リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

レーザ溶接用スパッタモニタリングシステム

量産における品質管理の支援ツールとして威力を発揮！溶接の条件出しにも有…

当製品は、レーザ溶接中に発生するスパッタを常時監視する モニタリングシステムです。 監視できる測定機能は、溶融池から飛び出すスパッタの「数」 「飛散軌跡」「サイズ」です。 これにより溶接中のスパッタの発生状況を取得するこ...

メーカー・取り扱い企業： 前田工業株式会社 本社

『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』

コンパクトで省エネルギー設計！導電性膜を高精度に成膜するスパッタコータ…

『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』は、FESEM試料の導電性膜を 高精度に成膜する信頼性の高い、クレジントン社製のスパッタコーターです。 マグネトロンヘッドのデザインと効率的なガス導入機構で、多種類の ターゲッ...

メーカー・取り扱い企業： エルミネット株式会社

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

ULVAC DIGEST 真空関連機器 総合カタログでは、ドライ真空ポンプや油回転真空ポンプなどの「真空ポンプ」、スパッタイオンポンプ､クライオポンプなどの「クライオポンプ／冷凍機」、大気圧ピラニ真空計､キャパシタンスマノメータなどの「真空計」、ベーシックプロセスガスモニタなどの「ガス分析計／プロセスモニタ」等、多数...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

圧力センサー 高温用 PX1004L1

圧力センサー高温用

圧力センサー PX1004高温用スパッタ薄膜歪ゲージ は、高精度及び優れた長期安定性、高信頼性です。 補償温度範囲は＋24℃～＋204℃で、動作温度範囲は－54～＋232℃です。温度零点シフトおよび温度感度シフトは±0.018%FSO/...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パシフィックテクノロジー

測定球『ミニチュアゲージ』

取付場所の選定が容易！プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が…

割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。 取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等の ゲージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。 到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの 圧力計測が1つのゲージで行なえます。 【ラインアップ】 ■MG-2 ■MG-2M ■MG-2I/NW16、25 ■MG-2I/φ34IC...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

アーク検知器

　１usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。　パルス…

・エッチング装置、CVD、スパッタ等の量産現場でのアーク検知、パルスモニターとして最適です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

レーザ走査表面形状検査機『CSM＆CSYSシリーズ』

広い範囲の微小な高さの変化を測定可能な表面形状検査機！極めて振動に強く…

超高感度で速く測定が可能な レーザ走査表面形状検査機です。特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ（Si,SiC,GaN,etc.）、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と「3D画像データ」を表示します。 【特長】 ■レーザ走査式非接触...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コアシステム

まとめて進呈！『真空関連機器の総合カタログ』＆『真空の技術資料』

IGZO成膜やイオン注入技術など、技術者必見の資料と製品カタログを進呈…

速度制御　　　　・真空機器構成部品 ・分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系　ほか 【技術資料『ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.79』の掲載内容】 ・大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術 ・結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発 ・OLED用薄膜封止装置「CEE-950」の開発 ・リークディテクタ「HELIOT900シリーズ」の開発 ・マグネ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

着磁電源装置　ES型 6000V

時代のニーズに応える超高圧6000V着磁電源装置

は、充電電圧が最大6,000V、高保磁力磁石の着磁用として最新の制御回路を搭載し、安全性とハイパワーを両立させました。 大型希土類磁石（ＳｍＣｏ、ＮｄＦｅＢ）の内／外極着磁、ＥＶ自動車モータ用、スパッタ用、ＮＭＲ用磁石、大型サーボモータ用、リニアサーボモータ、ＩＰＭ用等に適しています。 【特徴】 ○充電電圧は最大6,000V ○高保磁力磁石の着磁用として最新の制御回路を搭載し、安全性と...

メーカー・取り扱い企業： 電子磁気工業株式会社

【資料】『アルミ合金の抵抗溶接プロセスにおける電極加圧力の挙動』

電極加圧力の測定により溶接部の品質安定化を実現、 アプリケーションノ…

効率化のヒントをお探しの方は、ぜひご覧ください。 【ポイント】 ◎プロセスの合間に測定するのが一般的な電極加圧力を“通電中”に測定 ◎通電中の電極加圧力の挙動を測定した実例をご紹介 ◎スパッタの発生を検知できる可能性も示唆 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、弊社HPよりお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： トルーソルテック株式会社

『各種真空成膜装置』

ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置のカスタマイズ製作を行います

【特長】 ＜ICF成膜装置＞ ■HIPIMS（High Power Impulse Magnetron Sputtering）法による成膜 ■高出力でスパッタされた粒子が基材に衝突することにより、 　高い密着と硬度を特長とする緻密な膜成形を実現 ■高速成膜も可能 ■フィルムへの大面積、フレキシブル成膜可能 ■基板温度制御－50～120℃まで対応...

メーカー・取り扱い企業： ナノテック株式会社

着磁電源装置　ES型 3000V～4500V

最新の制御回路を搭載し、高エネルギー磁石に余裕をもって対応します

圧の充放電電圧を安全・確実にコントロールする最新の制御回路を搭載し、高エネルギー磁石に余裕をもって対応します。 大型希土類（ＳｍＣｏ・ＮｄＦｅＢ）磁石の着磁、EV自動車モータ、大型サーボモータ、スパッタ用、リニアサーボモータ、IPM用等に適しています。 【特徴】 ○超高圧の充放電電圧を安全・確実にコントロールする最新の制御回路を搭載 ○高エネルギー磁石に余裕をもって対応 ○サマリウム...

メーカー・取り扱い企業： 電子磁気工業株式会社