リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、 融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

分析『二次イオン質量分析』

優れた測定が可能にする分析手法です！

『二次イオン質量分析』は、数keVのCsやO2イオンをサンプルに照射して 放出される二次イオンの質量分析により、水素を含む全元素の組成分析を 行う手法です。 高感度の元素分析や低エネルギーイオンによ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

［IC］イオンクロマトグラフ法

イオンクロマトグラフ法は液体試料中のイオン成分を検出する手法です

イオンクロマトグラフ法は液体試料中のイオン成分を検出する手法です。 ・イオン成分の定性分析、定量分析が可能 ・少量の試料（数mL）にて分析可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで、試料表面を走査させることにより、特定領域を削ったり（スパッタ）、特定領域に炭素（C）・タングステン（W）・プラチナ（Pt）等を成膜することが可能です。また、イオンビームを試料に照射...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

リチウムイオン電池向けのソリューションならコネックスシステムズ

コネックスシステムズは電池開発における、専門的な知見でお客様の目的や用…

▼電池メーカーとして培ってきた豊富な経験と技術で電池に関わる課題解決をサポート CONNEXX SYSTEMSは電池メーカーとして培ってきた豊富な経験と技術で 産業用リチウムイオン二次電池に関するお客様のご要望に柔軟にお応えします。 鉛蓄電池からリチウムイオン電池への置き換え、コスト削減、 最適なカスタマイズ案や、多種多様な通信タイプ（RS-485、RS-232、CAN...

メーカー・取り扱い企業： CONNEXX SYSTEMS株式会社

［IP法］Arイオン研磨加工

IP法は、研磨法の一種でイオンビームを用いて加工する方法です

IP法は、エネルギー及び方向を揃えたイオンビームを試料に照射したときに試料表面から試料原子が弾き飛ばされるスパッタリング現象を利用して、試料表面を削り取る方法です。 イオン種は通常試料との化学反応の心配のない希ガス（MSTではAr）が用...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【イオンクロマトグラフ】H2O2中トリメチルアミンと標準陽イオン

半導体製造向け過酸化水素トリメチルアミンと標準陽イオンの測定をイオンク…

当資料では、イオンクロマトグラフィーにより、30％の過酸化水素（H2O2）中のトリメチルアミン（TMA）および標準陽イオンの測定を行った結果をご紹介しております。 分析にはマトリックス除去を伴うインライン濃縮（M...

メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社

Liイオン電池セパレータの解析

高温時におけるポリマー溶融の遮断機能について確認しました！

市販のLiイオン電池に使用されているセパレータについてFT-IR分析にて、 材料分析を行った後、高温時におけるポリマー溶融の遮断機能について 確認しました。 資料では、Liイオン電池セパレータの材料分析...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【分析事例】リチウムイオン電池電解液中のフッ化物イオン濃度評価

NMRを用いてフッ化物イオンの定量分析が可能です。

リチウムイオン電池の電解液主成分であるLiPF6（六フッ化リン酸リチウム）は、水分との反応で加水分解を起こし、フッ化物イオンを発生させることが知られています。本資料では、対象化合物の標品を用いずに絶対定量が可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【技術資料】6フッ化リン酸リチウムに含まれる微量陽イオンの測定

【IC：イオンクロマトグラフィー】二次電池(バッテリー)電解質に使われ…

イオンクロマトグラフィーにより、二次電池（蓄電池）の電解質として使われている6フッ化リン酸リチウム（LiPF6）に含まれる微量陽イオンの測定を行った結果をご紹介しております。 陽イオンの連続サプレッション後、電気伝導度検出器検知により、サンプル中に含まれる微量陽イオンを測定。 「分析方法」や「分析パラメータ」、「装置構成」などを掲載しています。 【掲載内容】 ■カラム ■溶液 ■分析...

メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社

Arイオンミリング加工

機械研磨を行った後低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ5…

Arイオンミリング法とは、機械研磨を行った後、低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ50nm以下の透過電子顕微鏡用の薄膜試料を作製する加工法です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

イオンミリング装置による受託サービス｜JTL

機械研磨では潰れて観察できない構造をきれいに面仕上げします。

イオンミリング装置とは試料の表面に非常に弱いアルゴンイオンビームを照射することで、観察・分析用の研磨・エッチングを行う断面研磨装置です。 従来の機械研磨では、銅やアルミ材などの軟質材では研磨面が潰れたり、ダレが発生し、セラミックやシリコンなどの硬質材では割れやクラックが発生しましたが、イオンミリング装置ではこれらの問題を解消し、きれいで損傷のない観察面が得ることができます。 イオンミリング装置は、微...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社

【分析事例】液体中の陰イオン濃度分析

IC：イオンクロマトグラフィー

イオンクロマトグラフ法は液体試料中のイオン成分を検出する手法です。 また、固体（部材）表目に付着しているこれらの成分は、純水に浸して抽出することで測定します。 MSTでは液体試料に含まれるイオンや有機酸の定性・定量分析、部材表面から溶出するイオン量評価、部材の腐食原因調査が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 202003-01 リチウムイオン電池材料

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

ために有効である。本稿では当社で取り組んでいる、充放電や温度変化などの各種in situ分析を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．ラボ設備を活用した in situ 解析 ３　リチウムイオン電池の in situ Raman 解析 ４．リチウムイオン電池の in situ XRD 解析 ５．温度依存の物性評価事例 ６．おわりに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

［SIMS］二次イオン質量分析法

二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含ま…

イオンを試料表面に入射させると、試料表面からは電子・中性粒子・イオンなど様々な粒子が放出されます。SIMSは、これらの粒子のうちイオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です。 ・高感度（ppb～ppm） ・HからUまでの全元素の分析が可能 ・検出濃度範囲が広い（主成分元素から極微量不純物まで） ・標準試料を用いて定量分析が可能 ・深さ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 202303-02 イオンモビリティ質量分析計

東レリサーチセンターで導入したイオンモビリティ質量分析計の特徴と、ジス…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 イオンモビリティ質量分析計は、従来型の質量分析計では分離不可能な同一質量の構造異性体の分離が可能であることから、抗体医薬品やADCの特性解析、糖鎖構造解析、結合位置解析、ペプチドマッピング、核酸医薬品の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【分析事例】高分子表面のイオン照射による損傷層の評価

GCIB（Arクラスター）を用いることで損傷層の成分・厚さ評価が可能

高分子材料の表面にイオン照射を行うことにより、表面特性の変化が生じます。この変化を利用し、機能性材料の開発など広い分野で研究が行われています。イオン照射後、表面状態にどのような変化が生じたのか評価することは、効率的な研究...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】リチウムイオン二次電池内部の非破壊観察

X線CTによる観察事例

リチウムイオン二次電池はスマートフォン・デジタルカメラなど、幅広く使われている電池です。リチウムイオン二次電池は充放電を繰り返すことで劣化し、電池が膨らむ現象が発生することがあります。この現象が発生した電池を調...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であるこ…

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です。 スパッタイオン源を用いて、深さ方向に無機・有機物の分布分析が可能です。 ・有機・無機化合物の構造解析・同定が可能 ・異物検査装置の座標データとリンケージが可能 ・ミクロンオーダーの微小異物から数cmま...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【イオンミリング(CP)/クライオ】分析と観察の前処理事例集

断面加工や分析および観察の前処理などイオンミリング加工、クライオ加工の…

当事例集では、分析と観察に関する『前処理』における事例についてご紹介します。 「イオンミリング法（CP加工）の紹介」、「イオンミリングによる微小部断面加工」、「イオン液体を用いたSEM観察前処理」など目的、手法、試料と結果を含めた分析および観察の前処理事例を多数掲載。 他にも...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

［SIM］走査イオン顕微鏡法

高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能

Cu等) ・分解能はSEM像より劣る（SIM：4nm, SEM：0.5nm） ■MST所有装置の特徴 ・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が可能 ・FIB（集束イオンビーム）加工との組み合わせで連続的な断面SIM像の取得が可能（Slice&View）...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

リチウムイオン電池(LIB) 機能安全性評価・信頼性試験

国内最大級の受託用ARCをはじめ、車載用の大型セルから電池モジュール、…

漬　#振動　#衝撃　#ガス分析(GC／MS)　#ガスクロ　#質量分析　#熱量分析　#高温　#加熱　#バーナー　#充放電　#サイクル　#過充電・過放電　#外部短絡　#内部短絡　#劣化解析　#リチウムイオン電池(LIB)　#車載セル　#車載電池　#大型セル　#モジュール　#パック　#電気自動車(BEV)　#EV　#xEV　#NEV　#電動車　#プラグインハイブリッドカー(PHEV)　#ハイブリッドカ...

メーカー・取り扱い企業： 宝泉株式会社

【分析事例】リチウムイオン二次電池バインダの成分分析｜受託分析

熱分解GC/MSによる有機成分の同定

リチウムイオン二次電池は、金属、無機から有機物質、固体から液体と多種多様な材料が使用されています。各材料の物性や組合せはデバイスの特性・信頼性に大きく反映されますので、材料の正確な解析・評価が必要となります。今...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】リチウムイオン電池の高分解能X線CT観察

非破壊で電池内部の層構造・異常箇所を確認できます

リチウムイオンポリマー電池は、モバイルバッテリーや電子機器などの身近な製品に幅広く利用されています。 本資料では、ラミネート型のリチウムイオンポリマー電池をX線CTで分析した事例を紹介します。X線CTを用いる...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】リチウムイオン二次電池内ガスの評価

電池内ガス成分の定性・定量

リチウムイオン二次電池の電解液は、充放電の繰り返し等で分解しガス化することが知られています。 GC-TCDやGC/MSを使用することで、分解したガス成分を高感度に検出することができます。 GC-TCDでは8...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温PL

照射欠陥やアニールによる結晶性の回復を確認することが可能です

Si系半導体デバイスの作製ではイオン注入やアニール処理といった様々な処理が行われます。これらの処理前後における照射欠陥の度合いや結晶性の回復度合いを確認することは、製造プロセスを制御するにあたり重要と考えられます。低温下におけるフォ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】走査イオン顕微鏡によるCu表面の結晶粒観察

金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です

走査イオン顕微鏡（Scanning Ion Microscope：SIM）は固体試料にイオンビームを照射し、発生する二次電子を検出する手法です。二次電子は各結晶粒の結晶方位に応じたコントラストを生じるため、...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

水質分析　水道用資機材及び給水用具の浸出試験　

直結式給水方式へ切り替える際の水質試験は内藤環境へお任せください！

合物、六価クロム化合物、ホウ素及びその化合物 ○亜鉛及びその化合物、アルミニウム及びその化合物、銅及びその化合物 ○マンガン及びその化合物、鉄及びその化合物、水銀及びその化合物 ○シアン化物イオン及び塩化シアン、硝酸態窒素及び亜硝酸態窒素 ○フッ素及びその化合物、ナトリウム及びその化合物、塩化物イオン ○四塩化炭素、1,2-ジクロロエタン ○シス-1,2-ジクロロエチレン及びトランス...

メーカー・取り扱い企業： 内藤環境管理株式会社

［GC/MS］ガスクロマトグラフィー質量分析法

有機化合物の定性・定量を行う分析手法です

試料導入部で気化したサンプルはキャリアガスによって運ばれ、カラム内を通過します。カラム中の固定相との相互作用の強弱により、サンプル中各成分は成分毎に移動速度に違いが生じ、分離されます。 ■イオン化（EI法） GCで分離された各成分の分子は順次質量分析計に導入され、フィラメントから放出された熱電子と衝突することによりイオン化されます。生成したイオン（分子イオン）の一部はさらに開裂してフラ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［RBS］ラザフォード後方散乱分析法

固体試料にイオンビームを照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱され…

RBSは固体試料にイオンビーム(H+,He++)を照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱されてくるイオンのエネルギーおよび強度を測定する手法です。 散乱されたHeイオンの運動エネルギーを測定し、衝突した原子の質量数...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

半導体分析

各種半導体の様々な目的に合わせて、各種手法で分析が可能！

半導体の微細な形状の観察、結晶性評価、不純物濃度測定、硬度測定、故障解析など　各種手法により研究開発のサポートを致します。...半導体材料分析項目 原子レベルの構造観察、結晶構造、転位密度、膜厚 表面形状、断面構造(膜厚) 結晶性(面方位)、積層膜の周期構造 表面組成、結合状態、深さ方向分布 不純物濃度、深さ方向分析 結晶構造、応力歪 構成元素、組成 表面のヤング率、硬度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

研究開発を強力サポート　「受託分析サービス」

お客様からお預かりした材料・製品の受託分析を行います。前処理から測定ま…

【分析手法一覧】 ※こちらに記載の無い手法についても、ご相談承ります。 『測定法』 ○質量分析法 SIMS　二次イオン質量分析法 TOF-SIMS　飛行時間型二次イオン質量分析法 ICP-MS　誘導結合プラズマ質量分析法 ほか ○光電子分光法 XPS　X線光電子分光法 UPS　紫外光電子分光法 ○電...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

液体クロマトグラフ-フーリエ変換質量分析法

OrbitrTM質量分析計(HRMS)による、高分解能・高精度な分析が…

-フーリエ変換質量分析計(LC-FTMS) は、LCで分離した成分の検出にフーリエ変換質量分析計を用いることで、小数点以下4桁程度までの精密質量情報を高い分解能で取得できます。そのため、第二同位体イオンに注目したとき、13C由来のピークや34S由来のピークを分離することができ、四重極型やTOF型質量分析計と比較してより高分解能・高精度な組成推定が可能です。 また、イオントラップによる多段階MS...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

透過型電子顕微鏡

透過型電子顕微鏡(TEM)でサンプルの微細構造がナノレベルで観察が可能…

弊社では、高精度なTEM観察用薄片サンプル作製と高度なTEM観察技術から鮮明なサブナノオーダーの構造観察が可能です。...TEM観察 ・ナノオーダーの構造把握や格子像の観察を行います。 ・TEM画像を使用した解析・評価、EDXによる局所的元素分析を行っております。 TEM画像を用いた解析、評価 ・高分解能TEM像による結晶欠陥の解析や歪みマッピング評価を行います。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

【分析事例】リチウムイオン電池負極の大気非曝露XPS分析

リチウムイオン電池から採取した負極を大気に曝した場合と曝さない場合で分…

【分析試料】 市販の電子機器で使用されたリチウムイオン電池の黒鉛負極（放電状態） 【分析装置】 グローブボックス（美和製作所製 パージ式） XPS；単色化 AlKα線 （アルバック・ファイ製 PHI5000 VersaProbe II） 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネカテクノリサーチ 　　　　　　　　　　　　　　　本社、東京営業所、名古屋営業所、大阪分析センター、高砂分析センター

【分析事例】リチウムイオン二次電池の加熱劣化試験

加熱劣化後のサンプルをLC/MS/MS,TOF-SIMS,TEM+ED…

リチウムイオン二次電池の開発には、高性能化・長寿命化・信頼性向上などの課題があります。これらの課題を解決するためには、電池の劣化機構の解明が重要です。今回は、温度による劣化機構についての評価のために、加熱劣化試...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】リチウムイオン二次電池電極の三次元的観察

Slice and Viewによる充填度・ボイドの観察

リチウムイオン二次電池の電極は、正極・負極ともに活物質・導電助剤・バインダから構成されています。 電池の容量や信頼性等の特性には、材料の組合せや配合比・活物質の充填度・ボイド等が大きく影響していますが、このう...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

HACCP対応「使用水」の衛生管理に求められる検査項目セット

「使用水」の水質検査は実施されていますか？実施の際、施設毎に適切な検査…

【分析項目】 ○一般細菌、大腸菌、カドミウム及びその化合物、水銀及びその化合物 ○セレン及びその化合物、鉛及びその化合物、ヒ素及びその化合物 ○六価クロム化合物、シアン化物イオン及び塩化シアン ○硝酸態窒素及び亜硝酸態窒素、フッ素及びその化合物 ○ホウ素及びその化合物、四塩化炭素、1,4-ジオキサン ○シス-1,2-ジクロロエチレン及びトランス-1,2-ジクロロエチ...

メーカー・取り扱い企業： 内藤環境管理株式会社

［ICP-MS］誘導結合プラズマ質量分析法

導結合プラズマ（ICP）を励起源として用いた無機元素分析の手法です

ICP-MSは特定の質量/電荷比（m/z）のイオン強度を測定する手法です。イオン源としては一般的にアルゴンプラズマが用いられます。 アルゴンプラズマは、高周波電流の流れる誘導コイルを巻いた石英3重管にアルゴンを流すことで得られ、非常に高いガス...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】LIB(リチウムイオン)正極材料の解析

雰囲気制御＋冷却下での原子レベル観察

MSTでは、雰囲気制御（＋冷却）下で原子レベルのTEM分析が可能です。 本資料では、リチウムイオン二次電池から大気非暴露で解体して取り出した正極材料のLiCoO2粒子を、雰囲気制御＋冷却下でFIB加工・TEM分析した事例をご紹介します。-174℃に冷却しながらSTEM観察とEDX分析を行い、視...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

冷却水不具合調査

豊富な調査実績！材の腐食調査の他、冷却水の腐食/スケール生成傾向調査も…

期的に行うことにより、配管内での 情報を事前に得ることができ、安定した運転が可能となります。 また、腐食により溶け出した配管材の成分分析や、防食剤である 亜硝酸塩とその酸化物質である硝酸イオンを分析することによる 防食剤の消費状態の確認など、お客様のご要望をお聞きした対応も可能。 分析項目の決定や短期間での調査等、ご要望に応じ柔軟に対応させて 頂きますので、まずは一度、お問い...

メーカー・取り扱い企業： 川重テクノロジー株式会社

技術情報誌 202201-03 キャピラリー電気泳動

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 キャピラリー電気泳動法は高い分離能を達成できる分離分析法であり、多くのイオン成分の分析に有用であるが、化学的性質の近いイオン同士の分離には工夫が必要である。イオンの分離が行われる泳動液の組成およびpHを最適化することで、互いに性質の近い無機陰イオンや有機酸の一斉分離、さら...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

クロスセクションポリッシャー(CP)法による断面観察サービス

高い加工精度と広い加工領域を実現！冷却機能でダメージを軽減しながらの加…

CP法は、機械研磨法に比べ、研磨によるダメージがない状態で断面を 観察することが可能です。 当社の冷却機能付トリプルイオンミリング装置は、3方向から照射する イオンビームにより、高い加工精度と広い加工領域を実現。 熱に弱い材料の場合には冷却機能でダメージを軽減しながらの加工も可能です。 【特長】 ■加...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

コンクリート中の塩化物イオンの定量【電位差自動滴定装置】

試料に硝酸を加えてpHを3以下としたのち、加熱煮沸して塩化物イオンを抽…

当資料では、コンクリート中に含まれる塩化物イオン（Cl¯）を 定量する例をご紹介しています。 試料に硝酸を加えてpHを3以下とし加熱煮沸して塩化物イオンを抽出。 常温まで冷却後、不溶分をろ過洗浄し、作成したろ液を硝酸銀標準液を ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社HIRANUMA

技術情報誌 202001-02 酸化ガリウムの結晶構造解析

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

ってきている。半導体デバイスの信頼性、特性改善にはプロセス技術の最適化が必要であり、その評価方法が重要となる。本稿ではエピタキシャル膜の品質評価に必要な結晶構造解析と、デバイス特性への影響が大きいイオン注入プロセスにおける不純物、欠陥、キャリア濃度解析を行った事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．断面TEM、平面STEMによる結晶構造解析 ３　イオン注入プロセス評価 ４．まとめ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

DLCの物理分析

DLC(ダイアモンドライクカーボン)の各種分析が可能！

DLC(ダイアモンドライクカーボン)の結晶性、膜厚の構造、水素量、密度、硬度の評価を紹介いたします。...構造評価 TEM高分解能像観察　Raman　TEM-EELS　XAFS 組成評価 RBS　ERDA (水素分析) 密度評価 XRR　RBS　ERDA (膜厚) 硬度評価 ナノインデンテーション...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター