ウエハ | イプロスものづくり

PR超高画素カメラによる広視野角・超高精細な撮像が可能で、各種MV用途に好…

Sony社製 CMOSセンサ(Pregius IMX661/3.6型)を搭載した、1億2700万画素のCoaXPressカメラ「VCC-127CXP6」と、Canon社製CMOSセンサ(Ll8020SAM/APS-H型)を搭載した、2億5000万画素のCoaXPressカメラ「VCC-250CXP1」。どちらも超高解像度を誇り、各種外観検査(液晶・基板・半導体ウエハ・建築物等の欠陥/異物/形状)、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シーアイエス

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応しコンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCのグ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

石英ガラスウエハ移載装置

オートドアFOSB、FOUPなどのキャリアに対応！自動的に枚葉で移載を…

本製品はφ300mm(12")石英ガラスウエハを、ステージ1～ステージ2のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。タクトタイム・移載時間は6分30秒/25枚以下。 ウエハ移載仕様について、基本はカセット下部は取出、...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

【EBSDによる解析例】シリコンウエハ

測定したシリコンウエハは単結晶！IPFマップ、極点図、逆極点図は比較的…

EBSDで解析したシリコンウエハの事例をご紹介いたします。 ウエハから小片を切り出し、中央50×50μmの領域にてIPFマップを取得。測定範囲内は、{001}面を表す赤色を示し、また、粒界が見られないことから単結晶...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

ウエハ移載機

ウエハ搬送に最適！ウエハ移載機

●ウエハとチャックとの接触面を最小限にすることにより、ウエハへのストレスや汚染を防止。 ●モータ駆動によりパーティクルの発生を予防。 ●独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボードへ...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社営業本部営業課

プラズマ処理効果評価ツール『PLAZMARK ウエハ型』

普段と同じハンドリングで装置に設置！面内分布を簡単に可視化

『PLAZMARK ウエハ型』はウエハプロセス向けのプラズマ処理効果の評価ツールです。ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることで簡単に面内分布の可視化が可能。基板サイズや材質、変色感度は要望...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サクラクレパス PI事業部

MB-2000 太陽電池用シリコンウエハセパレーター

2枚重ねが出ない構造になっています！

粗洗浄後の積み重なった、140μm～200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

ウエハ―生産キャパシティ分析レポート第18版

世界のチップ工場の地域分布や生産能力、需要供給分析を掲載

ey氏が業務を引き継ぎ Knometa Research社出版として毎年2月に発行しています。【レポート内容】　　・400以上のチップファブのリスト、設備や生産キャパのデータべース　　・ウエハサイズ別、製品タイプ、プロセス世代別の生産能力　　・ウエハ価格と稼働率　　・2023年末時点のウエハ生産能力を分類・分析、2028年までの年間予測　　・工場閉鎖と生産能力停止、新しい工場の開...

メーカー・取り扱い企業：株式会社データリソース

ウエハ外観検査装置(ダイシング前)

検査精度に合わせた画像分解能が選択可能！高速かつ高精度な検査を実現

『ウエハ外観検査装置(ダイシング前)』は、ウエハ工程で発生する外観欠陥を高速かつ高精度で検査が可能な装置です。検査精度に合わせた画像分解能が選択可能。(マクロ検査約10um分解能以上) ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒューブレイン

ウエハチップ自動搬送・自動撮影システム『YATシリーズ』

顕微鏡メーカーを問わず搬送可能！

『YATシリーズ』は、顕微鏡メーカーを問わず、検査側に ウエハ・ガラス関連製品を自動搬送・自動撮影できるシステムです。自動ステージとの組合せでフルオート搬送でき、マニュアル搬送モード単体機としても搬送可能です。ご要望の際はお気軽に、お問い...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤマトハンズ

CHRocodile 2 SX 光学式広範囲厚み測定センサ

光学式センサで、Si0.5~200umの広範囲の厚み測定。5kHzの高…

非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。新製品『CHRocodile 2 SX』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。最大5kHzと高速サンプリングが可能なため、インラインでも適用で...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

テストウエハ

材料や装置評価のためのブランケット膜及びパターニングされたウエハをご提…

ティーイーアイソリューションズでは『テストウエハ』を取り扱っております。材料や装置評価のためのブランケット膜及びパターニングされた製品をご提供。当社所有のマスクパターンをご利用頂けるほか、御社のご要望により、新規パターン・構造を...

メーカー・取り扱い企業：ティーイーアイソリューションズ株式会社つくば研究所

段取り替えなし！インチ兼用自動リフトオフ装置

【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウ…

ウエハサイズ違いによる段取り替えがなく、生産性UP！製品の種類によってインチサイズが違う、将来的に大きいサイズのウエハを処理したいというご要望が大変多いです。そこで、段取り替えをしないで複数サイズ処理が可能なリフトオフ装置をご提供します。【複数サイズ兼用の例】「2・3」、「2・4」、「3・4」、「4・6」、「6・8」インチ【薄型ウェハにも対応！】高圧ジェットはウェ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ…

段積みされている太陽電池ウエハを１枚ずつ、高速にて損傷させることなく送り出し、供給します。　積層された太陽電池の上部に設けられた当社開発の非接触搬送装置「フロートチャックSK型」（特許）より空気を噴出させることにより最上部...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

ウエハレベル発光素子光学特性測定装置

VCSEL等の発光素子の各種光学特性をウエハレベルで測定・検査！

『ウエハレベル発光素子光学特性測定装置』は、VCSEL等各種発光素子の電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステムです。 VCSELの特性計測に必要な電気的特性測定のほか、発光ビームプロフ...

メーカー・取り扱い企業：シナジーオプトシステムズ株式会社

6in・8inウエハ両用非接触ピンセット

６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる

「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許）新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

ウエハ搬送装置

検査装置を問わず装置側にウエハ・ガラス関連製品を自動搬送するシステム

当社では、顕微鏡メーカーを問わず搬送できる『ウエハ搬送装置』を取り扱っております。自動ステージとの組合せでフルオート搬送が可能。（検査装置側との通信が必要になります）また、ウエハ以外の搬送も検討いたします。ご要望の際はお気...

メーカー・取り扱い企業：達華産業株式会社

【調査資料】全自動半導体成形機の世界市場

全自動半導体成形機の世界市場：BGAボールグリッドアレイパッケージ、Q…

ラットパック＆PFPプラスチックフラットパック、PGAピングリッドアレイパッケージ、DIPデュアルインラインパケージ、その他を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、ウエハレベルパッケージ、BGAパッケージ、フラットパネルパッケージ、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

半自動両面同時露光装置（セミオートダブルマスクアライナー）

ベルト搬送方式によるウエハ表面、裏面を同時に露光可能な装置です。 f…

当製品は、半自動両面同時露光装置です。 ウエハキャリアからの取り出し、搬入をベルト方式に行います。マスクとウエハはコンタクトし、同時に露光を行います。アライメントなしのfast露光モード、 ウエハとマスクのアライメントを主導で行...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【調査資料】半導体テストプローブステーションの世界市場

半導体テストプローブステーションの世界市場：半自動テストプローブステー…

ブステーション市場の種類別（By Type）のセグメントは、半自動テストプローブステーション、自動テストプローブステーションを対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、ウエハテスト、ダイテストを対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、半導体テストプローブス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

ウエハ移載機

従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査...

メーカー・取り扱い企業：レイリサーチ株式会社

ME-100 3次元実装用マニュアルタイプウエハケミカル洗浄装置

3次元実装用マニュアルタイプのウエハケミカル洗浄装置です！

方メートル）あれば設置可能と経済的です。純水リンスはカスケード方式による純水使用量を抑えた低コストです。ケミカル温度をコントロールが可能です。比抵抗計によりリンス効果を判断します。 ウエハカセットは傾斜を持たせ、ウエハ表面側に液残留を防止します。将来、２槽（下部タンク共）追加可能なスペースを確保しています。エアーガン付です。シャワーノズルでケミカル槽を簡単洗浄出来ます。...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

【調査資料】半導体用石英板の世界市場

半導体用石英板の世界市場：200mm以下、200-400mm、400m…

200mm以下、200-400mm、400mm以上を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、バッチ処理装置（ボート、ペデスタル、ウェーハ及びウェーハキャリア）、枚葉式ウエハ処理装置を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、半導体用石英板の市場規模を算出し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することでスループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダイヘン

□2.0mmウエハチップ非接触チャック

微小□2.0mmＩＣウエハチップを非接触にて掴みます。

　「微小□2.0mmウエハチップ非接触チャック」は、気体を噴出することによりミュウチップと本気底面に儲けたクッション室内部とチップに対向する作動面との間隙に負圧および正圧を発生させ微小2.0mm角ＩＣミュウチップを非接触状...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

SiCウエハ

パワーLSI用の材料として注目されている単結晶SiCウエハ・SiCイン…

●タンケブルー社の代理店として多くの国内顧客へSiCウエハ、SiCインゴットを販売中。 ●サファイアウエハ、シリコンウエハも販売中。 ●各膜つきウエハ販売。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＭＴＫ

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応

『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア、Si、SiC等の半導体ウェハー厚み測定をはじ...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

【分析事例】貼り合わせウエハ内部の空隙調査

超音波顕微鏡による内部空隙の観察事例

パワーデバイスやMEMSデバイスなどに用いられる、貼り合わせシリコンウエハを作成する際、貼り合わせ工程において界面に局所的に空隙が発生する事があります。 300mm貼り合わせウエハ内部を超音波顕微鏡を用いて観察しました。その結果、複数箇所にて1mm～20mm程度の複数...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ウエハ表面の金属・有機物汚染評価

複数手法の分析結果より、複合的に評価

製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。異物を適切に分析・評価することで発生原因を究明し、不具合を改善することができます。本資料では、Siウエハ表面に付着した汚染をICP-MSとSWA-GC/MS※で複合的に分析した事例をご紹介します。 ※SWA（シリコンウエハアナライザー）-GC/MSとは、ウエハごと電気炉で加熱して有機物をガス化し、...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…

『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに採用した「...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

半導体ウエハテープの世界市場動向分析2023-2029

半導体ウエハテープは、ウエハスクライビング粘着テープ、または単にウエハスクライビング粘着テープとも呼ばれ、スクライビングプロセス中に微細なシリコンウエハを所定の位置に固定するために半導体産業で使用される特殊な...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

垂直共振器型面発光レーザーエピタキシャルウエハのレポート

垂直共振器型面発光レーザーエピタキシャルウエハに関するグローバル市場…

2023年8月23日に、QYResearchは「グローバル垂直共振器型面発光レーザーエピタキシャルウエハに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。垂直共振器型面発光レーザーエピタキシャルウエハの市場生...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

ウエハ検査システム

出荷検査/受入検査用に最適

太陽電池用ウエハの「IR検査」・「表面/裏面検査」・「厚み検査(簡易Bow/Warp)」・「抵抗値測定」と4工程の検査を行う装置です。 ウエハを1秒/枚と高速で検査することが出来ます。...

メーカー・取り扱い企業：レイリサーチ株式会社

汎用ウエハ接合装置　SB6/8 Gen2

先端MEMS，LED，小型電子部品など，各種用途の多様なプロセスに対応…

【特長】 ■金属拡散接合，共晶接合，TLP接合，接着剤接合，フュージョン接合，陽極接合，ガラスフリット接合など，あらゆるウエハ接合プロセスに対応 ■直径200mmまでのウエハおよび基板，6mmまでの積層厚みに対応 ■クランプ固定機構を備えた搬送フィクスチャとSUSS BA6/8 ボンドアライナの組み合わせにより，高精...

メーカー・取り扱い企業：ズース・マイクロテック株式会社

マルチチャンバー枚葉式ウエハ洗浄装置のグローバルレポート2024

マルチチャンバー枚葉式ウエハ洗浄装置の市場動向および予測：タイプ別、ア…

2024年3月26日に、QYResearchは「マルチチャンバー枚葉式ウエハ洗浄装置―グローバル市場シェアとランキング、全体の売上と需要予測、2024～2030」の調査資料を発表しました。本レポートは、マルチチャンバー枚葉式ウエハ洗浄装置の世界市場について分析し、主な売上...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

TEG(テスト)ウエハソリューションサービス

お客様のご希望に応じたカスタムTEGウエハの設計・試作！

当社では、実装評価用TEGウエハ・基板・各種加工技術をコアとしたトータルソリューションの提案を行っております。お客様の仕様に基づくカスタムTEG・基板の作成を承ります。またウエハのパンプ加工試作も承っておりますの...

メーカー・取り扱い企業： TEGソリューション株式会社本社

FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。スループット：　350wph OCR / 850wph transfer...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

ウエハコネクタのグローバル分析レポート2024

ウエハコネクタ調査レポート：市場規模推移、シェア、促進要因、トレンド予…

2024年2月27日に、QYResearchは「ウエハコネクタ―グローバル市場シェアとランキング、全体の売上と需要予測、2024～2030」の調査資料を発表しました。本レポートは、ウエハコネクタの世界市場について分析し、主な総販売量、売上、価格、主要...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。自動平行調整、…

当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事でフォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。露光方式とし...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTM-R3700F』

【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！さまざまな装置レ…

■走行軸無しで広範囲へ動作するウエハ搬送ロボット ■横方向2.7m・高さ方向1.6mの広範囲にアクセスするため、さまざまな装置レイアウトに対応 ■ロボット1台で4FOUPにアクセス。最大8FOUPにアクセス可能。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダイヘン

SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）

本装置は、SMIF対応3ステーション対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。スループット：　300wph OCR / 750wph transfer...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

ウエハ移載機（ウエハソーター）

本装置は、2ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。スループット：　350wph OCR / 850wph transfer...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

高速・高精度な厚み測定、形状測定に！プレシテック社　非接触センサ

色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・…

プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した光学式センサの開発・製造をしています。高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、平坦度の測定・検査などに使用されています。幅広い測定範囲、許容角度、様々な材質に対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。 ...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

非接触厚み測定　光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」

薄膜（数um)～厚膜(780um)まで高精度に測定できる幅広いプローブ…

『CHRocodile 2シリーズ』は、サブミクロン分解能でウエハ厚のインプロセス測定が可能な非接触センサーです。抜き取りでの品質管理にも使われています。半導体業界の他、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野で採用されており、透明体厚み、コーティ...

メーカー・取り扱い企業：プレシテック・ジャパン株式会社

ウエハエッジ検査機

計測分解能を下げずに他社に比べて低価格！

ウエハ外周全周の端面と上下面の3面を同時に撮影して傷・異物・クラック・チップ欠陥の検査をします。検査ウエハを吸着してカメラでノッチ／オリフラなどのウエハ形状を認識して最適な駆動制御をします。新開発のトリプル光学系とインテグレイト照明が画像処理に最適な照明を実現しました。検査時間は1枚に10秒と高速です。外部通信機能でこのまま自動機に組込ができます。詳しくは、カタログをダウンロード...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイティ・テック

プロトスキャリア用　ウエハ非接触ピンセット

プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット

『プロトスキャリア用　ウエハ非接触ピンセットは、薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納します。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

【分析事例】Siウエハ表面の金属汚染評価

ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法

ICP-MSを用いたSiウエハ表面の金属汚染評価の目的には、Siウエハ自体の汚染評価以外にも、半導体装置内の汚染評価、Siウエハ暴露による作業環境場の評価などもあり、Siウエハ表面の分析は様々な目的で行われます。ICP-MS分...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST