高性能・高圧 多用途ポンプ 【プラステコ】 L.TEXシリーズ

PR小流量から大流量、水状から高粘度まで、様々な流体の定量送液ならプラステ…

用途によって選べるタイプ！！ ●ポンプ単体（装置組込式）　●制御部一体型 標準で最大40MPaまでの高圧送液に対応するプランジャ－ポンプです。 当社の主力製品である『超臨界不活性ガス定量供給装置』においても多数実績があります。 最大流量は 10mL/min ～ 1000mL/min と幅広く豊富な機種をご用意しておりますので、 研究・実験用途に適した小流量から量産向けの大流量まで、ご使用目的に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラステコ 本社

リレーユニット『URY120-T1』

PR電力量計の負荷側を開閉制御する装置！遠隔制御が可能で屋外(雨線内)でも…

『URY120-T1』は、当社の電子式電力量計120Aと接続することにより、 最大120Aの大電流を開閉制御することができるリレーユニットです。 自動検針システムと組み合わせることで遠隔制御ができ、普通耐候形 電力量計と同一構造のため、屋外(雨線内)でも使用可能。 電力量計の負荷側に接続し、"横配置"または"重ね配置"で設置します。 "重ね配置"の場合、オプションの「ブラケット」が必要となりま...

メーカー・取り扱い企業： 埼広エンジニヤリング株式会社

大型スパッタリングターゲット加工

銀、銅（6N）、錫（6N）など様々な大型スパッタリングターゲットの切削…

の「門型マシニングセンター」設備は門幅2100mmのため、 大型の半導体用（Φ660mm以上）、液晶製造用（2000ｘ4000mmまで）の大型スパッタリングターゲット加工が可能です。 また、NC制御＋多軸ＡＩ制度補正機能を有するため、繰り返し精度も高く工作機械上で3次元測定機能を用い、加工製品の制度保証を全数行うことが可能です。 月産1000枚程度のロットものの加工に適しています。 さ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社埼玉プレーナー工業所 本社

ガスフィルター用ジャケットヒーター

２００℃の高温でガスフィルターをベーキングする画期的なベーキングヒータ…

使用温度は２００℃です。 ○電源はＡＣ１００Ｖです。 ○消費電力は６０Ｗ〜１００Ｗです。（０.６Ａ〜１Ａ） ○加熱タイマー最大使用時間は１００Ｈｒｓです。(デジタル設定) ○温度調節はＰＩＤ制御です。(デジタル設定) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

真空熱加圧装置　2Dタイプ

大面積へ真空中で均一に加熱加圧することが可能な汎用機です。 ボイドレ…

プレス押し型内部に真空隔室をつけ、クイックに真空減圧させて空気泡（マイクロボイド）を取り除き均一な真空貼り合せを行なうことができます。 《特徴》 〇ミカド独自の加圧方法と推力制御を用い、熱板にて大面積への均等加圧が可能。 〇低推力から高推力まで広い推力レンジを持ち、様々なワークに対応出来ます。 〇瞬時真空チャンバーにて、減圧時間の短縮化が可能です。 〇セミオーダー対応...

メーカー・取り扱い企業： ミカドテクノス株式会社

高圧洗浄機　MN-100

高圧洗浄機

部品を温水高圧洗浄！ 水滴を吹き飛ばし乾燥させる、高圧洗浄機 【特徴】 ○ノズルはロボット制御にて自動動作 ○乾燥は、圧縮エアーにより水滴を吹き飛ばし 　オプションにて温風発生器も付加が可能 ○半自動タイプで　組立セル方式に最適 ○温水は、備え付けのろ過装置によりろ過され綺麗な温水...

メーカー・取り扱い企業： コニテク株式会社

チップ洗浄機

2流体でウェーハを徹底洗浄します。

純水とエアーの2流体でダイシング後のウェーハ表面を洗浄する装置です。 独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。 ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応します。 【特徴】 　■搬送部をコンパクトにすることで、装置の小型化に成功 　■純水とエアーの2流体でウェーハを徹底洗浄が可能 　■歩留まり...

メーカー・取り扱い企業： レイリサーチ株式会社

VPG 300 DI

VPGシリーズに300x300mm角基板まで対応した高速描画装置が加わ…

最小寸法0.5um、Line　Space 0.8umまで描画可能。 選択できるWrite Mode(最小寸法0.5um　または0.8um) 高出力DPSSレーザー 最大描画面積　300x300mm2 リアルタイムオートフォーカス オートローダー 基板検出機能 裏面アライメント機能 Zerodur採用 高精度微分干渉計によるステージ制御

メーカー・取り扱い企業： ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社

交流無停電電源装置(UPS)据え置きタイプAcrostarTHM

出力100V、200Vを自由に選択。適応性に優れた三相モデル

【製品の特長】 ○3種類の出力電圧が選択可能(100V、200V、100/200V) ○デジタル制御による高信頼性 ○環境に優しいクリーンウェーブ ○イージーメンテンテナンス ○インテリジェント監視モニター搭載 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社GSユアサ

ドライフィルムラミネーター　DFW-500-P-RC

エム・シー・ケー社が取り扱う、

【特徴】 ○クリーニングユニットを装備 ○低張力テンションにてゴミ・シワ・気泡なく貼合せ可能 ○張力：パウダーブレーキ　オープン制御 ■その他機能や詳細については 　お問合わせもしくは、カタログダウンロード下さい。（担当河口）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・シー・ケー 東京 電子事業本部

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』

各種ウェハーの基板洗浄や各種フォトマスク、磁気ディスク等の洗浄に最適

波洗浄ユニット ○サブミクロン以下のパーティクルを除去 ○特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させ、ワークにダメージを与えない ○外部信号により、８段階出力切替が可能 ○信頼性の高いCPU制御で、シーケンサーなど外部機器との接続が容易 ○均一な音圧を実現 ○多彩な周波数を選択可能：750/1000/1500/2000ｋHz ○微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整が可能 ○最...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

【工場セキュリティ】EdgeIPS

ミッションクリティカルな工場設備を保護し、生産ラインの継続稼働を支援す…

＜主な製品特徴＞ 情報技術（IT）と運用・制御技術（OT）は通常、別々に運用されますが、ITとOTの融合が進むにつれて、それぞれの環境特性を踏まえ、「想定外の稼働停止を防ぐ」ための多層的なセキュリティ対策が重要になります。また、既存設備の場合、...

メーカー・取り扱い企業： TXOne Networks Japan合同会社

接続用ピン端子をダイレクト挿入『連続ピン端子挿入システム』

接続用機構部品としてプリフォーム連続ピン端子を基板やボビンにダイレクト…

ンにダイレクトに挿入するシステムです。 プリフォーム連続ピン端子は、お客様の仕様に沿ってカスタムにて製作致します。 端子挿入機を使用すれば、ピン端子を集合基板上で挿入でき、挿入場所をNC制御で指定可能です。 ピンヘッダーのようにインシュレーターが無いため、スペース面で基板設計に余裕ができます。 端子挿入機には、据置型と卓上型をラインナップ。ワーク自動供給装置付挿入機にも対応致します...

メーカー・取り扱い企業： アイクレックス株式会社

機械の安全性：ISO13849-1の接点の2重化

アメリカの電気安全への適合は、アメリカの認定第三者機関に直接相談するの…

SHA 要求の産業衛生（IH）の評価、テストも実施 ■日本もアメリカも同じ会社内で対応 機械の安全性：半導体製造装置等向けIEC60204-33　（SEMI S22）の安全インターロックを、制御システムの安全関連部ISO13849-1に適合させる方法を説明します。 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい...

メーカー・取り扱い企業： SALUS

「ナノピンセット」リーフレット

マイクロ・ナノサイズの試料の把持が可能な微小ピンセットのリーフレットで…

コンウェハを微細加工して作製されたピンセットです。専用コントローラを用いて電圧を印加することによって、ピンセット先端が滑らかに開閉動作し、ナノ～ミクロンサイズの物体の把持が可能です。先端間隔を細かく制御可能であり、柔らかい試料もつぶさずにつかむことができます。 アプリケーション実例として、ウェハ上のパーティクル（幅2μm)や酵母菌(5μm)、トナー(5μm)等の把持の様子もご紹介しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： アオイ電子株式会社

株式会社キョウワ　事業紹介

創造することに挑戦を続け常に進歩を追及し、環境対応型企業を目指します。

要です。 お客様の満足を超える価値を提供し、私たち自身の存在価値を追及し続けるため常に謙虚で素直な姿勢を持ち、環境対応型企業として進歩を続けます。 【事業内容】 ○機械装置製造 ○メカ、制御設計 ○部品製造 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キョウワ

『中古部品買取・販売／リファービッシュエンジニアリング』のご紹介

約8万点の中古部品在庫を保有し、最短即日出荷。半導体・FPD製造装置の…

今回は当社で実績のある『中古部品の販売』と 『リファービッシュエンジニアリング』についてご紹介いたします。 【中古部品の販売】 ■約8万点の部品在庫を保有 （表示機器、真空・駆動系・制御系パーツ、付帯機器、ポンプ、計測器など） ■最短で即日出荷が可能 ■生産終了品や新品の部品も提供可能 ■海外からの専用品の取り寄せに対応 【リファービッシュエンジニアリング】 ■生成物...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

アロン電機株式会社　事業紹介

ニーズに的確に応え、さらに挑戦！生産基盤を創造し、お客様のお役に立ちま…

技術 →品質保証 ○製品加工組立部門 →工具→装置・ユニット ○ラック治具製作部門 ○機械治工具加工部門 【技術紹介】 ○開発・設計技術 →省力化機器開発技術 →機構開発技術 →制御開発技術 →画像処理技術 →高精度外観検査技術 →異物・異品種判別システム技術 ○加工技術 →精密加工技術 →微細加工技術 →3次元5軸加工技術 →旋削5軸加工技術 →量産加工技術...

メーカー・取り扱い企業： アロン電機株式会社

大隆精機株式会社　事業紹介

ご期待を上回る最善のソリューションをご提案いたします！

大隆精機株式会社は、機械設計、制御設計、加工、検査、組立・調整などを 行っている会社です。 当社では、お客様からの様々なニーズに柔軟かつ適確に対応するため、 メカトロニクス製造過程における優れた専門技術を有するスペシャリス...

メーカー・取り扱い企業： 大隆精機株式会社

シャーレ搬送ロボット

医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能

-300-AM 被搬送物 シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） 搬送物保持 エアシリンダ駆動によるメカニカルグリップ方式 機械構造形式 水平多関節型 制御軸 4軸 モータタイプ 全軸ACサーボモータ 動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 555mm 335度 300mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

高温ホットプレート「PA4007型」

最高温度400℃！小型、高温のホットプレートです。

す。 【特徴】 ○最高温度：400℃ ○プレートサイズ：70×80mm（カスタマイズ対応可） ○MSAファクトリーのデジタル温度コントローラPCCシリーズとの 　組み合わせで精密な温度制御が可能 ○小型サイズで様々なアプリケーションに適合 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

原子層堆積装置 「ALD-Series」

複雑な形状の基板への成膜に最適で、低温成膜で樹脂基板にも対応します。ま…

【特徴】 ○単原子層ずつ成膜するため、膜厚制御性に優れている ○高アスペクト比の基板に対しても付き回りよく成膜することが可能 ○基板温度を抑え成膜することが可能 ○基板面内分布に優れている 【仕様】 ○φ4インチ基板、25枚一括処...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

有限会社アプローチ　事業紹介

産業用機械・各種検査装置設計の110番！有限会社アプローチの事業紹介

有限会社アプローチは、搬送機や各種組立機の自動機・省力機、また、 各種検査装置、治工具などの設計･開発から製作を、メカから制御ソフト まで一貫して承ります。その為、短納期・低価格で納品が可能です。 簡易的な図(ポンチ図)やお客様のイメージ・ご要望・機械の用途などを 詳しくお伺いし、構想図を起こして、それを元に設計...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社アプローチ

超臨界流体洗浄・乾燥装置

微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥を行うことが可能

い洗浄・乾燥が行えます。 ●チャンバーの冷却、加温という温度サイクルがなく一定温度での洗浄・乾燥が行えるめ、処理時間の短縮が可能です。 ●ヒーター・自動圧力調整バルブ・ポンプをプログラム制御することで、閉鎖系にすることなく超臨界流体によるリンス液の置換から大気圧までの減圧が効率よく行えます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レクザム 香川工場

T-Box （Translator Box）

各工場の仕様や装置独自の動作プロセスのノウハウを使用し、装置と各工場の…

◆装置のグラフィックイメージ上にウェハ・基板の動作状況、エラー・アラーム状況は リアルタイムで日本語表示され、オペレータが瞬時に状況を把握することができます。 ◆通信だけでなく、装置本体の制御やモニタリング、処理結果データのロギングや 報告など、工場の要求に沿った機能を実現できます。 ◆◇◆詳細は資料請求またはお問合せ下さい◆◇◆...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラポールシステム

株式会社イズミテクノ　事業紹介

ニーズに合わせた高度な表面処理を施します！

【主要説備】 ■コンピュータ制御装置付きアルマイト処理装置 ■高温高圧スチーム処理装置 ■イオン交換、純水装置 ■全自動、クロム、シアン、濃厚酸、アルカリなど、排水処理装置 ■クロム、回収パトローネ装置 ■アルマイト実験...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イズミテクノ

広田製作所　事業紹介

石英ヒーター、電気炉・制御装置、半導体用ヒーターはお任せください

広田製作所は、石英ヒーター､半導体用各種ヒーター、シーズヒーター､ カートリッジヒーター、半導体製造装置、理化学用電気炉･装置を 提供しています。 小型管状炉や 薬液加熱用のテフロンヒーター、二重管・4本組の 石英ヒーター等、お取扱しています。 ご要望の際はお気軽にお問合せください。 【営業品目】 ■石英ヒーター ■半導体用各種ヒーター ■シーズヒーター ■カート...

メーカー・取り扱い企業： 広田製作所

紫外ウエハースクライビング装置『ULTRA SCRIBER』

高速加工による高効率！LD励起固体UVレーザー搭載のレーザーシステム

【仕様】 ■レーザ： 固体レーザ355nm ■最大加工範囲：4インチ ■X-Y-Z・θ四軸プラットフォームシステム ■高速四軸駆動制御システム ■同軸画像CCDシステム ■グラナイト定盤防振装置 ■加工能力：9pcs/h-32pcs/h（結晶粒子サイズによる） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社デルファイレーザージャパン

精密流量コントロールバルブ

酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラーです。高精…

流路部品は全てテフロン樹脂製ですので幅広い耐薬液性を有しています。用途により、流量計タイプをカルマン渦流量計と超音波流量計の2種類よりご選択頂けます。また、液体流量コントローラー単体でも販売しております（商品名：AutoValve）。 詳しくはお問い合わせください。...【特徴】 ○液体流量コントローラと流量計を１つのシステムに統合 ○セットした流量をモニタリングしフィードバック ○高再現...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

ハイメカ株式会社　会社案内

当社のコア技術で、お客様のテーマにお応え！ハイメカはお客様と共に歩んで…

【コア技術】 ■高速モーション制御 ■精密位置決め ■異種金属溶接 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ハイメカ株式会社

株式会社セントラル　事業紹介

メカトロニクスの総合エンジニアリングで21世紀を飛躍

いただける企業として努力していく所存でございます。 皆様のご指導・御鞭撻を賜りますよう心からお願い申し上げます。 【事業内容】 ○自動・専用・省力機の設計製作 ○治具工具／設計製作 ○制御盤作成 ○制御ソフト開発 ○機械部品加工製作 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セントラル

『塩化第二鉄溶液電解再生システム』

安全でクリーンな塩化第二鉄エッチング液電解再生装置

クリーンな液の維持管理 の安定を実現した装置です。 特殊電極の採用により処理能力が向上。さらに、電解槽の増減により あらゆるエッチング操作に最適なシステムで対応可能です。 また、自動制御を行うことにより、運転中の煩わしい操作やメンテナンスは 不要になり、無人運転を可能にします。 【特長】 ■安全・クリーン&高効率 ■高能力&フレキシブル ■簡単操作&優れた経済性 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社長井製薬所

半導体自動円研機『SMG-XN-812-40280』

結晶方位研削後、任意に指定された位置にOF加工またはVノッチ加工をしま…

全自動機械で、長尺アズクロンインゴットを粗・精のコンビ砥石により 円筒研削を行い、X線結晶方位を探索し、OF面やVノッチ加工をします。 真円・円筒等の計測機能と砥石摩耗補正ソフト及び負荷制御機能も あります。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■インゴットサイズ：8",12"×2,800l／500kg ■Vノッチ深さ：Max 1.64mm ■ユーティリテ...

メーカー・取り扱い企業： 齊藤精機株式会社

株式会社アラオ　事業紹介

「こんなの作りたい…」を形にします！

株式会社アラオは、半導体関連省力機器の設計・製作を手掛けています。 更にその中で培った技術を生かし、メカ・電気・制御ソフト設計から製作 ・据付調整までの一貫生産体制でお客様のご要望にお応えしています。 また、3D造形サービスも開始しました。お客様の3Dデータを専用樹脂 で造形いたします。 【営業項...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アラオ

多段式HP-CP装置

【高精度な温度精度を実現】同一フレーム内で複数の基板を同時に加熱/冷却…

【特徴】 ■ホットプレート、コールドプレートによる各種基板の均一加熱、冷却を行います。 ■ホットプレートは基板最高温度150±3.0℃、ゴールドプレートは23±1.0℃の制御が可能です。 ■プロキシミリティピン（近接ピン）は取り外しや、交換が可能です。 ■ホットプレート、コールドプレートは弊社独自の表面処理により、静電除去が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： クリーン・テクノロジー株式会社

反転ユニット

両面処理等が必要な装置に適しています。

化:従来製品に対して容積50%downを実現 高速反転:従来品に対して速度20%upを実現(300mmウェーハ比) (小型ウェーハの場合速度50%upを実現) 低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現 真空吸着、エッジクリップ、ベルヌーイ等各種ウェーハ保持方式に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ソフトライトプレス(0.3ton)

小型・軽量・低騒音で環境に優しく、応用範囲が無限に広がる新プレス機。

Ｖとエアー源５〜８kgf/cm2があれば設置可能。 駆動はアンダードライブで金型の上型に連結、ラムの無い不思議なプレス機、送り装置や付帯設備の取付にも有利で金型の脱着も容易にできます。 制御にはシーケンサーを使用していますのでインラインには最適。 運転モード切替スイッチ付、両手押し釦操作。 金型の標準化も容易でＪＩＴ，多品種の生産にも最適。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山岡製作所

中型タッチパネル/OLED露光装置

独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供！！！

て、ハイスループットで生産に寄与します。 また、見えづらいITOマーク、メタルの被ったマークに対しても、独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供します。 マスクとワークの温度制御にて、トータルピッチ±3-5μｍ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

小型ウエハー自動露光装置

LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です！

<特徴> LED/水晶デバイスに最適な、全自動露光装置です。 生産性を重視した高剛性設計、ベースと支柱に石定盤を採用。 ダブルハンドロボットにて、高スループットアクセスランダム制御。　オリフラアライナーも装備 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

フラットパネル露光装置＜超大型縦型露光＞

大型パネルのマスクの撓みを大幅に削減！！

<特徴> 大型パネルのマスクの撓みを最小限に抑えたマスク縦型の露光装置です。 多面取、大型パネルをXステップで露光。高い継ぎ精度で露光します。 マスクとパネルの精密温度制御を行い、トータルピッチを抑えた装置になっています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

試作量産対応半自動露光装置

アライメント精度＝±1μｍ以下！！！

2、6、8インチ又は角基板も対応アライメントは自動、平行だし、Gap制御も自動で、ワークの搬入、搬出のみ人手にて行います。 片面、両面アライメントに対応します。 アライメント精度＝±1μｍ以下。 除振機能は標準仕様、両面アライメントは、両側光学系、IR光学...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

ダンパーゴム【ボウシンゴム】

あらゆる装置の振動を制御。防振ゴムとして安定した防振支持ができます。防…

このカップマウント（ダンパーゴム）は全方向に等しいバネ特性をもった防振ゴムであらゆる装置の防振ゴムとして安定した防振支持ができます...このカップマウント（ダンパーゴム）は全方向に等しいバネ特性をもった防振ゴムであらゆる装置の防振ゴムとして安定した防振支持ができます。取付簡単で床と機械の間に防振ゴムを置くだけでも使用できます。 注意：ゴム材質は天然ゴム配合とします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスケー

試作開発用マニュアル露光装置

研究開発に便利な手動アライナー！！！

2-6インチに対応し（角基板も対応）アライメントは手動、Z軸制御は自動にし、Gap精度を上げ、使いやすい装置にしています。 片面、両面アライメントに対応します。 テーブルトップから、除振台付属等、豊富なラインナップを持っています。 両面アライメントは、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

半導体組立装置　ワイヤボンダ　FB-900

さらに進化した、スピードと安定性

【特徴】 ○低振動を実現した制振制御XYステージ ○超小型無反動カットクランプ ○低イナーシャを実現した高速ボンディングヘッド ○2周波超音波振動子の搭載 ○ワイドエリアに対応 ○2色LED照明 ○複雑な品種に対応したサポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カイジョー ODM事業部

ロッドレンズアレイ

ロッドレンズアレイ

ロッドレンズアレイになります。 露光装置等均一光が必要な生産設備において フライアイレンズもしくはプロジェクションレンズとフライアイレンズを 併用して光を制御するものになります。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ハイメック

フィルム用ロールtoロール露光装置

ロールtoロールで搬送にかかる手間を大幅に削減！！！

フィルムは、短冊からロールに対応し、フィルムはEPC制御し蛇行を抑え、光学アライメントを行い、高精度パターニングを実現します。 露光方式は、密着、プロキシミティーに対応します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所

SAL3481HV(マルチワークアライナ)

ウエーハ材質に影響を受けない新型アライナ

ト可能 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 ウェーハサイズ、材質にあわせてスピンドルの径、形状、材質の変更も対応可能 ベルヌーイスピンドルも搭載可能 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O SEMI規格にない形状のノッチ、オリフラ等への対応も可能 ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きも製作可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル