リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと 楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。 加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。 ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。 はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔ

多目的、実験用全自動成膜装置。マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔ型…

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－４０Ｔは多目的､多金属､実験用イオンスパッタ成膜装置です。電極分離型試料台で試料損傷回避、高速排気・簡易操作で能率的成膜、低価格・コストパフォーマンスの良い機能を持っています。 ＭＳ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴ

ターゲットは大きい試料もそのままコーティング可能な４インチサイズ。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴは電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１Ｓ

SEM試料のために。試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１Ｓは低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです。小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１２インチ

φ300ｍｍサイズに対応する大面積試料ステージを搭載。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－１２インチはマグネトロンターゲット電極で、φ300ｍｍサイズに対応する大面積試料ステージを搭載。膜厚ムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。コーティング電圧500V以下で、イオ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＵＭ

電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す為に。マグネトロンスパッタ装置。

マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－２０ＵＭは電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 アルゴンガス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－８インチ

8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。

マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－８インチはマグネトロンターゲット電極で、8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。コーティング厚さのムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。コーティング電圧500V以...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス

電線保護管　MAS規格フレキ＆コネクタ　WFM フレキ

機械配線用フレキシブルチューブ

耐摩耗・耐スパッタの可動部・振動部に適した 機械配線用フレキシブルチューブ ■□■特徴■□■ ■日本工作機械工業会規格(MAS506・507)に基づいた電線保護管 ■耐油・耐熱・可動部などの使用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アスト