【新製品】脱脂用洗浄剤 『ネクシアS-63』フッ素系洗浄剤

PRHFCを含まないフッ素系洗浄剤！様々な法規制に非該当！PC・ABS樹脂…

『ネクシアS-63』は脱脂洗浄に適したフッ素系洗浄剤です。鉱物油系加工油付着の鋼板・金型・ロール等の手拭き洗浄、金属加工部品の浸漬洗浄等が可能。他フッ素系洗浄剤と比べて、コストパフォーマンスに優れております。HFCを含まないフッ素系洗浄剤のため、環境に配慮した洗浄剤です。 『ネクシアS-63』の主な特長 1)HFC,臭素を含まないため、法規制の該当が少ないことによる扱いやすさ 2)オゾン破壊係数...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネコ化学

光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』

PR輝度回復と歩留まり改善。光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』な…

＼非接触で洗浄！／ 光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』は、デリケートな光学部材用の金型に付着した汚れをノーダメージで完璧に除去します。ガス焼け、樹脂汚れに対応。ナノ、ミクロレベルの汚れも逃さず除去します。 【従来の光学部材の金型メンテナンス】 ●綿棒やスワブなどを使って手作業で行う ●キズがつきやすいため細心の注意が必要 ●充分に汚れが取れないことも ●有機溶剤を使用する...

メーカー・取り扱い企業： ソマックス株式会社

G8対応　枚葉スピン式　大型マスク洗浄装置　MSC-1500

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

AGV対応、ケミカル処理、リンス、乾燥する大型マスク洗浄装置です。反転機構により両面洗浄も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場

ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトッ…

ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。 剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハ...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

半導体関連部品への精密洗浄

精密な洗浄装置とクリーンな環境を整備！アルミ、ガラス、セラミック等に対…

ヱビナ電化工業では『半導体関連部品への精密洗浄』を行っています。 清浄度が必要な精密部品に適用可能。クリーンルーム内で洗浄から 梱包まで行いパーティクルを抑制します。 また、めっき・洗浄・梱包まで社内一貫対応のため、表面処理＋洗浄...

メーカー・取り扱い企業： EBINAX株式会社 旧 ヱビナ電化工業(株)

【油膜除去】超精密スチーム洗浄機『洗蒸気』

蒸気の力で超精密洗浄！投入→洗浄→冷却ブロー→排出→搬送の一連の工程を…

「洗蒸気」は120℃の蒸気凝縮により、スチーム洗浄の特性を向上させた精密部品の洗浄向けの洗浄機です。 蒸気が凝縮する際に、一緒に汚れを集めるため、従来の洗浄機では届かなかった隅々まで洗浄が可能です。 従来の洗浄機はフィルターで液を循環させる...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社松浦機械製作所

キャリア（カセット）ボックス洗浄装置

洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…

多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種キャリア（カセット）の洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能出です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置

ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です…

省スペースで、両面洗浄可能なメカグリップ機構の枚葉式スピン洗浄装置です。 メンテナンスが容易で高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減します。（特許第3558543)...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

IPA 蒸気洗浄装置

デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず 、高純度のIPA…

装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥 乾燥対象：６インチ　１カセット相当 　　　　　シリコン、ガラス、部品等 槽構成：ステンレス製蒸気乾燥槽１層 　　　　アルミヒートブロック間接加熱方式 装置寸法：幅1,050(mm...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

自動スピン洗浄装置

クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置

オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート) =============================================== ＜仕　様＞ ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ 搬送…大気3軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

バッチ式洗浄装置

クリーン化技術・搬送／制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗…

長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術・搬送／制御技術等を駆使し、トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作して参ります。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで使い勝手の良い装置をお届いたします。 ...装　置　仕　様 【洗 浄 対 象】 ～12 インチカセット（※対象サイズはご相談ください） 【槽構成】 ローダー（水中も可）→処理槽（...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』

各種ウェハーの基板洗浄や各種フォトマスク、磁気ディスク等の洗浄に最適

ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインソニック』は、サブミクロン以下のパーティクルを除去し、特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させ、ワークにダメージを与えません。多彩な周波数を選択可能（750/1000/1500...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

【高品質・高性能】『スピンスクラブ洗浄装置シリーズ』のご紹介！

量産向け新型【自動スクラブ洗浄装置】と、シリーズ累計200台以上の【フ…

《１》【W-スピンスクラブ自動処理装置】 　◆量産向けの最新型「自動スクラブ洗浄装置」です。 　◆ハイスループット 且つ高信頼性にフォーカスした機種です。 　◆「CMP後や研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」等に好適！ 　◆「反転機能」「ブラシ押込み量設定機能」...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインジェット』

低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！

ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインジェット』は、微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。多彩な周波数を選択可能（400/1500/3000ｋHz）で、多彩なノズルバリエーション（耐薬品/メタルコ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング…

ジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

ドライ洗浄装置アストロジェット1000シリーズ

除去不能だったゴミ等を効果的に除去。無料洗浄テスト実施中！

〜完全ドライ洗浄！基板の洗浄に必要な液体・薬品・廃液管理が必要ありません〜 液化炭酸ガスから極小のスノー（ドライアイス粒子）を生成しアシストエアに乗せ 被洗浄物へ噴射。今まで除去不能だったゴミ等を効果的に除...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディップス・エイチシー

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　スプレータイプ

【デモ機貸し出し可能！】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（…

枚葉式自動洗浄装置は、枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。 各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　ディップタイプ

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…

本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…

精密洗浄システム『スノーガンII』は、純度99.99％以上の液化炭酸ガスで ノズルから、サブミクロンの超微細ドライアイスパウダーを噴射。 対象物にキズをつけず、パーティクル・オイル等の汚れを引きはが...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

ローラ自動洗浄装置　『ARC-II（アークーツウ）』

ローラ・ベルトの汚れを自動洗浄！安全に、早く、綺麗で歩留まり削減

貴社のラインの重要なローラを自動洗浄する装置です。 バックアップローラやガイドローラを安全に・綺麗に 自動洗浄します。...

メーカー・取り扱い企業： テクノロール株式会社

有機EL洗浄装置（フィルム洗浄）

各種ケミカル洗浄、超音波洗浄、フォトリソ装置の取扱

【各種取扱装置】 超音波洗浄 ケミカル洗浄 現像・エッチング・剥離装置 スピン洗浄 ディップ洗浄 ロールtoロール洗浄...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

半導体製造装置　自動石英管洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さ…

ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。 したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。 ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。 方式は横型式と縦型式と2種類があり、石英管の形状に合わせ対応致...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

全自動洗浄装置

光学部品洗浄、ケース洗浄など様々な分野にて実績あります。

弊社洗浄装置は全て専用設計です、全自動に限らず半自動、などコストを考慮した装置や、特種形状の部品など「　洗いたい物　」にマッチしたより良い装置を御提供いたします。同業者様、自社で作るにはコストが掛かりすぎる...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社アイディー技研

チップ洗浄機

2流体でウェーハを徹底洗浄します。

純水とエアーの2流体でダイシング後のウェーハ表面を洗浄する装置です。 独自開発の洗浄カップで浮遊系ダストの再付着を制御します。 ご使用用途に応じ、様々なアレンジに対応します。 【特徴】 　■搬送部をコンパクトにすることで、装置の小型化に成功 ...

メーカー・取り扱い企業： レイリサーチ株式会社

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。 １つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた場所にも適しています。 単機能のスクラブ洗浄装置についてはご相談ください。 【特長】 ■洗浄・リンス・乾燥まで1か所で行える ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

カセットレス洗浄装置（ウェハー洗浄用）

ファインソニックを使用しダメージを与えずにパーティクルの除去が可能

＜特長＞ ・カセット接触部の洗浄ムラも解消。 ・少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに。 ・消費電力を大幅にカット。 ・ 槽間移動時の薬液量を少量化。 ・ファインソニック（高周波発振器／振動子）を使用。ダメージ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレテック

エッチング装置　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

理想的なノズル配置により技群の面精度を実現、小径孔も確実に洗浄

ソフトエッチング・小径穴洗浄ラインは、理想的なノズル配置により技群の面精度を実現したエッチング装置です。直進性の高いスリットで小径孔を洗浄し、高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施します。板厚50μmのワークも搬送可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

カセットレス自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作！

カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。 機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

パーカーハネフィン　油水分離装置 (油水分離器)

【デモ機貸与可能！】浮上油分離から液中分離まで油水分離のお悩みを効果…

パーカーハネフィン(旧タイヨーテクノ)の油水分離装置は、油と水が混ざり合った液体から油を効果的に分離することができます。 CRS及びFOSシリーズの油水分離器は、様々なろ過技術で洗浄液をクリーンにし、液体を有効活用する分野で大きく活躍しています。 精密部品の加工後の付着した油を洗浄する洗浄機に多用され、半導体、燃料電池等の精密洗浄にも対応し、水や溶剤洗浄に適した製品です。 ダイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シー・エス・シー 本社、大阪支店、福岡出張所

ウエハー自動洗浄装置　カセットレス自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致し…

カセットレス自動洗浄装置は、ワーク投入から乾燥までを一貫して行う精密洗浄処理装置です。 機器はカセットレス、ボート搬送方式を選択でき、各種デザインもユーザーの仕様にあわせて製作致します。 詳しくはお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

重圧バレル研磨機『Mighty・Mild』

安定した重圧流動(特許取得済)が、メディアの力を最大限に引き出します！

『Mighty・Mild』は、研磨力を上げて、摩耗を抑える重圧バレル機です。 安定した重圧流動により、メディアのムダな摩耗が大幅に減少するため、 メディア消費量が25～70％削減可能。 前工程やハンドリングでついたキズも短時間で残さず除去し、滑らかな流動に よりワーク同士の衝突回数が減少するので新たにキズがつかず、特に硬く 脆いワークに好適です。 【特長】 ■メディアの省...

メーカー・取り扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工

高圧洗浄機　MN-100

高圧洗浄機

高圧洗浄機...

メーカー・取り扱い企業： コニテク株式会社

【国産】ペン型大気圧プラズマ装置

表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し！ペン型…

『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます！ ペン型トーチ採用で微細な加工やラボ用途に適し、初心者でも簡単に取扱いできます。 【特長】 ■熱によるダメ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

有機ＥＬ基板洗浄装置　ME-6500-10

有機EL等の基板製造装置に最適です！

基板の洗浄を目的とし、洗浄ブラシ、HPMJ、MS、最終リンス、水切りを経て排出部へ送り出す工程を枚葉にて行う装置です。...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

各種ウェハの界面活性剤・純水スクラブ洗浄、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までの工程を１つのチャンバーで行う枚葉装置 ◇　シングルチャンバーで完結する省スペース型 ◇　Si（シリコン）、LT（リチウムタンタレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

ウエハー自動洗浄装置　300mmウエハ自動洗浄装置

【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式…

300mmウエハ自動洗浄装置は、カセットタイプのバッチ式洗浄装置です。 Φ300まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

プラズマ装置 プラズマクリーナー プラズマ洗浄装置カタログ

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…

【掲載製品(抜粋)】 プラズマ装置 　プラズマドライクリーナー 　プラズマ洗浄装置　　プラズマクリーナー　　プラズマ自動機　　プラズマエッチャー　　プラズマアッシャー ■PIPI ■PDC210 ■PDC510 ■PDC610 ■YSP600U/YSP2KU ■Y...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

異形条切削ライン・異形条洗浄研磨ライン・異形条レベラー

異形条切削ラインや異形条洗浄バフ研磨ライン、異形条レベラーも製造いたし…

も前工程では切削法を採用する場合もあり、 今日ではその製造法は重要な役割を担うようになりました。 当社では、異形条切削ラインの製造をはじめとし、その下工程として 異形条表面を仕上げる異形条洗浄バフ研磨ライン、プレス直前に材料を 矯正する異形条レベラーなどもラインアップしています。 【ラインアップ】 ■異形条切削ライン ■異形条酸洗バフ研磨ライン ■異形条レベラーライン ...

メーカー・取り扱い企業： 生田産機工業株式会社

超臨界流体洗浄・乾燥装置

微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥を行うことが可能

る工程」に置き換えたことにより… ●ポンプにより圧送される液化二酸化炭素を予備加熱することで粘性の低い超臨界流体としてチャンバーに導入するため、ナノレベルの微細構造物に対してもダメージの少ない洗浄・乾燥が行えます。 ●チャンバーの冷却、加温という温度サイクルがなく一定温度での洗浄・乾燥が行えるめ、処理時間の短縮が可能です。 ●ヒーター・自動圧力調整バルブ・ポンプをプログラム制御す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レクザム 香川工場

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

ェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。 ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

渦流バレル研磨機『Eddy-Plus』

充実のラインアップ！工作物のバリ・カエリ取り、R付け及び重切削から仕上…

『Eddy-Plus』は、クリアランスコントロール機構を標準装備しており、 研磨時間延長も同時に実現する渦流バレル研磨機です。 バレル槽は固定槽と底部回転槽からなり、回転槽を高速回転させることにより、 研磨 槽内に投入された研磨石は遠心力を与えられ、外壁方向に流動し、 固定槽に沿って立ち上がります。 研磨だけの単能機、選別機付き、全自動の3タイプを用意。 ご予算・作業ニーズなど...

メーカー・取り扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工

ユニット型洗浄・殺菌・脱水機 「ニューウオッシャマン」

ユニット型洗浄・殺菌・脱水機 「ニューウオッシャマン」

■薬品を全く使用せず、常温で洗浄・殺菌・脱水の同時処理が短時間で可能 ■超振動α-攪拌機の振動流動による完全洗浄・洗浄時間はタイマーにより制御 ■酸化チタン製の振動羽根の光触媒機能による短時間殺菌処理・ほとんどの最...

メーカー・取り扱い企業： 日本テクノ株式会社

精密洗浄

精密洗浄

大宮工業の精密洗浄は、半導体及び液晶生産工場での製造工程でパーティクルの原因となる装置部品に付着したデポを除去し、生産に支障無きよう各種の部分を部品を再生します。 真空装置部品の精密洗浄だけでなく、精密加工部品の脱...

メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課

強アルカリ性電解洗浄水

強アルカリ性電解洗浄水

ガラスやセラミックスに付着した無機性・粒子汚れや、加工補助剤に用いられるワックスなどの洗浄に大きな効果をあげています。また、金属加工で使用される、さまざまな加工油の洗浄にも実用化が進んでいます。どちらも、物理洗浄方式との組み合わせを工夫することで、従来の非水系の洗浄剤や、界面活性剤を使用...

メーカー・取り扱い企業： アクアシステム株式会社

高精度処理タイプ　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

高精度処理タイプ　ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

抜群の面精度で、小径孔も確実に洗浄

メーカー・取り扱い企業： 株式会社二宮システム

300ｍｍカセットレス洗浄装置

ファイナルポリッシュ後の化学研磨工程で使用　／　50枚を一括処理　／　…

＜主な仕様＞ 1.被洗浄物 ：　300ｍｍ　厚み　0.75ｔ 2.処理方法 ：　カセットレスによるDip処理 3.処理速度 ：　50枚/5min（可変） 4.装置内清浄度：　0.1μｍ　クラス1 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）