スパッタ | イプロスものづくり

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

ALNコーティング装置（高密度プラズマスパッタADMS装置）

高密度プラズマスパッタで結晶性ＡｌＮ膜を形成、立体形状への全面コーティ…

独自開発の高密度プラズマスパッタ　ADMS法（アーク放電型マグネトロンスパッタリング法）により従来に無い緻密なＡｌＮ膜を立体形状基板に成膜。従来の10倍のイオン量の高密度プラズマスパッタを実現。他には無い高反応性スパッタで結...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…

装置形態：巻取式マグネトロンスパッタリング装置基板寸法：最大幅１０００ｍｍまで対応カソード数：最大４元膜種：金属・磁性膜・反応性酸化膜オプション機構：プラズマ前処理機構・イオンガン・ランプヒータ・加熱ロール等...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

バリ取り機『酸化被膜除去に強いバリ取り機』

酸化被膜除去に強いバリ取り機。用途に応じた研磨ブラシを使ってバリ取り効…

ackLine1100/650』は大物ワーク向けの酸化被膜除去に強いバリ取り機です。手作業の1/10程度にバリ取り時間を短縮！材料の特性や使用目的（酸化被膜除去・溶着ドロス / ノロ / スパッタ除去・バリ取り・R 面取りなど）に合わせ適した組み合わせを選択できます。通常のバリ・酸化被膜除去はもちろん、溶着ドロス・スパッタ除去にも効果的で用途に応じた研磨ブラシを使ってバリ取り効果を...

メーカー・取り扱い企業：オーセンテック株式会社

【事例紹介】スパッタ溶着の予防と除去を行う製品「ロペット」

溶接ロボットの生産性向上のため、社内要求から生まれた機械です。

〇開発の経緯社内の溶接ロボットにおいて、スパッタがノズル部に付着し、溶接品質が低下。その都度、自動運転を停止し、作業者がスパッタを除去していました。『スパッタの除去と付着防止剤の塗布、ワイヤカット機能を搭載したクリーニングマシンができな...

メーカー・取り扱い企業：大和精工株式会社

ロードロック式スパッタ装置　RAS-1100BＩＩ

独自開発のRAS(Radical Assisted Sputtering）方式により波長シフトのない高品質な光学薄膜を低温で再現性良く実現でき、装飾膜、窒化膜などの機能性薄膜を実現できる中型量産用モデルです。...独自開発のRAS(Radical Assisted Sputtering）方式により波長シフトのない高品質な光学薄膜を低温で再現性良く実現でき、装飾膜、窒化膜などの機能性薄膜を実現できる...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シンクロン

ロードロック式スパッタ成膜装置 RAS-1100C

光学薄膜から機能性装飾膜まで成膜が可能！スパッタ成膜装置

≪独自に開発したＲＡＳ方式はさらに進化し、高規格の光学薄膜から　　　　　　　　機能性装飾膜まで広範囲の成膜が可能になりました≫ ●波長シフトの無い高密度な光学薄膜形成が可能 ●中間屈折率を利用し光学薄膜設計が容易に ●再現性の良い２０nm以下の薄膜を利用し、　光学薄膜設計どおりの成膜が可能 ●色の再現性が良い、ＲＧＢカラー着色が可能 ●低温処理によるプラスチックスへの成膜可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シンクロン

樹脂スパッタリング

スパッタ膜の成膜を行います。他社で無理そうなものでもご相談下さい

　低価格、短納期で1個からの試作も承っております。特に樹脂フィルムや樹脂成形品へのスパッタも得意としております。透明光学樹脂部品のマスキングスパッタリングも可能です。蒸着分野の仕事もスパッタで可能です。...

メーカー・取り扱い企業：若狭電機産業株式会社

バリ取り機『AuDeBu BlackLine1100/650』

酸化被膜と溶着ドロスを徹底除去！使い勝手の良さを追求したバリ取り機

由に選択することが可能。それと同時に多種多様なベルト、ディスクブラシ、ローラーブラシを選択することで好適なバリ取り工程を実現します。通常のバリ・酸化被膜除去はもちろん、溶着ドロス・スパッタ除去にも効果的です。【導入のメリット】 ■導入効果：バリ・酸化被膜除去、溶着ドロス・スパッタ除去 ■作業効率の向上：手作業の1/10程度に時間短縮 ■品質の向上：誰でも同一の加工品質...

メーカー・取り扱い企業：オーセンテック株式会社

導電性カーボン薄膜形成装置（アーク放電スパッタリング装置）

導電性カーボン薄膜をスパッタリングで形成。低温（４００℃以下）で不活性…

独自高密度スパッタ法　アーク放電型マグネトロンスパッタリング法（ＡＤＭＳ法）によりメタル成膜と同等のプロセスで導電性カーボン薄膜を形成。従来のスパッタカーボン薄膜に比べて格段に緻密で高い密着性が特徴。導電特...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

ハイブリッド溶接機

箔に穴あきのない積層型電池セルを容易に量産可能なハイブリッド溶接機

『ハイブリッド溶接機』は、スパッタやブローホールの発生を抑制できる金属箔のレーザ溶接装置です。箔内にスパッタやブローホールが発生せず、穴あきも発生しないため、積層された複数の金属箔について、信頼性の非常に高い溶接を...

メーカー・取り扱い企業： PHYSICAL PHOTON株式会社

【精密かしめ機導入実績】溶接に代わる低コスト組立

サイクルタイムを短縮！電気コスト削減、後処理工程不要などのメリットも

コスト高、スパッタ、歪変形などの溶接工法の問題点や、引抜き強度・ねじり強度などに課題がありました。そこで当社の精密かしめ機「RN381」及び角型ポンチを適用。溶接10secに対してかしめでは2....

メーカー・取り扱い企業：仲精機株式会社

Ｒ＆Ｄ向け小型ロールコーター　FRC-100V

実験用小型スパッタリング装置！コンパクトでリーズナブルな設計！品質…

FRC-100Vは研究開発、小ロット生産に適した小型・高性能のマグネトロンスパッタ式ロールコーターです。樹脂フィルムに光学特性を持たせた透明導電膜や機能性膜を手軽にコーティングできる様に設計されています。スパッタによる緻密な成膜が可能で、走行パターンも多種設定可能です。使い勝手...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

開発向けマルチ成膜装置『R＆D向けPVD』

マグネトロンスパッタ、熱蒸着、EBに対応！IoT・車載デバイスの開発向…

『R＆D向けPVD』は、開発向けマルチ成膜装置です。マグネトロンスパッタ、熱蒸着、EBに対応。ワールドワイドで納入実績は、400台以上を誇ります。モジュール設計により、ご希望に応じた組合せが可能です。【特長】 ■R＆Dに特化した開発用成膜装置 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日立ハイテク

鉄板用自動平面バリ平滑機　MFDB-610N

ワークを傷つけずにあらゆる剪断面のバリを均一に除去します。

鉄板用自動平面バリ平滑機　MFDB-610Nは、200個の超硬球が、どんなバリでも確実に処理します。業界先駆のボールスパッタ方式（特許取得）が、これまでのバリ取りの常識を一掃、ワークを傷つけずにあらゆる剪断面のバリを均一に除去します。高速・高性能、クリーン、そして低ランニングコスト、バリ取り加工機の永年のテーマを、全く...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ファブエース

ワブリングヘッド『OPTICEL WV-D30/D50』

スパッタの低減ができる！国内外のファイバーレーザに接続することが可能で…

簡単に設定可能。従来の固定光学系と比較し、ギャップ裕度が増します。尚、当製品は既存の当社製加工ヘッド(OPTICEL D30/D50シリーズ)に取付可能です。【特長】 ■スパッタの低減が可能 ■アルミや銅に対して、ビード幅を確保した溶接が可能 ■ブローホールの低減ができる ■ワブリングの操作条件を簡単に設定できる ■従来の固定光学系と比較し、ギャップ裕度が増す ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レーザックス

ハイブリットヘッド『OPTICEL HV-D30/D50』

銅への溶接がきれいできる！2波長の焦点アライメント機能を有します

『OPTICEL HV-D30/D50』は、グリーン、ブルーレーザに対応したハイブリットヘッドです。ブルー・グリーンレーザは共に銅への吸収率が高いため、効率的な銅の溶接が可能。スパッタの低減、溶接品質の向上に寄与します。また、豊富なオプション構成で、個別カスタマイズもできます。【特長】 ■グリーン、ブルーレーザに対応したハイブリットヘッド ■2波長の焦点アラ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レーザックス

成膜装置複合型ＰＬＤ装置

民間の研究所から国営研究施設まで、幅広く対応！半導体・液晶・プラズマデ…

70台以上の販売実績を誇る多目的ＰＬＤ装置です。豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能で、他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることも可能です。...

メーカー・取り扱い企業：バキュームプロダクツ株式会社

中出力域のレーザ切断/溶接に好適　リーズナブルな加工ヘッド

世界各地に拠点を持つ安心のドイツブランド、プレシテック社のリーズナブル…

る材質や厚さの材料も、レーザ焦点位置を高速、ダイナミックに調整して綺麗に切断　　・カートリッジ式で簡単な保護ガラス交換 ■溶接ヘッド【NexoWelder】　　・クロスジェットで保護ガラスをスパッタやヒュームから保護　　・市販カメラを接続できるカメラアダプタ搭載　　・カートリッジ式で簡単な保護ガラス交換...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

ドライアイスブラスト　i3 MICROCLEAN

最も小型のドライアイスブラスト装置！クリーンルームでも使用されてい…

昭和電工ガスプロダクツでは、ドライアイス洗浄システムを用いて「溶断後の酸化被膜除去する」特許を取得致しました！他、溶接に対してはスパッタの除去でも実績が多数ございます！ i3 MICROCLEANは、Cold Jet の特許取得済みシェーブアイス供給技術を利用します。これにより、狭く複雑な空孔部や隙間、0.1mm以下の微細、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レゾナック・ガスプロダクツ

3Dレーザ加工装置『TruLaser Cellシリーズ』

生産能力2倍、ランニングコスト半分の固体レーザ搭載！多彩なテーブルオプ…

振器の高い技術力が融合した最適化されたシステムです。用途や加工物の大きさに応じたコンポーネントのアレンジが、生産現場の様々なニーズにお応え。高性能シミュレータ、画像認識、低スパッタ溶接など新しい技術との融合もできる超高精度多機能マシンです。【特長】 ■生産能力2倍、ランニングコスト半分の固体レーザを搭載 ■切断有効範囲が大幅に拡大するX-Blastテクノロジ...

メーカー・取り扱い企業：トルンプ株式会社

LMJ加工サービス

スパッタ付着のない清浄な加工が可能！サンプル加工によりLMJ技術の評価…

プロセスエンジニアによるアドバイスが受けられます。半導体、セラミックス、超硬工具、航空宇宙、その他具体的な技術課題があれば何でもご相談ください。【特長】 ■超純水を用いるためスパッタ付着のない清浄な加工が可能 ■焦点のない平行ビームによりアスペクト比の高い溝加工が可能 ■評価時の試作加工や量産立上時の受託加工も可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： SYNOVA JAPAN株式会社

複合型PVDコーティング装置

アークイオンの三ソースをひとつのチャンバー内に搭載！複合型イオンプレー…

○アプリケーション →表面改質：切削工具・金型・電子部品等 →カラーリング：意匠鋼板・携帯電話ケース・ドア等【装置バリエーション】 ○HCDイオンプレーティング装置　 ○HCD搭載スパッタ装置 ○スパッタインライン装置 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

ハイブリッド硬質膜コーティング装置（ＤＬＣーＣＶＤ＋ＰＶＤ装置）

ＣＶＤ－ＤＬＣと硬質膜用ＰＶＤの複合型コーティング装置。スムースサーフ…

自動車用のＤＬＣ膜に実績豊富なＰＩＧ式ＤＬＣ膜コーティング装置に高密度スパッタカソードＡＤＭＳ機構（アーク放電型マグネトロンスパッタリングカソード）を多元追加。トライボロジー特性に優れたＤＬＣ膜に硬質合金膜を積層。スムースな表面を持つ新硬質コーティングを実現。従来のＤＬ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

YAG溶接機

従来のスキャナヘッドより溶接タクトの短縮を実現！小型設備ながら微細溶接…

知識にて、クオリティーの高い、安定信頼されるレーザ溶接を実現。お客様の立場により金属、非金属を接合するには、独特のノウハウ、およびシステム加工、生産技術の提案は可能。溶接時に、溶接スパッタ防止対策を行い、加工対象とされる（被加工物）へのダメージを軽減する。【特長】 ■デジタル式スキャナヘッド搭載可能 ■従来のスキャナヘッドより溶接タクトの短縮 ■Niフレームと銅端...

メーカー・取り扱い企業： PHYSICAL PHOTON株式会社

デュアルイオンビーム成膜装置

●特徴スキアシステムズ社製ECRライナーイオンビームLIN380-eを使用し、最大6種類のスパッタターゲットがプロセスチャンバー内にあり、基板回転・アパーチャー機構を搭載したイオンビーム成膜装置です。 ●アプリケーション主にX線ミラー、光学、曲面状、勾配形状用コーティングに最適なイオンビ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ

スケール除去、黒皮除去、バリ取り用テーブル型ショットブラスト

鋳造品、鍛造品の加工後のバリ取り、仕上げショットや製缶品のスパッタ落と…

『テーブルブラスター L型』は、広角投射装置とインバーター制御を標準装備しているブラストマシンです。投射装置によりインバーター制御で強弱の調整が可能に。変形しやすい形状や製品の状態に応じて幅広く対応できます。また、広角投射装置の採用によりオーバーブラストのない均一な仕上がりを実現しました。【特長】 ■広角投射装置　標準装備 ■インバーター制御　標準装備 ■エアシリンダロックによる省力...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンポー

ビーム形状可変ファイバーレーザー：YLS-AMB

アジャスタブルモードビームファイバーレーザー

形状の異なるビームを独立制御【主な特長】 スパッタ低減溶接スピード向上 ...

メーカー・取り扱い企業： IPGフォトニクスジャパン株式会社

大型ショットブラスト加工

間口2m×2mの大型ショットブラストで、大型製品の連続ブラスト加工が可…

□ショットブラストとは… ショットブラストとは、素材に対し研削材を吹きつける物理的な表面処理法（ブラスト加工）の一種です。ショットブラストは、鋼材からの錆･酸化スケール（黒皮）･溶接スパッタの除去、塗装の下地作り、冷鍛効果による強度向上（ピーニング）を同時に行なうことができ、作業効率の大幅な向上効果があります。ブラスト加工のうち、サンドブラストは圧縮空気で研削材を吹きつけますが、...

メーカー・取り扱い企業：山恵鉄工株式会社

MEMS量産ソリューション

スウェーデンSilex社との提携により、MEMS試作から量産まで一貫し…

〔特徴〕・MEMS専用8インチフルライン工場・自社製品を持たないピュアファウンドリー・独自貫通Via技術有・スパッタ法によるPZT膜生産技術を確立...

メーカー・取り扱い企業：株式会社協同インターナショナル

真空コーティングテクノロジー＆装置

セパレータ用導電性保護膜！層スタックのICR、耐腐食性、スタック性能は…

スタック性能は金（基準材料）に匹敵します。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。【成膜装置】 ■カーボン、金属、酸化物などを金属基板上に高スループット　電子ビーム蒸着とスパッタ成膜 ■プラズマ前処理による表面の活性化および洗浄 ■金属箔（R2R）やエンボス状セパレータ（S2S）を処理する　研究開発/少量生産/製造用装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...

メーカー・取り扱い企業：フォンアルデンヌジャパン株式会社

摩擦圧接とは　※解説資料を配布中

摩擦圧接とは、摩擦熱を有効利用し、鋼材、ステンレス、銅、アルミ、チタン…

【その他特長】 ■少ない部材で圧接することで重切削が不要 ■接合に伴うエネルギー効率が高い ■スパッタ・ヒュームなど発生せず無害である ■火花・煙は極僅かで作業環境は良好 ■中空化が可能で、軽量化・環境保全に貢献 ■機械操作は容易であり熟練を必要としない ※詳しくはPDF資料をご覧いた...

メーカー・取り扱い企業：日東制機株式会社

バリ取り機『AuDeBu BlackLine1100/650』

オーセンテック史上、最強の研削力と最速のスピード！酸化被膜と溶着ド…

AuDeBu　BlackLine1100/650』は手作業の1/10程度に時間短縮が可能な酸化被膜除去複合バリ取り機です。材料の特性や使用目的（酸化被膜除去・溶着ドロス / ノロ / スパッタ除去・R 面取りなど）に合わせお客様にとって効率の良い最適な組み合わせを選択することができます。通常のバリ・酸化被膜除去はもちろん、溶着ドロス・スパッタ除去にも効果的です。【導入の...

メーカー・取り扱い企業：オーセンテック株式会社

真空製品　スパッタ装置

小型ロールコーターで経営革新計画が承認されました

スパッタ装置のことなら株式会社富士アールアンドディーにおまかせください。詳しくはお問い合せください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー