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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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パレット品の入出庫作業を無人化!夜間作業や24時間稼働にも対応可能
出庫パレットも同様に、シャトルがプラッターオートの元まで 自動搬送するので、人に頼らない作業を実現します。 【特長】 ■入出庫から搬送まで、フォークリフト作業を自動化 ■パレット品を高密度保管 ■設備は固定ラックと同等 ■走行経路の床面工事も不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 京栄ニチユ株式会社
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