ウエハ | イプロスものづくり

PRウェッジボンディングツールをはじめ、世界で9000台以上の実績を持つ卓…

Micro Point Pro（マイクロポイントプロ）株式会社は、設立から40年の経験と専門知識を保有し、半導体およびマイクロ電子デバイスアセンブリ業界向けの商材を幅広く取り扱っています。イスラエルに拠点を構え、150名の従業員とグループ企業600名の従業員がサポート。 MPPでは原材料から完成品まで全ての製造プロセスがあり、多くのグローバル企業との実績も多数ございます。【取扱製品】 ■...

メーカー・取り扱い企業： Micro Point Pro ltd株式会社本社

AR(拡張現実)用ガラスウエハー　RealView(R)

PRSCHOTT RealView(R)はAR(拡張現実)向けに開発された…

SCHOTT RealView(R) は、拡張現実（Augmented Reality）向けに開発されたガラスウエハーです。拡張現実技術は、仕事中や休暇中、そしてコミュニケーションの仕方まで、私たちの日常生活を変えることが期待されています。ショットは材料メーカーとして、高い視野角と画質を可能にするRealView(R)を提案します。...【製品特性】・厚みを最小限に抑えることで、材料強度を...

メーカー・取り扱い企業：ショット日本株式会社

段取り替えなし！複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター

現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…

2種類以上のウエハサイズを兼用した装置製作が「段取り替えなし」で可能です。実績例 ■2・3・4インチ兼用装置 ■4・5インチ兼用装置 ■4・6インチ兼用装置 ■6・8インチ兼用装置 ■8・12イン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

8インチウエハ半田バンプ印刷機『MT-80SP』

テスト印刷可能！ポリイミドカバーリングなどの印刷を、高精度かつ全自動で…

『MT-80SP』は、各種ウエハサイズに対応した、カセットtoカセットタイプの全自動ウエハ向けスクリーン印刷機です。ローダ部にカセット（各規格対応）を積載。水平搬送ロボットアームにより自動で取り出し、プレアライメ...

メーカー・取り扱い企業：マイクロ・テック株式会社

HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

高精度＆高剛性！　2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

自社製DDモーターを採用し、高精度＆高剛性が特長。 2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途の...

メーカー・取り扱い企業：ハイウィン株式会社

ウエハサイズ後工程投影露光装置 MRS

　 12インチは「ステップ＆リピート露光方式」の選択が可能 ■ 露光エリアが広い為、高生産性を実現 ■ 焦点深度が深い為、MEMS、RFフィルター業界に多数の　実績あり ■ TAIKOウエハにも対応 ■ グローバルアライメント方式 ■ 高剛性フレームにより、高精度アライメント露光が実現 ■ フォーカスマップ機構標準装備 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サーマプレシジョン

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。ノズルより噴出した高速空気流はクッション室...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

「低価格版」ウエハ・チップ外観検査装置

ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が…

「低価格版 ウエハ・チップ外観検査装置 HMWF-A2000」は、高画素カラーカメラを搭載することにより、優れた検出能力を持ち、ウエハやダイシング後にチップの外観を高速で検査できる外観検査装置です。 ウエハ工程、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒューブレイン

微小ウエハチップ非接触チャック

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアク...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

HIWIN ウエハロードポート

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。

ハイウィン ウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。 ...

メーカー・取り扱い企業：ハイウィン株式会社

シリコンウエハ研磨用キャリア「短納期、少量ロット対応も可能」

シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でのウエハホルダーとし…

シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でウエハホルダーとして使用するキャリアを各種金属(SUS、SK)、樹脂で製作可能です。【特徴】 ■各種金属(SUS、SK)、樹脂で製作可能 ■ワークホ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

化合物半導体ウエハ用非接触搬送装置「ＳＡＧ（ＩｎＰ）型」

化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を気体供給操作を行い、ウ…

◎特徴１．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/4ウエハ・Φ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

激に上昇し、ワークを引き離します。このクッション室の均衡した圧力を保つ作動面とワークとの距離を自動的に保持する距離にて、ワークを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 ◎適応１．微細ウエハチップ２．微細レンズ３．モールドレンズ用プリフォーム４．高温ウエハ ５．水和工程の含水したソフトコンタクトレンズ６．柔軟フィルム（バイオフィルム） ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

化合物半導体ウエハ用非接触ピンセット

マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を非…

◎特徴１．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/4ウエハ・Φ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

ウエハ移載機

薄物ウエハ（150μｍ）対応可能なウエハ移載機。 ■特長１．通常厚から薄物ウエハまで幅広く対応することが出来る。２．低価格にてご提供することが出来る。３．高スループット。４．対象ウエハは、...

メーカー・取り扱い企業：レイリサーチ株式会社

処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」

【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ

2インチから18インチのウエハ及び300mm口基板をローダーより多関節ロボットを使用し各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理する「枚葉式ウエハ処理装置」の総合カタログを無料配布中です！デモも随時ご相談受付ております...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

石英ガラスウエハ移載装置

オートドアFOSB、FOUPなどのキャリアに対応！自動的に枚葉で移載を…

本製品はφ300mm(12")石英ガラスウエハを、ステージ1～ステージ2のキャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。タクトタイム・移載時間は6分30秒/25枚以下。 ウエハ移載仕様について、基本はカセット下部は取出、...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

ウエハ移載機

ウエハ搬送に最適！ウエハ移載機

●ウエハとチャックとの接触面を最小限にすることにより、ウエハへのストレスや汚染を防止。 ●モータ駆動によりパーティクルの発生を予防。 ●独自のウエハチャック構造がウエハ搬送中の揺れを抑え、石英ボードへ...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社営業本部営業課

MB-2000 太陽電池用シリコンウエハセパレーター

2枚重ねが出ない構造になっています！

粗洗浄後の積み重なった、140μm～200μmのシリコンウエハを、特殊水中吸着ヘッドを使いながら上下の送りローラーにより、ウエハを1枚ずつ送り出し、ウエハキャリアに収納する装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

ウエハチップ自動搬送・自動撮影システム『YATシリーズ』

顕微鏡メーカーを問わず搬送可能！

『YATシリーズ』は、顕微鏡メーカーを問わず、検査側に ウエハ・ガラス関連製品を自動搬送・自動撮影できるシステムです。自動ステージとの組合せでフルオート搬送でき、マニュアル搬送モード単体機としても搬送可能です。ご要望の際はお気軽に、お問い...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤマトハンズ

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ…

段積みされている太陽電池ウエハを１枚ずつ、高速にて損傷させることなく送り出し、供給します。　積層された太陽電池の上部に設けられた当社開発の非接触搬送装置「フロートチャックSK型」（特許）より空気を噴出させることにより最上部...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

段取り替えなし！インチ兼用自動リフトオフ装置

【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウ…

ウエハサイズ違いによる段取り替えがなく、生産性UP！製品の種類によってインチサイズが違う、将来的に大きいサイズのウエハを処理したいというご要望が大変多いです。そこで、段取り替えをしないで複数サイズ処理が可能なリフトオフ装置をご提供します。【複数サイズ兼用の例】「2・3」、「2・4」、「3・4」、「4・6」、「6・8」インチ【薄型ウェハにも対応！】高圧ジェットはウェ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

6in・8inウエハ両用非接触ピンセット

６ｉｎと８ｉｎウエハを同じ非接触ピンセットにて掴むことができる

「6in・8inウエハ両用非接触ピンセット」(特許）新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

ウエハ移載機

従来のウエハ移載機よりも小型・省スペースを実現しました。必要な機能のみを搭載し、無駄を省くことにより、低価格にてご提供致します。ユーザーポートを準備しており、検査ユニット等とドッキングすることが可能です。検査...

メーカー・取り扱い企業：レイリサーチ株式会社

ME-100 3次元実装用マニュアルタイプウエハケミカル洗浄装置

3次元実装用マニュアルタイプのウエハケミカル洗浄装置です！

方メートル）あれば設置可能と経済的です。純水リンスはカスケード方式による純水使用量を抑えた低コストです。ケミカル温度をコントロールが可能です。比抵抗計によりリンス効果を判断します。 ウエハカセットは傾斜を持たせ、ウエハ表面側に液残留を防止します。将来、２槽（下部タンク共）追加可能なスペースを確保しています。エアーガン付です。シャワーノズルでケミカル槽を簡単洗浄出来ます。...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

□2.0mmウエハチップ非接触チャック

微小□2.0mmＩＣウエハチップを非接触にて掴みます。

　「微小□2.0mmウエハチップ非接触チャック」は、気体を噴出することによりミュウチップと本気底面に儲けたクッション室内部とチップに対向する作動面との間隙に負圧および正圧を発生させ微小2.0mm角ＩＣミュウチップを非接触状...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』

カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可…

『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに採用した「...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

汎用ウエハ接合装置　SB6/8 Gen2

先端MEMS，LED，小型電子部品など，各種用途の多様なプロセスに対応…

【特長】 ■金属拡散接合，共晶接合，TLP接合，接着剤接合，フュージョン接合，陽極接合，ガラスフリット接合など，あらゆるウエハ接合プロセスに対応 ■直径200mmまでのウエハおよび基板，6mmまでの積層厚みに対応 ■クランプ固定機構を備えた搬送フィクスチャとSUSS BA6/8 ボンドアライナの組み合わせにより，高精...

メーカー・取り扱い企業：ズース・マイクロテック株式会社

TEG(テスト)ウエハソリューションサービス

お客様のご希望に応じたカスタムTEGウエハの設計・試作！

当社では、実装評価用TEGウエハ・基板・各種加工技術をコアとしたトータルソリューションの提案を行っております。お客様の仕様に基づくカスタムTEG・基板の作成を承ります。またウエハのパンプ加工試作も承っておりますの...

メーカー・取り扱い企業： TEGソリューション株式会社本社

FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）

本装置は、2ステーションFOUP/FOSB対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。スループット：　350wph OCR / 850wph transfer...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。自動平行調整、…

当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事でフォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。露光方式とし...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）

本装置は、SMIF対応3ステーション対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。スループット：　300wph OCR / 750wph transfer...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

ウエハ移載機（ウエハソーター）

本装置は、2ステーションオープンカセット対応ウエハソーター（移載機）です。 ウエハサイズは、200mm（8インチ）以下に対応しています。スループット：　350wph OCR / 850wph transfer...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リバティー

プロトスキャリア用　ウエハ非接触ピンセット

プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット

『プロトスキャリア用　ウエハ非接触ピンセットは、薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納します。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

極薄ウエハ非接触搬送装置

厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送す…

TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費量が非常に少...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

高温ウエハ用非接触ピンセット

高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット

ＣＶＤ装置による半導体ウエハのエピタキシャル成膜後のサセプター上の高温ウエハを、気体を噴出することにより非接触によりウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着し、ピンセットのようにハンドル...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

GNCパターンウエハサービス等受託加工サービスのご紹介

基板の手配、マスク設計からの一貫生産の対応が可能！グローバルネット株式…

グローバルネット株式会社では、GNCの加工ファンドリーをはじめ、 GNCパターンウエハサービス等を提供しています。シリコンウエハ、ガラスなどを主に、お客様のニーズに応じた加工サービスを提供。基板の手配、マスク設計からの一貫生産の対応が可能です。【事業概要...

メーカー・取り扱い企業：グローバルネット株式会社

非接触ウエハソーティングシステム【NC-6800】

ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム！

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社

ウエハサポートサービス

超薄化のためのウエハサポートサービス

当社は、超薄化のための『ウエハサポートサービス』を展開しており、研磨・研削・洗浄の一貫加工とMEMS加工を強みとしております。薄化したウエハはサポートした状態で、お客様のプロセスに流すことが可能。また、ダイシン...

メーカー・取り扱い企業：六甲電子株式会社

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。低粘度～高粘度レジス…

の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い基板の搬送実績も多数あります！【特長】 ■段取り替え不要で、2サイズウエハ処理可能。 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応可能 ■2～12インチまで対応可能 ■ウエハサイズ自動認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

排気回収機構を設けた「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

クリーンルームにて使用可能「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」

排気回収機構を具え、クリーンルームへの排気の排出を減少させ、クリーンルーム内での使用を可能にした「SiCウエハ用ベルヌーイチャック」 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

ヤンバーを設けています。レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し、高精度の塗布を行います。また、現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれ循環し、高精度の現像処理が出来ます。 ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置し、ローダー、アンローダーも備えています。【特長】 ○2インチから18インチのウエハ及び300mm□基板が対象 ○ローダーより多...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

排気を上方向に排出する機構を採用。周囲のチップを噴出気体により吹き飛ば…

対応小型ベルヌーイチャック」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触（非接触）状態にてチャックし、所定の場所に搬送します。　　　　　　この新機構として吸着パッドの周囲に排気路を変更する回路を設けており、排気...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

ウエハエッジプロファイル計測装置

従来の約１０倍の高速計測機能！数秒でエッジ部の形状取得が可能です！

ウエハエッジプロファイル計測装置ＥＰＭ−３００は、独自開発のレーザー顕微鏡を搭載し、サブミクロンに近い精度でエッジ形状を計測。ＣＭＰなどと組み合わせ、エッジの研磨前、研磨後の形状を重ね合わせ検証することができます。　従来の約１０倍の速度でプロファイルを取得する高速計測機能を追加、これによりわずか数秒でエッジ部の形状取得が可能。そのほか、真円度計測機能、ノッチアライメント機能、ノッチ形状計測機能 ...

メーカー・取り扱い企業：大倉インダストリー株式会社