オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

高性能充填機『4軸オーーーガ』

PRまるで、充填機界の4WD！計量フィードバック方式により、精度が向上しま…

『4軸オーーーガ』は、パワフルでスピーディな高性能充填機です。 容器に均一な充填が可能で、タッチパネル採用により、操作性・ 視認性も向上。 またオプションとして、主軸 スクリューWC溶射や、スクリュー先端 ゲート内面コーティング、容器高さ検知機能などをご用意しております。 【特長】 ■大幅にスピードアップ ■よりコンパクトに ■タッチパネル採用による操作性・視認性向上 ...

メーカー・取り扱い企業： 讃光工業株式会社

【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価

TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価

大気下におかれた金属銅（Cu）の表面は自然酸化膜で覆われており、このような銅表面は大別して「Cu」「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」の状態にわけられることが知られています。 市販の標準品である「Cu2O」「CuO」「...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価

Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出

Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 （クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。）...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】走査イオン顕微鏡によるCu表面の結晶粒観察

金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です

anning Ion Microscope：SIM）は固体試料にイオンビームを照射し、発生する二次電子を検出する手法です。二次電子は各結晶粒の結晶方位に応じたコントラストを生じるため、SIMによってCuやAlなどの金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を簡便に得ることが可能です。本資料では測定例としてCu表面をSIMによって観察した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Cu表面の酸化状態の定量

Cuスペクトルの複合解析

Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 以下、各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 （クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。）...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【EDSによる分析事例】Cuパッドの接合界面

各元素の分布を2次元的に見ることが可能！多層状の試料の分析の際にも有効…

Cuパッドの接合界面におけるEDSによる分析事例をご紹介いたします。 金属間化合物の定性分析(点分析)と半定量分析では、各特性X線の強度 (カウント数)を調べることで含有元素の濃度を算出。金属間化合物等は 算出された濃度比により、形成された化合物を推定することが可能です。 また線分析では、SEM画像で指定した線状の各元素の濃度分布をプロファイル することができるため、分析箇所の元素濃度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

フレキシブル基板（FPC）のEBSD解析

屈曲部の配線に歪みが蓄積している個所などが分かる、EBSD解析をご紹介…

フレキシブル基板（FPC）のEBSD解析をご紹介します。 可動部や折り曲げ機構がある製品に使用されるフレキシブル基板について、 屈曲部と固定部でCu配線に違いがあるかEBSDによる確認を実施。 その結果、光学像では屈曲部と固定部の配線に顕著な異常や差異は 確認できないが、EBSD解析では、屈曲部の配線に歪みが蓄積している個所や、 小傾...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【EBSDの事例】2つの黄銅材を比較

結晶構造の違いをもとに、2つの試料の差異を可視化！EBSD分析の事例を…

似たような元素組成をもつ2種類の黄銅材について比較を行った事例を ご紹介いたします。 SEM-EDXでスペクトル分析を行ったところ、黄銅は主としてCu(銅)とZn(亜鉛) から成り、両試料の元素組成は比較的似通っているように見えました。 また、EBSD分析を行い相マップを確認した結果、試料1の⼀部に結晶構造の 異なるβ相が見られました。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【分析事例】プラスチック製グリル表面の欠陥調査

何らかの原因でCuメッキが異常成長！その上にNiメッキが施されたと推察…

当社で行った、プラスチック製グリル表面の欠陥調査についてご紹介します。 表面観察では、欠陥の一部は表面から伸びており、その伸張した突起物が もげたと思われる跡が認められ、その跡の中心はCuでありその周囲にNiを検出。 断面観察では、Cu部内の空孔は大きく、欠陥直下および欠陥の極近傍の Cu/プラスチックに間隙があり、この間隙部からC（Mg,Si）が検出されました。 結果...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

【分析事例】微小ビアのイメージ分析

微小領域の分布評価が可能です

F-SIMSは元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時にできることや、イメージ分析が可能なことから、出来ばえ評価に有効な手段です。 本資料では、Si基材に設けられた0.5μmφ程度のビアに、Cuを充填したサンプルを分析した事例を示します。正イオン分析結果より、CuおよびSiの分布が確認できました。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：LSI・メモリ・電子部品 分析目的：組成分布評価...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

考古学・地球科学・地質学に中性子放射化分析サービス

中性子放射化分析は多元素を同時に正確に定量分析できます。 土壌・鉱物…

, Ru, Sb, Sc, Se, Sm, Sn, Sr, Ta, Tb, Te, Th, Tm, U, W, Yb, Zn, Zr B)　短時間の照射で分析可能な元素： Al, Ca, Cl, Cu, Dy, I, In, Mg, Mn, Na, Rh, Ti, V C)　DNAA法（短時間照射）： U ◎詳しくはPDF資料をご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エナテック 東京本社

【分析事例】加熱による試料表面での金属元素の化学状態分析

2 種類の金属箔を XPS 装置内で加熱し、加熱による金属元素の化学状…

【分析試料】 (1) Cu 箔：大気中で加熱して変色させた Cu 箔を分析に供しました。 (2) Ag 箔：大気中腐食により変色した Ag 箔を分析に供しました。 【分析方法】XPS 分析 XPS；単色化 AlKα線（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネカテクノリサーチ 　　　　　　　　　　　　　　　本社、東京営業所、名古屋営業所、大阪分析センター、高砂分析センター

ご希望者全員プレゼント！表面分析の基礎と受託分析事例

〈XPS・TOF-SIMS〉 表面分析とは何か・表面分析の種類等、基…

　■各手法の詳細情報 　　　・XPS　X線光電子分光法 　　　・TOF-SIMS　飛行時間型二次イオン質量分析法 　■分析事例 　　　・XPSによるSiC表面の状態・膜厚評価 　　　・Cu表面の酸化状態の定量 　　　・XPS多点測定による広域定量マッピング 　　　・XPSによるDLCの評価 　　　・リチウムイオン二次電池におけるLiの結合状態別定量 　　　・プラズマ処理による...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［IP法］Arイオン研磨加工

IP法は、研磨法の一種でイオンビームを用いて加工する方法です

カードエッジコネクタについてIP加工後、反射電子像観察を行いました。 IP法と機械研磨法で作製した断面の反射電子像観察を行いました。 IP法ではCu結晶粒が明瞭に観察され、研磨キズもありません。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

銅端子の断面観察とSEM/EDXによる元素分析

圧着端子の接合部状態や接合方法、部材の種類を調査！断面観察及びSEM/…

抵抗測定用銅圧着端子治具の接合部について断面作製を実施し、作製した断面に ケミカルエッチングを施し、エッチング前後で金属組織を観察。 その結果、検出元素が、P(リン), Ag(銀), Cu(銅)であることから、銀入りの りん銅ロウ付け材であると推察します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走…

デポジション薄膜形成が可能（C・W・Ptの成膜） ・高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM（Scanning Ion Microscope）像観察が可能 ・SIM像で金属結晶粒（Al, Cu等）の観察が可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【検査機器の新規導入】　発光分光分析機（成分分析機）

最短半日見積り／成分分析機を使用し、鋼材の確認や保証を致します。

溶接部分の確認（溶接材に使われている材質が正しいか確認）をする etc... 測定可能元素 炭素(C)、窒素(N)、チタン(Ti)、リン(P) 、ニッケル(Ni)、硫黄(S)、ホウ酸(B)、銅(Cu) コバルト(Co)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)、錫(Sn)、亜鉛(Zn)、鉛(Pb)、鉄(Fe) 多様な元素の測定が可能です。 まずは検査に関するお悩みをお気軽にご相談ください...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

【分析事例】微小部XRD分析による結晶構造評価

微小領域のXRD測定が可能

照射X線をΦ400μmに絞ってXRD測定を行うことで、面全体ではなく所定の領域を狙って結晶情報を取得した事例をご紹介します。 プリント基板サンプルのXRD測定の結果、測定箇所（１）～（3）全てでCuとBaSO4が検出され、電極である測定箇所（１）ではAu由来のピークが検出されました。XRFによる測定結果とよく一致しています。 このように組成や結晶性の異なる数百μmの領域を狙って結晶構造を同定...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

エッチング処理による金属間化合物の観察例

奥方向と表面から化合物の状態を観察！加⼯、前処理、観察⼿法や組み合わせ…

なることがあります。 はんだの接合部を断面から2次元で観察することがあるかと思いますが、 3次元的に化合物がどのように成長しているか疑問に思われたことは ありませんか。 当資料では、Cuパッドとはんだの接合部の観察例をご紹介。 「断面観察」と「平面観察」を掲載しております。 【掲載内容】 ■断面観察 　・エッチング処理前 　・エッチング処理後 ■平面観察 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【分析事例】プリント基板からの溶出成分の分析

液体試料中の陽イオン成分の分析が可能です

日常の様々な場所で電子機器が使われるようになり、製品の信頼性確保が重要となっています。 プリント基板は高温・高湿度の環境で、配線に用いられているCuがマイグレーションを起こして不良となることが考えられるため、マイグレーションを助長する成分を評価することが重要です。 本事例ではイオンクロマトグラフィー（IC)を用いて、プリント基板から溶出した陽...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】はんだ合金中の添加物面内分布評価

ppmレベルの添加物の分布を高感度に評価可能

端末などの電子機器に用いられる鉛フリーはんだの接合部には高い耐衝撃性が求められています。 この課題を解決するため、Niなどの元素を微量に添加したはんだ合金が開発されています。本資料ではSn-Ag-Cu系の鉛フリーはんだに、微量のNi、Geが添加された5元系はんだと、添加物無の3元系はんだについて、高感度分析を得意とするD-SIMSのイメージングにより面内分布を比較した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】300mmウエハ最表面の異物の評価

異物検査装置との座標リンケージ機能で特定異物の評価が可能

異物検査装置で確認された異物の成分をクリーンルーム設置のTOF-SIMSで特定することが可能です。 CMP洗浄後の異物を評価し、着目の異物から、Cuと炭化水素成分を検出しました。異物周辺には、広範囲で同じ成分が分布していました。このことから、この異物はパーティクルというよりはむしろ、ウォーターマーク状の洗浄残渣であると推定されます。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】顔料・色素の分散の観察

TOF-SIMSによるミクロンオーダーのイメージ測定

ポリエチレン表面に分散した青色色素「Cuフタロシアニン」の分布を調べました。 TOF-SIMS分析にて、1μmの色素系有機物の分布を捉えることが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

フリップチップ実装受託サービス

フリップチップ実装受託サービス

【フリップチップ実装とは？】 フリップチップ実装とは、ベア･チップ表面上の電極パッドにバンプ（Au、半田、Cu等）と呼ばれる金属突起を形成し、チップをフリップ（裏返す）することで、実装基板のパッド部とチップバンプ部を接続する実装工法の１つです。 従来のチップ表面パッド部をワイヤー（Au,Al等）により基板...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェル

［SIM］走査イオン顕微鏡法

高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能

・高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能 ・SEM像に比べてSIM像の方が極表面層の情報が得られる ・金属結晶粒観察が可能（Al, Cu等) ・分解能はSEM像より劣る（SIM：4nm, SEM：0.5nm） ■MST所有装置の特徴 ・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が可能 ・FIB（集束イオンビ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

EPMAによる薄膜の膜厚分布測定

極小領域の膜厚測定が可能に！電子線照射時に発生する特性X線の強度から膜…

【測定事例】 ■Si基板上のCuスパッタ膜 ■ステンレス板上のAu薄膜 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

室内中のコンタミ分析サービス

ご要望に合わせたコンタミ物質の評価方法を提案します！

ど、ご要望に合わせたコンタミ物質の評価方法をご提案。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【試験対象物質】 ＜試験項目：対象成分＞ ■金属元素：Na、K、Al、Si、Ca、Fe、Cu、Ni、Zn など ■酸性ガス：F-、Cl-、NO3-、NO2-、SO42-など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社環境アシスト

【FIB試料調整用試料台】Fine Gridシリーズ

高精度、極薄形状のグリッドにより高精度な試料分析をサポートします。

5pcs／セット 　※数値は測定値であり、保証値ではございません。 【SGシリーズ】 　■SG-002Mo　・材質：モリブデン 　■SG-003Ni　・材質：ニッケル 　■SG-003Cu　・材質：銅 　■SG-003Ti　・材質：チタン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ウインセス株式会社

【非破壊】蛍光X線分析装置による『材料識別（PMI）検査』

溶接材料の選定ミスや溶接後の不良にお悩みの方必見！溶接試験事例集プレゼ…

溶接試験事例集』プレゼント中！ 【適用対象】 ■炭素鋼、低合金鋼、ステンレス鋼などの鉄鋼材料 ■インコロイ、ハステロイ、インコネルなどのNi基合金 ■純銅、黄銅、青銅、洋白、モネルなどのCu合金 ■その他、Ti合金やCo基合金など ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： コベルコ溶接テクノ株式会社

【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

配線材料として用いられる銅（Cu）は空気中で酸化膜を生じますが、保管環境の違いによる膜厚の差を評価した事例をご紹介します。アルミホイルで包んだ銅（Cu）と、ビニール袋に入れた銅（Cu）をそれぞれ40日間保管し、TOF-SIMSにて...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】AES・SEM-EDXによるCu表面変色部の評価

SEM観察を行いながら検出深さの浅い元素分析が可能

く浅い領域（4～5nm程度）の情報が得られるAES分析が有効です。 MST保有のAES装置はSEM像を取得できるため、SEM像で着目箇所の確認をしながらAES分析を行うことが可能です。本事例では、Cu表面に存在する変色部をAES分析とSEM-EDX分析で評価し、比較したデータをご紹介します。また、AES深さ方向分析を行った結果を併せてご紹介します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SEMとSIMによるCu表面の二次電子像の比較

着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です

を行う手法です。一次プローブの違いによってコントラストの現れ方や空間分解能などの違いがあり、着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です。本資料では2手法の比較をまとめるとともに、測定例としてCu表面を観察した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

顕微ラマンによる無機化合物の分析

金属酸化物などの無機化合物の分析も可能！銅張積層板表面の黒点分析をご紹…

能です。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【分析内容】 ■銅張積層板表面の黒点分析 ・表面に僅かな変色が見られる ・拡大すると黒い染みのような状態が見られる ・変色部からCuOのスペクトルが得られた ・変色の正体は銅表面に発生した銅の酸化物であると考えられる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

医学・薬学分野に中性子放射化分析サービス

中性子放射化分析は多元素を同時に正確に定量分析できます。 各種成分・…

, Ru, Sb, Sc, Se, Sm, Sn, Sr, Ta, Tb, Te, Th, Tm, U, W, Yb, Zn, Zr B)　短時間の照射で分析可能な元素： Al, Ca, Cl, Cu, Dy, I, In, Mg, Mn, Na, Rh, Ti, V C)　DNAA法（短時間照射）： U ◎詳しくはPDF資料をご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エナテック 東京本社

中性子放射化分析サービス

少量の試料で濃度の範囲が広いppmまたはppb(標準でppm)のレベル…

, Ru, Sb, Sc, Se, Sm, Sn, Sr, Ta, Tb, Te, Th, Tm, U, W, Yb, Zn, Zr B)　短時間の照射で分析可能な元素： Al, Ca, Cl, Cu, Dy, I, In, Mg, Mn, Na, Rh, Ti, V C)　DNAA法（短時間照射）： U ◎詳しくはPDF資料をご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エナテック 東京本社

【事例紹介】Li-S電池用のグラフェン材料調査

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

ルフィドの硫黄数と吸着エネルギーの関係性などを比較しました ◎求められた物性値の考察 ・様々なLi2Sn/AMのPDOSとエネルギーを示しました ・調査した各種金属のうちCr、Fe、Mn、Cuが使用された場合にはポリスルフィドとCo-N4/graphene間には強い相互作用があること、 ポリスルフィドの鎖長が短くなればより相互作用が強まることが観察されます 【製品特長】 ■「...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【分析事例】CIGS太陽電池の各層の相互拡散評価

表面の凹凸の影響を受けない高精度な測定が可能です

Oなどが拡散しているように見えます（図3）が、基板側（裏面側）から測定することにより、Cd, Zn, OなどのCIGS層中への顕著な拡散がないことがわかります。（図4） 相互拡散の他にも、主成分（Cu, In, Ga, Se）の組成変化、不純物（B, Na, Fe）の濃度分布の評価が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST