カセット | イプロスものづくり

変化をアシストする　真田製作所

■製品案内スマートフォン向けタッチパネルの製造ライン（ウェット系は除く） カセットから1枚づつガラスを取り出すローダー ...

ウェーハ搬送装置『PWT2020』

5枚単位・25枚単位の搬送も対応可能！誤操作防止センサ、緊急停止ボタン…

『PWT2020』は、クリーンロボットを応用したウェーハ搬送装置です。 カセットからウェーハを持ち上げてロード/アンロードを行うため カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防止。ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどの ...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

6インチ用ウェハローダー WR-100A

6インチ用、マニュアルタイプのウェハローダー【特徴】 ○ウェハをカセットから顕微鏡の受け渡し位置へ渡し　作業終了後、カセットへ収納 ○検査するウェハは選択可能 ○オリフラ角度の設定が90度単位で可能（オプション） ●その他機能や詳細については、カタログ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウイング

ウエハーマウンター

独自の真空貼付方式！塗布技術のノウハウにより凹凸の大きなパターンにも対…

『ウエハーマウンター』は、ウエハー薄板化および薄基板工程流動をサポートする製品です。 LD、LED、MMICなどの薄板化工程に使用されるウエハーを支持基板に貼り合わせ、カセットに収納。アニール後の薄板ウエハーの支持基板によるサポートにも対応します。また、WAXメーカーとのアライアンスによるプロセス提案が可能です。【特長】 ■薄板化工程に使用されるウ...

メーカー・取り扱い企業：ダイトロン株式会社

液晶・ガラス関連設備のご紹介

大型総合ガラス基板搬送設備など液晶・ガラス関連設備の製品ラインアップを…

、バッファ装置、基板旋回装置などで構成されるクリーンルームでの大型ガラス基板搬送ラインです。そのほか、「ガラスパッカー・アンパッカー」をはじめ、「エアー浮上搬送装置」や、「ワイヤーカセットバッファ装置」などをラインアップしています。【ラインアップ】 ■大型総合ガラス基板搬送設備 ■ガラスパッカー・アンパッカー ■エアー浮上搬送装置 ■ワイヤーカセットバッファ装置 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンテック

基盤供給・搬送装置『ローダー・アンローダー』

各種検査装置への基板供給や排出の対応が可能！【FPD関連機器】

ロボットによる基板供給や収納をする装置です。 カセットステージからロボットで取り出し、下流・ステージ、あるいは他のカセットにローディングします。【特長】 ■各種検査装置への基板供給 / 排出対応可能 ■MGV 、AGV 対応可能 ■基板...

メーカー・取り扱い企業：株式会社岩崎製作所

セラミック基板用　現像装置

【特長】 ○2インチ角の小ワークが治具なしに枚葉で流せる ○カセットtoカセットも可能 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

『ボルトナットねじ込み装置』

7個のパーツを交換することにより、1台で様々なサイズに対応

【仕様】 ■M10サイズ機体はM10、M12、W3/8、W1/2の4種類のカセットを装備 ■M16サイズ期待はM16、M20、W5/8、W3/4の4種類のカセットを装備 ■ボルト首下長さの範囲：25～55mm（平座金、ばね座金の組み込み可能） ■処理数量：最大完成数量毎時...

メーカー・取り扱い企業：第一ボールト株式会社本社

『ボルトナットねじ込み装置』【1台で様々なサイズに対応可能！】

1台で様々なサイズに対応可能なルトナットねじ込み装置！

【仕様】 ■M10サイズ機体はM10、M12、W3/8、W1/2の4種類のカセットを装備 ■M16サイズ期待はM16、M20、W5/8、W3/4の4種類のカセットを装備 ■ボルト首下長さの範囲：25～55mm（平座金、ばね座金の組み込み可能） ■処理数量：最大完成数量毎時...

メーカー・取り扱い企業：株式会社タカシュウ本社

バッファーコンベアII型『TB-9819』

ワークに衝撃振動を与えることなく搬送可能！クリーンルーム仕様のコンベア

『TB-9819』は、ハードディスクアルミニウム製造ラインのサブストレート収納カセット自動搬送、前後工程の受渡し用コンベアです。クリーンルームクラス10,000対応。移載部コンベア部はワークに衝撃振動を与えることなく搬送します。【特長】 ■クリーンルームクラス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トーテック城岡工場

質量式混合機　CW

少量多品種生産に重点を置いた混合機　

供給能力： 50kg/hr 計量方式：累加計量方式オプション機能：自動清掃機能　カセット式ホッパー等 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：エム・エルエンジニアリング株式会社

超小型・卓上スペース　簡易マウンター

超小型設計で高精度。微圧にも対応でき圧倒的スピード！簡単操作。カスタム…

「超小型・卓上スペース　簡易マウンター」は、カセットに収められているチップ部品をシリンダで取り出し、コンベアにて搬送されるパレットに供給する装置です。 <概要> ■業界最小クラスの超小型設計・ 750(W)×580(D)×1370(H)...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソーリンク

WETプロセス装置　枚葉スピンプロセッサー

装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現可能です。

イズ：160W×170L以下～730W×920L以下【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

高速外観検査装置　～電子部品から小型金属部品まで対応～

【無料相談受付中！】小型部品のキズ、欠け、塗装ムラ、黒点等を高速0.0…

装置は、カメラ、レンズ、照明、メカ等、それぞれのノウハウを高度に組み合わせる複合技術です。目視ではとても追いつかない小型部品の検査を必要とするお客様はお気軽にご相談ください。 ■装置概要 カセットに収められている小型部品を取り出し、0.05secでキズ、欠け、塗装ムラ、黒点等を判別。異形部品にも対応可能です。対象ワークは30×30mm以内の小型部品になります。ワーク形状・搬送形式等...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソーリンク

HGTECH社製ウエハー用マーキング機

圧倒的なコストパフォーマンスがウリのHGTECH社製マーキング機がウエ…

そのため、貴社ご要望をご連絡いただければと思います。・材質（シリコンなど）・ウエハーサイズ（200mm/300mmなど）・必要マーキング枚数/日 or Lot数/月・ロードポートカセット数（2ポート以上など）・印字ドット径（60μm以上など）・印字ドット真円度（1:1以内など）・印字ドット深さ精度（±20μm以内など）・印字盛り上がり（±15μm以内など）・粒...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

ME-100 3次元実装用マニュアルタイプウエハケミカル洗浄装置

3次元実装用マニュアルタイプのウエハケミカル洗浄装置です！

トル）あれば設置可能と経済的です。純水リンスはカスケード方式による純水使用量を抑えた低コストです。ケミカル温度をコントロールが可能です。比抵抗計によりリンス効果を判断します。ウエハカセットは傾斜を持たせ、ウエハ表面側に液残留を防止します。将来、２槽（下部タンク共）追加可能なスペースを確保しています。エアーガン付です。シャワーノズルでケミカル槽を簡単洗浄出来ます。...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

FPD製造装置ローダアンローダ及び搬送システム

適したレイアウトでのインラインシステム構築を提案！安定稼働に向けて確実…

当社のFPD搬送ロボットを使ったローダアンローダシステムをご紹介いたします。各工程では、カセットステージ、基板のアライメント、旋回ターン、基板を天地反転するターンオーバー等のユニットが必要になり、必要に応じた専用のユニットを含めてラインを構築。液晶基板製造工場で、ARRAY、...

メーカー・取り扱い企業：日本電産サンキョー株式会社

リフロー装置『NRY-101V6W/LU』

6,8インチウェーハ対応ソルダーバンプ形成用N2リフローシステム

ー装置です。加熱方式はホットプレートと上部遠赤外ヒーターの併用。直接熱伝導により温度分布の均一化が図れます。【特長】 ■ローダー・アンローダー一体型設計 ■お客様のマガジンカセットに合わせて設計 ■炉内へのハンドリングは、3軸クリーンロボットを装備により　上流機とのインライン化が容易に ■ロボットなしのベルトコンベア搬送のローコストタイプも製作可能 ■炉内搬送は、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大和製作所

株式会社エイブルジャパン　取扱製品総合カタログ

フォトマスクを洗浄する「マスク洗浄装置」などを紹介します。

置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプの「マスク洗浄装置（自動タイプ）」や、投入された基板に自動で塗布～乾燥まで行う装置「オートスピンコーター」、ウェハーの洗浄を行う装置「スピンクリーナー」、カセット内の基板受渡しを行う装置「LD／ULD」、塗布後の基板を乾燥する装置「UV照射装置」等、多数掲載しています。【掲載製品】 ○マスク洗浄装置 ○スピンナー ○マニュアルスピンコーター ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイブルジャパン

WETプロセス装置　LCDカセット洗浄装置

圧縮エアーとスピン回転の併用により高レベル乾燥を実現しました。

WETプロセス装置 LCDカセット洗浄装置は、LCD等のカセットを高圧温純水スプレーにて洗浄後、HOTエアーブロー及びトルネードスピン回転により乾燥を行います。株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

WETプロセス装置　LCDマスク洗浄装置

マスクをブラシ・USスプレーで洗浄、高速スピン回転で乾燥します。

ーにて洗浄し、　高速スピン回転により乾燥を行なう【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

WETプロセス装置　枚葉基板洗浄装置

基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。

ワースプレー洗浄、　超音波洗浄、乾燥処理を行なう【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

WETプロセス装置　LCD枚葉エッチング装置

LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行いま…

て、エッチング・シャワー洗浄、　乾燥処理を行なう【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

WETプロセス装置　マルチスピンプロセッサー

スピン＆スプレーを併用し、高精度で均一なプロセスを実現しました。

をスプレー方式にて現像/エッチング/乾燥処理を行なう【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

卓上型顕微鏡ローダー『SYAR112』

ウェハ表面のマクロ観察も可能！卓上型5、6インチウェハ対応顕微鏡ローダ…

『SYAR112』は、卓上型ロボットとアライナ、顕微鏡XYステージからなる顕微鏡ローダ装置です。所定のウェハをカセットから抜き取った後、アライナでセンタリングとノッチ又はオリフラを位置決めし、顕微鏡XYステージに供給します。また、観察ポイント、検査結果を記録収納可能です。【特長】 ■顕微鏡X...

メーカー・取り扱い企業：アテル株式会社

卓上型顕微鏡ローダー『SYAR110』

2、3、4インチまでのそりの大きなGaAsや各種ウェハ対応！顕微鏡ロー…

ローダ装置です。照明観察ユニットにて、ウェハ表面のマクロ観察が可能。ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAsを始め、各種ウェハに対応します。【特長】 ■ウエハをカセットから抜き取り、顕微鏡ステージに供給 ■ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAs、各種ウェハに対応 ■レーザー型マッピングセンサ搭載 ■塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業：アテル株式会社

【受託開発事例】M8011(OEM製品)シリコンウェハー搬送装置

シリコンウェハー搬送装置の受託開発事例をご紹介！

コンウェハー搬送装置』についてご紹介いたします。【概要】 ■開発製品：M8011(OEM製品)シリコンウェハー搬送装置 ■特長・シリコンウェハーの切り欠き部を検出し、一方に揃えカセット内に積み重ねていく装置・SH2マイコン＋PPMC312＋FPGAにより、多軸のACサーボ、ステッピング・モータを制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アンペール友部事業所/産業機器部