リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

モジュール『PXI 低密度 マトリクス・スイッチ モジュール』

モジュールあたり最大96個のリレー！コスト効果の良いスイッチ ソリュー…

フェース社製の『PXI 低密度 マトリクス・スイッチ モジュール』は、PXIの形式で相対的に小さなマトリクスに対し、 コスト効果の良いソリューションです。 リード・リレー版はルテニウムでスパッタ加工した高品質のリレーが 使われており、低い電圧レベルから中ぐらいのレベルのスイッチ条件で 優れた接点性能を発揮。高い電力を扱う汎用的なアプリケーションでは、 メカニカル・リレーが理想的なソ...

メーカー・取り扱い企業： アンドールシステムサポート株式会社 自動テストソリューション事業部