MEMS | イプロスものづくり

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム（オプション）超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【新製品】エアリークを可視化ですぐに検知！産業用超音波カメラ

PR圧縮空気・ガスの漏れの「見える化」圧縮エアー・ガスのリークを可視化す…

・圧縮空気・ガスの漏れの「見える化」圧縮エアー・ガスのリークを可視化することで、すぐにピンポイントでガス漏れを画面上に表示することができます。高所や大きな配管の継手等、通常のガス検知器では難しい場所のリークも検知できます。ガス種は関係なく、可燃性ガス、蒸気のリークも検知できます。・見やすく操作しやすいディスプレイ 7インチのタッチスクリーンにより、簡単操作でリークを発見できます。周波数範...

メーカー・取り扱い企業：サニー・トレーディング株式会社営業本部

MEMS受託～開発から量産まで一貫対応～

微細加工、機能薄膜、接合封止、ウエハプロセスからパッケージングまで対応

時計生産で培った微細加工をベースに、MEMS・機能薄膜・パッケージング技術を合わせたソリューションを提供できます。医療・半導体・情報通信・航空宇宙などの幅広い分野に貢献しています。アンカー効果で狙った位置に好適な形状で検体を保持...

メーカー・取り扱い企業：シチズンファインデバイス株式会社

MEMSテストハンドラ『ULTRA P』

MEMSデバイスの測定に好適！温度環境下測定にも対応

『ULTRA P』は、加速度センサー、ジャイロセンサー等MEMSデバイスのファイナルテスト用に開発されたハンドラーです・独自の搬送方式を用いることで最大96サイトの同時測定数を実現し、低温・高温測定、6DOF（3ポジション、3軸ジャイロ）の測定...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テセック

三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ

研究開発から、小LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」…

　株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスのスタンダード量産機である「BSシリーズ両面同時露光マスクアライナー」といった手動型の露光機をはじめ、小ロット多品種から量産まで対応した半自動の「セミオートマスクアライナー」や全自動の「フルオートマ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三明本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

MEMS量産ソリューション

スウェーデンSilex社との提携により、MEMS試作から量産まで一貫し…

〔特徴〕・MEMS専用8インチフルライン工場・自社製品を持たないピュアファウンドリー・独自貫通Via技術有・スパッタ法によるPZT膜生産技術を確立...

メーカー・取り扱い企業：株式会社協同インターナショナル

超ファインピッチに対応する検査用プローブ！『MEMSプローブ』

≪超ファインピッチに対応する検査用プローブ≫微細加工から検査までの自動…

『MEMSプローブ』は、マイクロプロセッサや、アプリケーションプロセッサ等の、半導体ウエハ検査に最適なMEMSプローブです。本製品は、独自構造により低抵抗・低インダクタンスを実現します。また...

メーカー・取り扱い企業：ニデックアドバンステクノロジー株式会社

MEMSピン　使用用途大募集！

【使用用途大募集！】MEMS（微細な）ピンの提供が可能！＜直径0.03…

線細線技術』、『熱処理技術』、『直線加工技術』、『先端加工技術』 70年以上に渡り培ってきたノウハウとアイディア、アナログにこだわる匠の愛情を結集し、直径0.030mm、長さ0.600mmのMEMS（微細な）ピンを作る事が可能となりました。＊実績値として＊直径　：　0.030mm　公差±0.001mm 長さ　：　0.600mm　公差±0.0015mm 【取扱材料】 ▪タ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社トクサイ本社

サービス紹介『MEMSファンドリーサービス』

MEMSデバイス試作から量産まで！お客様の未来創りをMEMS技術でお手…

シリコンセンシングのMEMSファンドリは1999年創業以降の自社MEMSジャイロセンサの生産実績を生かし、お客様のニーズにお応えしたMEMS開発・生産受託を行います。 PZT圧電薄膜、Si深掘りエッチング、ガラス加工、ウエ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン

『ベアチップ・LED・MEMS』の試作・小ロット量産

ワイヤーボンディングは、基板1枚、ワイヤー1本からなんでも対応します！

当社では『ベアチップ・LED・MEMS』の試作・小ロット量産を承ります。ワイヤーボンディングは、基板1枚、ワイヤー1本からなんでも対応いたします。 ACFの調達も可能です。またベアチップの各種実装では、モジュール化や...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イングスシナノ

MEMS受託加工サービスとミニマルファブについて

WF加工、テストWF作成、貫通配線基板加工など！EB露光、DRIE、 …

当社は、半導体加工で培った豊富な知識と経験を基に、EB露光、DRIE、陽極接合をはじめとした各種MEMS（Micro Electro Mechanical Systems〈微小電気機械システム〉）加工受託サービスをご提供しております。開発品加工、要素技術加工、Si深堀エッチング、各種成膜など幅広...

メーカー・取り扱い企業：株式会社M.T.C

『MEMSパッケージ』

シーム溶接機を保有し、MEMSなど気密封止が必要な試作・量産に対応しま…

『MEMSパッケージ』シーム溶接機を保有し、MEMSなど気密封止が必要な試作・量産に対応するサービスです。お客様から仕様書や図面をいただければ、パッケージの設計から部材調達、実装から出荷まで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イングスシナノ

MEMS・半導体パッケージ用塗布装置

最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに…

ウエハレベルCSP用／ TAB用／COF用など、広範な生産技術に対応。・面内均一性に優れ、50nm ～ 100μmレベルの薄膜・厚膜形成が可能・塗布事例：薄膜・厚膜・凹凸・貫通穴への精密コーティング・装置の販売及び実験、受託テストも行えますのでお客様の用途、環境に合わせてご提案致します。【スピンレス塗布装置】ウエハ・ディスクなどの円形基材に塗工液を無駄にせず非接触で一括塗工...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

MEMS開発プロセス装置

MEMS開発ツール・精密アライメントのナノテック

『MEMS開発プロセス装置』では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「片面マスクアライナー」や、両面プロセスのローコストアシストモデル「正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスのスタンダード量産機「両面...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノテック

MEMS開発ツール

ナノテックのMEMS開発ツール製品情報です。

『MEMS開発ツール』では、標準片面マスクアライナーや、試料裏面観察アライナーの「マスクアライナー」、UVナノインプリンター・マイクロコンタクトプリンターの「インプリント」、スプレーコーター「コーター」、オ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノテック

MEMSに欠かせない技術『精密電鋳』解説資料 ※用語集付き

プリンターヘッド、自動車、携帯電話等で使われる加速度センサーやミラーデ…

精密電鋳技術は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の構成要素となる微小機構部品を製作する手法のひとつです。写真製版(フォトリソグラフィ)技術によって作られた微細なパターンに、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オジックテクノロジーズ

PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(前工程向け)

ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界…

5GHzのマイクロ波で励起された高密度のプラズマと、イオンの運動エネルギーを抑制することで、ダメージレスのプロセス結果を得ることができます。ウエハープロセスにおけるアッシング、レジスト剥離、MEMSなどのSU-8レジストアッシング、デスカム処理、基板の表面クリーニングや表面活性化など、幅広いアプリケーションに対応できるよう設計されております。...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

【技術者必見!!】MEMS関連　フォトエッチング技術資料集

技術開発が進むMEMS関連の研究開発に役立つ情報を集約した技術資料集を…

さまざまな応用分野での活躍を期待されるフォトファブリケーションやマイクロマシーン技術を中心とするMEMS。その加工技術や、応用技術を多数掲載した『技術資料集』を一挙公開いたします。 MEMSや表示デバイス基板等における要素技術である『フォトエッチング』、Siウエハー上に形成された回路を正確...

メーカー・取り扱い企業：豊和産業株式会社

インクジェット技術『PrecisionCoreテクノロジー』

シリアルヘッド方式やラインヘッド方式が可能！商業・産業領域などに高速か…

刷速度を大幅に向上させながらも高画質な印刷を実現し、使用できるインクや印刷可能な素材の幅を大きく広げます。エプソンが長年にわたって培い、蓄えてきたインクジェット技術と経験に、高精度MEMS加工技術や薄膜ピエゾテクノロジーなどを融合。インクジェットプリンティングの水準を新たなレベルまで引き上げます。【特長】 ■印刷速度を大幅に向上 ■高画質な印刷を実現 ■使用できる...

メーカー・取り扱い企業：エプソン販売株式会社 IJSMD課

Druck 半導体製品の圧力校正試験の自動化に

半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントロ…

【MEMS圧力センサの校正検査工程の自動化に】現在高需要の車載圧力センサ。ドラックの圧力コントローラPACEでエンド・ライン検査を効率化しませんか？試験を自動化することで生産コストが各段に削減できます。...

メーカー・取り扱い企業：日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　（旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

シストナビ社　サービス概要　パターニング加工　研究開発・実験・試作・外注量産　

アシストナビ社の『パターニング加工』

afer Foundry 8,12インチデバイスラインにて各プロセスの加工をアシストします。 <代表的な加工設備> ・スパッタ・ＣＶＤ・ＫｒＦ／ＡｒＦ露光、イオン注入、CMP等 ■MEMS-wafer Foundry MEMSデバイスラインにて各プロセスの加工をアシストします。 <代表的な加工設備> ・スパッタ・ＣＶＤ・ＫｒＦ／ＡｒＦ露光、イオン注入、CMP等 ■S...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アシストナビ

圧倒的な高品質を実現するエプソンのコア技術とは

「薄膜ピエゾテクノロジー」をはじめ「MEMS 技術」や「超高精度組み立…

ントヘッドは、インク吐出の原動力となるアクチュエーターに、素材・製法から自社開発し製造する薄さ1μm薄膜ピエゾを搭載。小型でありながら精緻なインク吐出性能を有しています。この他、「MEMS 技術」は小型・高密度ノズル化ができ「超高精度組み立て技術」ではリーンルームやロボットによる自動化、画像解析による自動検査などにより、高い品質を安定して実現します。【特長】＜薄...

メーカー・取り扱い企業：エプソン販売株式会社 IJSMD課

メムス・コア　MEMS用最新ダイシング加工

新世代ＭＥＭＳ製品の開発・製品化を進めております

ステルスダイシング加工技術では、MEMSウェハやLSIウェハを、「切りシロ」なく、「ドライプロセス」でチップに分割することができますので、従来のダイシング法にない多大な効果が期待できます。特に脆弱構造を持つＭＥＭＳデバイスの開発にあた...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メムス・コア

超高感度質量分析装置　WATMASS－MPH DAシステム

【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの…

を組み合わせた新しい発想の質量分析装置です。弊社の超微量ガス分析装置『WATMASS－MPH システム』では破壊及び、リーク量（10＾-15Pa・m3/s 以下）の計測が可能です。 MEMSやライフサイエンスデバイス、あるいは半導体などの封止デバイスに！ ★デバイス評価・材料評価など各種受託質量分析（ガス分析）も承ります★ 【特長】 ■超高感度 0.2%BeCu合金製ガ...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

高輝度大電流LED向け放熱基板『エムメムス基板』

微細な三次元MEMS構造をめっきで実現！高放熱性を実現し、大電流にも対…

『エムメムス基板』は、独自のめっき技術とMEMS技術を融合し、さまざまな電子デバイスに対応する高輝度大電流LED向け放熱基板です。微細な三次元MEMS構造をめっきで実現。半導体フォトプロセスにより、パターン幅数十μm～の垂直微細...

メーカー・取り扱い企業：共和産業株式会社

スパッタリング装置FHR.Star100-Tetra-Co

FHR Star.100-Tetra CoはMEMSや高機能光学製品向…

制御することで成膜コントロールすることが可能です。また、ソースと基板の距離も制御が可能です。これらの制御はプログラムによりオートコントロールされることで最適な成膜を実現しています。主用途：MEMS製品や高機能光学製品製造寸法 (L×W×H)： 2.3 m× 1.3 m × 2.1 m 重量(ロードロック付の場合) ：1,700 - 2,000 kg 最大基板サイズ：直径150...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

スプレーコーター

立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応！水や低粘度液体から高粘度液体ま…

などの薬液をガラス材に均一にスプレーする用途にも好適です。【特長】 ■微細な凹凸に塗布が可能 ■低粘度から高粘度の薬液に対応 ■数μmから数百μmの膜厚に対応 ■立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社三明本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210

MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！

スプレーコーター　立体レジスト塗布装置 DC110/DC210は、はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ーです。微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、台形や直角頂点部といった従来のスピンナーで塗布が困難であった部分に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノテック

『電鋳による新たな可能性』

MEMS部品から医療部品まで、電鋳による可能性を紹介！

GDLAB/電鋳・表面改質技術研究所では、半導体・電子部品、接点・接触子、機械部品、フィルター、光回路、パイプ・スプリング等をMEMS関連技術により製作します。試作例として、光造形でマスター造形し、シリコンゴムでレプリカを作成する「MEMS Micro Connector」や、レジストと電鋳技術を用いた成形法の「...

メーカー・取り扱い企業： GDLAB合同会社

サンドブラスト

アルミナ等の超微粒子を吹き付け、微細な切削加工を行う事が可能！

MEMSにおける3次元微細加工において、アルミナ等の超微粒子を吹き付ける事により、微細な切削加工を行うことが出来ます。ガラス基板やSi基板に専用のドライフィルムレジストにて微細なパターンを形成し、サンドブラストにて溝形成や穴加工を行います。また3次元測定機での計測・評価も可能です。一枚からの試作に対応いたします。高アスペクト比のパターニングが実現しました。ミクロン、ナノメートルオーダーの溝や穴加工が可能...

メーカー・取り扱い企業：豊和産業株式会社

株式会社ナノテック　『会社案内』

“ナノテクの世界を創造する技術開発型企業”株式会社ナノテック

株式会社ナノテックは、半導体製造装置（マスクアライナー、スピンナー、デベロッパー、洗浄機）、MEMS（マイクロマシン）の研究開発、各種ツールの開発・製造などをおこなっております。専門分野は、光学関連精密機械（開発設計、機械加工、組立製作、販売）、産業分野は半導体製造装置、精密機械、光学器械MEM...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノテック

水晶発振器センタリング組立セル

作業者によるバラツキを排除できる！

◆SSEの発振子関連装置 MEMS・発振子・圧力-加速度センサ　用両面アライナ MEMS・発振子・圧力-加速度センサ　用コーターデベロッパー MEMS・発振子・圧力-加速度センサ　用センタリング組立セル MEMS・発振子・圧...

メーカー・取り扱い企業：三和システムエンジニアリング株式会社