得られた反射X線強度プロファイルをシミュレーション結果と比較し、シミュレーションパラメータを最適化することによって、試料の膜厚・密度を決定する手法です。 ・膜厚の評価が可能 (2~300nm 程度) ・密度の評価が可能 ・表面粗さの評価が可能(Rms = 5nm 以下) ・非破壊で分析が可能 ・約10...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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酸化物半導体のXRD・XRR分析事例
料として研究開発が進んでいます。 IGZOは膜の組成・酸素欠損の有無・結晶性で大きく特性が変化する材料でもあり、膜質との相関を考慮することが重要です。加熱温度の異なる3種類のIGZO薄膜の結晶性・膜厚・膜密度をXRD・XRRにて測定し、比較を行った事例をご紹介します。高温では結晶化が進み、膜密度が高くなっている様子を非破壊で確認することができました。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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薄膜表面の機械的特性評価は、薄膜プロセスのキーポイント!
【ラインナップ】 ○硬さ試験:硬さ・ヤング率の評価 ○スクラッチ試験:密着性の評価、傷つきやすさの評価 ○摩擦摩耗試験:摩擦係数の評価、耐摩耗性の評価 ○膜厚測定 ○表面粗さ測定 ○分光エリプソメトリ:膜厚、光学定数の評価 ○EDX分析:摩擦摩耗試験やスクラッチ試験後の試験痕の確認 ○RBS/HFS測定:薄膜を構成する元素の定性・定量評価 ○X...
メーカー・取り扱い企業: ナノテック株式会社
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レーザーが侵入する範囲の物質の測定が可能!金属表面の極薄酸化膜の分析が…
の結果を踏まえ、その有効性を評価した結果を ご覧いただけます。 【特長】 ■狙った箇所(分析径:約1μm)の酸化膜の定性分析が行える ■酸化膜が厚くなると、ピーク強度が高くなるため、酸化膜厚の相対比較が 短時間で行える ■XRD検出下限以下の極薄い膜(約10~50nm)の検出が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大同分析リサーチ
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受託分析・SEM観察受託
重:50μN〜1N(NTR) 1N〜20N(TRB、HTT) ・回転及び往復摩擦(NTRのみ)が可能 ・ボールと基材の応力解析シミュレーション機能搭載 ■Calotest・AFM・NST・・・膜厚・表面形状 ・多層膜の膜厚測定 ・解析ソフトによる多彩な分析が可能 ・nano Scratch Tester(NST)による形状及び摩耗量測定 ■詳細は、お問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ツール・テック東北
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Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出
Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 (クリーンルーム環...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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元素同定を行うEELS分析により、物質の結合状態の比較が可能です!
当社では、分析解析・信頼性評価サービスなどを行っております。 EELS分析とEDS分析は、TEM試料に加速した電子を照射することで 元素同定を行う分析手法です。 「異なるカーボン膜」の事例では、状態分析が特長である EELS分析手法を用いてナノ領域での膜質評価を行いました。 EDS分析ではスペクトルの比較からBottom膜のみN,Oを微量に検出。 EELS分析では2つの...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイテス
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光学モデルを用いたシミュレーションとのフィッティング解析から、膜厚や光…
『SCOUT』は、透過率、反射率、吸収、ATR、エリプソメトリー などの分光スペクトルデータと、光化学モデルをベースにした シミュレーションとのフィッティング解析から、膜厚や光学定数 などを決定するスペクトル解析ソフトウエアです。 豊富な誘電分散モデルなどにより、あらゆる波長領域の 分光スペクトルに対する多様な解析アプリケーションに対応します。 【主な...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社テクノ・シナジー
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不動態皮膜の厚さや濃度を調べることが可能!当社のX線光電子分光分析をご…
ステンレス鋼は耐食性に優れることが知られています。耐食性の優劣には、 不動態皮膜の厚さや濃度が深く関わっており、それらをX線光電子分光分析 (XPS)で調べることができます。 SUS430 製部品を機械研磨して使用し、短期間で錆が発生した例では、 錆発生品と正常品について深さ方向の元素分析を実施。結果、不動態⽪膜に 差が認められました。 Cr濃度を比較すると、錆発生品は正常品に...
メーカー・取り扱い企業: 川重テクノロジー株式会社
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広範囲での観察、計測も可能!レーザー顕微鏡を用いた受託分析のご紹介です
当社では、形状測定レーザマイクロスコープ「VK-X200」を用いた 受託分析を行っております。 平面計測、幅測定、高さ測定、膜厚測定等の各種、測定ができ、対象の サイズや求める精度により、適した対物レンズを選択し、観察や測定を実施。 範囲はレンズに応じて異なりますが、連結機能を有しているため、広範囲での 観察、計測...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイテス
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試料表面の凹凸形状の3D測定や透明体越しの表面形状測定などが可能です!
観察、計測を実施。測定結果は国家基準につながる トレーザビリティ体系に基づいており、測定機器として非破壊測定に活用できます。 レーザー顕微鏡では、試料表面の凹凸形状の3D測定ができ、透明体の膜厚形状や 透明体越しの表面形状測定が可能です。 【特長】 ■試料表面の凹凸形状の3D測定が可能 ■透明体の膜厚形状や透明体越しの表面形状測定が可能 ■408nmレーザーを用いて観察、計測...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイテス
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
らのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ(magnetic tunnel junction)構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温度によって磁気特性が変化することから、本稿ではin-situ TEMを用いて、加熱に伴う結晶性や元素分布の変化過程をnmレベルで分析した事例を...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター
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球体形状試料の評価事例
可能なため、基板等の平坦試料だけではなく、球体形状や湾曲形状の試料でも、曲率の影響を受けにくく、平坦試料と同様に特定箇所を狙って測定することができます。 以下は表面形状が異なる半田ボール表面の酸化膜厚を評価した事例です。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能
薄膜試料のバンドギャップはこれまでUV-Vis・PL・XPSなどの分析手法で測定されてきましたが、材料・膜厚・基板などの試料構造の制約から評価可能なケースが限られていました。 今回、XAFSとXPSの複合解析によって、試料構造の制約を少なく、かつ従来よりも高精度なバンドギャップ評価が可能となりました。本...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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〈XPS・TOF-SIMS〉 表面分析とは何か・表面分析の種類等、基…
MS分析でできること ■各手法の詳細情報 ・XPS X線光電子分光法 ・TOF-SIMS 飛行時間型二次イオン質量分析法 ■分析事例 ・XPSによるSiC表面の状態・膜厚評価 ・Cu表面の酸化状態の定量 ・XPS多点測定による広域定量マッピング ・XPSによるDLCの評価 ・リチウムイオン二次電池におけるLiの結合状態別定量 ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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各種半導体の様々な目的に合わせて、各種手法で分析が可能!
半導体材料分析項目 原子レベルの構造観察、結晶構造、転位密度、膜厚 表面形状、断面構造(膜厚) 結晶性(面方位)、積層膜の周期構造 表面組成、結合状態、深さ方向分布 不純物濃度、深さ方向分析 結晶構造、応力歪 構成元素、組成 表面のヤング率、硬度...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イオンテクノセンター
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材料分析・異物分析に適した微量元素・軽元素の高感度分析を実施します。
することが可能です。 WDXはエネルギー分散型X線分析法(EDX)よりも波長分解能が高く、微量元素や軽元素の検出感度にすぐれています。金属試料の材料分析(判別)やセラミック試料の材料分析、メッキの膜厚測定などにご利用いただけます。...
メーカー・取り扱い企業: JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社
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Cuスペクトルの複合解析
Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 以下、各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 (クリーンル...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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Csコレクタ付STEMにより原子レベルでの観察が可能です
サイト・Nサイトの位置を特定することができ、視覚的にGa極性、N極性の様子を明らかにすることができました。 測定法:TEM 製品分野:パワーデバイス・光デバイス 分析目的:形状評価・構造評価・膜厚評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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DLC(ダイアモンドライクカーボン)の各種分析が可能!
DLC(ダイアモンドライクカーボン)の結晶性、膜厚の構造、水素量、密度、硬度の評価を紹介いたします。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イオンテクノセンター
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X線CTにより部品の非破壊観察・厚さ分布解析が可能
用品は局所的にリングの太さが細くなっている箇所が検出され、そこからリークが起きていることが示唆されました。 測定法:X線CT 製品分野:製造装置・部品、高分子材料、日用品 分析目的:形状評価、膜厚評価、構造評価、故障解析・不良解析、劣化調査・信頼性評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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ダイオード、MOS-FET、IGBT等のパワーデバイスの不良箇所特定・…
あらゆるサイズ・形状のダイオード・MOS FET・IGBT等の パワーデバイスに対し最適な前処理を行い 裏面IR-OBIRCH解析や裏面発光解析により不良箇所を特定し観察いたします。 ■解析の前処理-裏面研磨- 各種サンプル形態に対応します。 Siチップサイズ:200um~15mm角 ■不良箇所特定-裏面IR-OBIRCH解析・裏面エミッション解析- IR-OBIRCH...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アイテス
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【事例】ノーマリーオフ型GaN HEMT 二次元電子ガス層評価
製品調査の複合解析をワンストップでご提案可能です
した。 分析手法を複合的に活用し、試料の総合的な知見を収集した事例をご紹介いたします。 測定法:SIMS・TEM・SCM・SMM 製品分野:パワーデバイス 分析目的:微量濃度測定・形状評価・膜厚評価・構造評価・製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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Csコレクタ付STEMにより結晶整合性および組成分布の評価が可能
STEMにより、AlGaN/GaN界面近傍の結晶整合性を確認しました。また、EELSにより組成分布の評価を行いました。 測定法:TEM・EELS 製品分野:パワーデバイス 分析目的:構造評価・膜厚評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捕らえることが可能
原因の調査に欠かせません。TOF-SIMSは最表面での深さ方向分解能に優れ、無機物の状態をモニターしながら高感度に深さ方向分布を測定することが可能です。OHと併せて深さ方向分布を評価することで、酸化膜厚の変化を伴わずにOHが増加していた現象を見出しました。このようにTOF-SIMSでは元素分析では得られない、無機物の分子情報の深さ方向分布を評価することが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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GD-OES(グロー放電発光分析)によりNiめっきの膜厚、濃度の分析状…
グロー放電発光分析法(Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry:GD-OES)は、スパッタリングにより試料表面から原子を弾き出し原子をプラズマ状態に励起し、生じた発光を測定することで試料の組成を分析する方法です。 この事例ではGD-OESによる「めっき工程前の基板洗浄効果調査」を紹介します。 ぜひPDF資料をご一読ください。 弊社では...
メーカー・取り扱い企業: セイコーフューチャークリエーション株式会社
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様々な測定器を駆使し、測定及び試験を行っております!
00 ■原子吸光分析装置 アナリティクイエナジャパン cotrAA300 ■EDXエネルギー分散型X線分析装置 TM3000 ■システム金属顕微鏡 オリンパスBX51M&SZX7 ■蛍光X線膜厚測定装置 Fisher XDLM237 ■高度測定装置 アカシHM-122 ■ISO型塩水噴霧試験機 SUGA STP-90 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せくださ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイライト
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GCIB(Arクラスター)を用いることで劣化層の膜厚を評価することが可…
ポリカーボネート(PC)は熱可塑性プラスチックの一種であり、優れた透明性・耐衝撃性・耐熱性などの特長をもち、太陽電池パネル・メガネレンズ・CD・車載部品・医療機器の材料として、幅広く活用されております。今回、スパッタイオンビームにGCIB(Arクラスター)を用いてTOF-SIMS分析を行い、PC表面の劣化層の評価を行いました。 ※GCIB:Gas Cluster Ion Beam...詳しいデー...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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金属組織の観察など、観察前の試験・試料調整から一連の調査を受託します。
【金属や合金、セラミックスなどの材質の構造観察を実施】 組織や結晶粒、合金層の観察、接合部の断面状態観察(界面・膜厚・ボイド・クラックなど)にご利用頂けます。 【マクロ観察からミクロ観察まで幅広く対応】 観察倍率で50倍~1,000倍まで対応しています。 【倒立型(対物レンズが標本の下に位置)のメリ...
メーカー・取り扱い企業: JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社
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【DL可:XPS/AES/GD-OES】表面分析に関する事例集1
Niめっきの膜厚や濃度測定、表面汚染レベル測定などXPS、AES、GD…
当事例集では、『表面分析』にかかる事例をご紹介します。 「めっき基板の洗浄評価(GD-OES測定)」の目的や手法と結果をはじめ、 「XPSによる表面汚染分析」の特長や分析事例、「鉄サビの分析 (ラマン分光分析)」の特長や分析事例など多数掲載。 他にも、解析結果や状態解析、組成測定などご紹介しております。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■めっき基板の洗浄評価(GD-...
メーカー・取り扱い企業: セイコーフューチャークリエーション株式会社
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粉砕・乾燥・加熱・冷却・混合・造粒・表面改質等各機種による実験が可能で…
ーテスター ・精密天秤 ・粉末X線回折装置 ・蛍光X線解析装置 ・示差熱量分析装置 ・熱重量分析装置 ・溶出試験機 ・その他各種(風速計 振動計 騒音計 膜厚計 等) ●詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社奈良機械製作所
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SEM-ECCI法を用いると容易な前処理で観察可能に!単結晶GaNの測…
-ECCI法を用いると容易な前処理で観察可能となります。 【測定事例】 ■供試材:単結晶GaN(サファイア基板上にGaNを成膜したウェハ) ■面方位:C面(0001)±0.5° ■GaN膜厚:4.5±0.5μm ■測定条件:後方散乱モード ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大同分析リサーチ
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光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり
薄膜など、厚さ数nm以下の極薄膜について、サンプル最表面のSi2pスペクトルを測定します。得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程から膜厚を見積もります(式1)。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
配線材料として用いられる銅(Cu)は空気中で酸化膜を生じますが、保管環境の違いによる膜厚の差を評価した事例をご紹介します。アルミホイルで包んだ銅(Cu)と、ビニール袋に入れた銅(Cu)をそれぞれ40日間保管し、TOF-SIMSにて酸化膜厚の測定を行いました。また、約20日間にわたる継続...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
)深さ方向分解能が良い、(2)酸化物・窒化物・ふッ化物・炭化物・合金・金属など無機物の化学状態の区別が可能、(3)微量な状態の評価が可能、(4)OHのモニターが可能、(5)相対的なサンプル間の比較(膜厚・組成)が可能、(6)イメージ分析により表面数nm程度について状態の分布を視覚的に捕らえた評価が可能です。 自然酸化膜と酸化膜の結果をまとめます。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:LSI・...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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膜厚1nm程度のSiON中Nの評価が可能
高感度なSIMS分析が得意とする低濃度領域に至るまで、SiON膜中Nの分布を深さ方向に評価し、N量(単位:atoms/cm2)を高い精度で評価が可能です(図1)。またNをatomic%へ変換(図2)、Nのフィッテングカーブ算出することができ、フィッティングによりNのピーク濃度・深さ・半値幅を算出(図3)することが可能です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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30nmから5μmの切片作製が可能!材料系解析事例を複数ご紹介した資料…
【受託分析】 ■表面分析:異物、変色、残渣、凹凸、破面 ・光学顕微鏡、SEM、EDX、AES、X線回折、AFMなど ■断面分析:組織、膜厚、拡散、酸化、表面変質 ・光学顕微鏡SEM、EDX、AES、TEM、STEM、EELSなど ※断面加工方法:切断、劈開、機械研磨、CP加工、FIB加工など ■深さ方向分析:膜組成、拡散、表...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社花市電子顕微鏡技術研究所
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薄膜の組成定量、面内分布、深さ方向分布の評価が可能
を評価した事例、およびXRFにて基板面内の濃度分布を評価した事例を紹介します。 測定法:SIMS・ICP-MS・XRF・エッチング 製品分野:太陽電池 分析目的:組成評価・同定・組成分布評価・膜厚評価・製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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コニカミノルタジャパン株式会社 センシング事業部 -
CZ/高抵抗FZ 各種ウェーハ販売(評価・開発・テスト用)
少量ウェーハに対応!研究・テスト用途に便利なウェーハ販売サービ…
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