レジスト装置の製品一覧

Suffix Systemが超音波の効率を上げ、ウェハ表面への洗浄効果を劇的にアップ！

超音波効率が良くなり、処理時間の大幅短縮が可能。超音波効果がウェハ面にいきわたり歩留まりが向上します。通常処理薬液温度より低い温度で同等以上の結果が得られます。危険な薬液を使用せず処理が可能になること…（つづきを見る）

• 株式会社ダルトン

薬液を使用せず純水のみでレジスト剥離やリフトオフが可能！

純水を用いたスピン式スチーム剥離（洗浄）装置です。薬液を使用せず純水のみでレジスト剥離やリフトオフが可能です。（膜付け条件によって異なります）生産コストと環境負荷の大幅減少が期待出来ます。

• 株式会社ダルトン

IPAベーパーからスピンドライヤーまで各種乾燥装置を取り揃えております。

ウエハーサイズ、用途、予算等によりカスタマイズし、製作いたします。詳しくはお問い合わせ下さい。

• 株式会社ダルトン

タンク形状、用途、予算によりカスタマイズし、製作いたします。

少量から大容量、及び各種薬液により設計製作いたします。詳しくはお問い合わせ下さい。

• 株式会社ダルトン

手動から全自動まで独自オプションによる最適な剥離洗浄を提供します。

使いやすく、コストダウンにも配慮してご提案します。前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプもご用意できます。スループットを考慮したACサー…（つづきを見る）

• 株式会社ダルトン

超音波洗浄設備の音圧を監視するシステム

洗浄に最適な超音波条件を設定するだけで管理できますので、超音波の故障、劣化、人為的ミス等による品質トラブルを解消いたします。超音波強度検出センサーを洗浄槽に固定する為、随時異常の検出を行えます。

• 株式会社ダルトン

排気される薬液ミストを抑え、排気ダクトを保護

ダルトンでは半導体洗浄装置の経験と排ガス処理装置の経験からそれに着目し、溶剤ミスト回収装置を開発いたしました。この装置を洗浄装置の排気口に取り付け、装置を経由して配管スペースの排気ダクトに接続すること…（つづきを見る）

• 株式会社ダルトン

大幅なランニングコストの削減！フィルターメンテナンスフリー

リフトオフ工程や、その他液中内で固形異物（カス）が発生する工程においてフィルターメンテナンフリーを実現しています。循環ラインまたは液の流れる配管中にISF systemを入れるだけ！従来使用していたフ…（つづきを見る）

• 株式会社ダルトン

エッチング液の使用量を抑えた枚葉式のスピン洗浄機です。

独自の構造により、ワーク裏面への液のまわり込みを窒素圧で封じ込めます。また、従来の横洗浄／エッチング方式以外に、装置寸法をコンパクトに設計できる縦型洗浄／エッチング方式も採用しています。チャックの工夫…（つづきを見る）

• 株式会社ダルトン

ダルトンでは長年培ってきた技術を活かし、コストダウンに配慮した仕様でご提案しています。

使いやすく、コストダウンにも配慮してご提案します。前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプもご用意できます。スループットを考慮したACサー…（つづきを見る）

• 株式会社ダルトン

バッチ・枚葉の併用で「より早く、より確実」な仕上がり

剥がれにくい強固なメタル膜もバッチ処理でディップし、剥離後ウェット状態のまま高圧スプレーで剥離カスを全て除去します。従来方式よりスループットの向上が望めます。詳しくはお問い合わせ下さい。

• 株式会社ダルトン

硬質塩化ビニル樹脂丸棒、工業用プレート(硬質塩化ビニル樹脂板)用補材は、工業用耐蝕材料として幅広く使用されております。

・フランジなどの部品用途や各種装置用途の補強材に幅広く使用されています。 ・優れた耐薬品性で、酸、アルカリ、塩類、油脂などに対して安定した性質を有しています。 ・切削加工、孔開け加工、寸法安定性に…（つづきを見る）

• タキロングループ タキロン株式会社

ワンタッチ風袋引きが可能。ロードセルの感度が判ると分銅無しでの校正が可能

ひずみゲージトランスデューサ（ロードセル）用の超小型インテリジェント指示計です。感度を初めとする設定は全てデジタル式です。可変抵抗器による調整個所がありませんから振動に対しても、また環境条件、経時変化…（つづきを見る）

• 株式会社センサーシステム

ローターに取り付けたカセット入りのウエハーをエッヂング、水洗、乾燥まで一連で行うエッヂジング装置です。

ローターに取り付けたカセット入りのウエハーをエッヂング、水洗、乾燥まで一連で行うエッヂジング装置です。 薬液はフッ酸と硝酸を使用します。

• 株式会社ゼス