異物混入リスクを低減できる減圧弁＜FOOMA JAPAN出展＞

PR「FOOMA JAPAN 2024」にサニタリー減圧弁（接液部に摺動部…

-サニタリー減圧弁- 当社では、ピュアスチーム・クリーンスチーム用の減圧弁を提供しています。 液溜まりの無い構造でサニタリー性が良いほか、 接液部には摺動性がないため、異物混入リスクを低減できます。 【仕様】 ■作動方式：直動式　■本体材質：SUS316 ■接液部仕上げ：バフ＃320～400＋電解研磨 ■サイズ：15A～3S　■設計温度：158℃ ■設計圧力：0.5MPaG　■...

メーカー・取り扱い企業： トーステ株式会社

耐摩耗鋼板HARDOXで生産性向上をご提案☆2024環境展に出展

PR私たちはHARDOXを加工するプロフェッショナルです！耐摩耗性に優れた…

◆2024NEW環境展に出展します◆ 日時：2024年5月22日（水）～24日（金）10:00～17:00 会場：東京ビッグサイト（ブース番号：東２ホール　A-220 ） HARDOXとはスウェーデンの特殊鋼メーカー　スウェーデンスティール社で製造販売されている耐摩耗鋼板です。 耐摩耗鋼板HARDOXは熱処理なしで硬度が高いのが特徴です。その為、研削材の尖った角が素材に食い込みにくく、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社共和工業所

GIMATIC　VAQ：【低摺動・長ストローク】真空シリンダー

真空源１つで、吸着とシリンダーロッドの伸縮動作の2つの仕事を完結できる…

•真空でのみ操作されます。 •拡張と格納の動作は自動的に起動されます。 •ストロークは自己調整されます。 •アンチローテーションロッド用のVAQNのオプション。 •吸着カップ 1 は、別途注文する必要があります。 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： リンケージ株式会社 東京オフィス

ピラニゲージ（Niフィラメント）『M-351PG』

再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応し…

ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

成膜装置向け電源（DC・RF・EB）　ラインナップ

装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック！高信頼性の成…

株式会社アルバックでは、プラズマ負荷に最適な DC電源「DPG-10/DPG-20」をはじめ、高効率RFアンプの搭載で 小型・軽量化を実現した RF電源「RFS-N シリーズ」など、 成膜装置向け電源を用途に合わせたラインナップで取り揃えております。 【ラインナップ】 ■DC電源「DPG-10/DPG-20」 ■EB電源「HPS-Nシリーズ」 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

アクティブファインバッファ AFB-RBシリーズ

オールインワンで多連ヘッドを小形軽量に。

バッファ力(N)：0.5±0.2、1.0±0.2 バッファストローク(mm)：3、6...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

非接触真空パッド　SBS

プリント基板・シリコン型太陽電池・液晶基板・包装資材等の搬送に好適！

「非接触真空パッド　SBS」は、プリント基板、硝子基板、ベニヤ板、シリコン型太陽電池、液晶基板の搬送、紙袋・その他包装資材の2枚取り防止に適した新型搬送機器です。 保持力2.0N～104.0Nの6タイプをご用意しております。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： シュマルツ株式会社

【世界初】電池不要の回転式・真空保存容器『ターン”エヌ”シール』

「密封」とは違う「真空」保存の実力！　酸化・腐敗・湿気を長期間防ぎます…

「ターン”エヌ”シール　Turn-N-Seal」は真空保存容器の常識を変えます。 食品等の鮮度や風味を長持ちさせたい。 でも食品は刻一刻と酸化や腐敗、湿気など劣化していきます。 例え密閉性の高い容器でも空気が存在すると劣化し...

メーカー・取り扱い企業： 三友株式会社 産業資材本部

真空パージ雰囲気焼戻し炉『NVPTシリーズ』

N2ガスパージで光輝処理が可能な真空熱処理炉

『NVPTシリーズ』は、真空パージ後N2ガスを大気圧直下まで封入し 対流加熱を行うため、酸素、水分などの存在がなく光輝処理が可能な 真空パージ雰囲気焼戻し炉です。 本製品はオプションで高真空仕...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IHI機械システム 本社　セールスグループ

流速・流量計測機器　ピトー管式流速・流量計システム FV-21

配管抵抗の小さなピトー管を用いた 経済的な流速流量計システム。

【製品の特長】 ○計測値の移動平均時間の設定が可能　0～18秒 ○流速及び流量表示桁の設定が可能　小数点位置を0～3桁で選定（例 0.000m3N/h） ○流量出力スケーリングの設定が可能　（例 0～300m3N/h→DC4～20mA） ○流量補正演算の標準状態を0°C状態、20°C状態の設定可能（m3N/h、m3N/min時） ○温度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所

導入事例　　KENOSグリッパー　爪付き仕様

段ボールも網目のパレットも1 つのハンドでデパレタイズを実現！

弊社製品のKENOS グリッパーシリーズは、数多くの「段ボールとパレットを１つのハンドでハンドリング をしたい」という要望を実現してきました。しかしながら、樹脂製のパレットは吸着可能面がすくないため 吸着ができ...

メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社

真空導入機構『トランスファーロッド／回転導入器』

超高真空対応で回転防止機構のあるトランスファーロッドや、ベローズ式回転…

ンアップ】 ■トランスファロッド「HFTR-300/450/650」 　・超高真空対応（ベアリング軸受け） 　・回転防止機構/遠隔操作機構（オプション） ■ベローズ式回転導入器「HBR-34N」 　・コンパクト設計（外径45／全長126.5mm） 　・非磁性構造（SUS/AI） ■磁気結合型回転導入器「HMR-34N」 　・コンパクト設計（外径35/全長100mm）シャッタ機構に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

真空グリッパー専門ブランド『GriPalm(グリッパーム)』

軽くても丈夫！真空チャンネルが内蔵された使い易いグリッパーを開発しまし…

グリッパーを開発。 ワークピースの形、素材及び作業現場の状況に合わせたグリッパーの設計及び 製作サービスを提供します。 【標準真空吸着グリッパーのラインアップ】 ■HG-1C-30N ■HG-1L4C-30N ■HG-2L4C-30N ■HG-2L6C-40N ■HG-2L8C-40N ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大昭産業株式会社

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

、CCW可能） →最低設定速度：0.01m/min ○テンションコントロール →巻き径、基板厚さの設定値により計算した値にてテンションをかける →トルクはフィードバック制御にて行う →10N～150N/m巾に対する値を自動計算し、設定 ○真空槽系 →材質：SUS304 →サイズ：W700×H1030×D800　前面開閉扉 ○機材送り機構 →回転速度可変用サーボモーター →巻...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士アールアンドディー

高圧加圧ガス冷却横型真空炉『RQシリーズ』

幅広い冷却ガス圧に対応する真空熱処理炉

・真空加熱：540℃～1280℃（1320℃） 　・対流加熱：～850℃（オプション仕様） ■到達圧力：7mPaより高真空 ■排気速度：大気圧から15mPaまで15分以内（脱ガス、空炉、常温、N2ガスパージ状態より排気） ■昇温時間：常温から1150℃まで40分以内（空炉、真空、制御T/C温度） ■冷却時間 　・1150℃から150℃まで12分以内（空炉、N2ガス、260kPa、ガス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IHI機械システム 本社　セールスグループ

真空機器　ホーシンブロアー RBシリーズ

【デモ機貸出中！】「高品質」・「即納体制」・「低コスト」と三拍子揃った…

モータ部) ○ あらゆる方向での設置が可能(RB20・30除外) 【製品ラインアップ】 ○RB20-510 ～ RB50-510-9（単相） ○RB10-520 ～ RB60-3-7N0-F（三相） ○RB80-4N0 ～ RB80-6N0-F（三相） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナカタニ

低差圧マスフローコントローラ　MC-3000S series

SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです

独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

水銀フリーに！デジタル真空計【デモ機有】

ガラス・水銀からデジタルへ。デジタル表示で一目で確認。モバイル電源（オ…

環境問題で、U字型真空計からデジル表示の真空計へ更新される企業様が増えています。 当社のデジタル真空計『NMV-104N/104C』は小型・軽量・低価格と3拍子揃っています。 0.1～101.3kPaの広い測定範囲と優れた分解能でU字型真空計の代替に好適です。 またガラス管の破損による水銀の飛散を防...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所

500mm幅ロールコーター（ウェブコーター）

R＆D向けウェブコーターです。PET等のフィルムにスパッタにより成膜し…

度（CW、CCW可能）最低設定速度0.01m/min 【テンションコントロール】 巻き径、基板厚さの設定値により計算した値にてテンションをかける。 トルクはフィードバック制御にて行う。 10N～150N/m　巾に対する値を自動計算し、設定。 【真空槽系】 材質：SUS304　サイズ：W700×H1030×D800前面開閉扉 【基材送り機構】 回転送度可変用サーボモーター 巻き取...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富士アールアンドディー

新真空熱処理炉『HV9』

型式：TITANH6！IoT制御システムや閉鎖型冷却システムなど搭載

重：1350kg ■冷却ガス：窒素、アルゴン ■加圧冷却：2Bar以上 ■パーシャルガス：窒素、アルゴン、水素 ■適用規格：AMS2750、AMS2769 ■計装タイプ：B(物体温度測定、N熱電対、3点以上) ■TUSポート：12点、N熱電対、ミニコネクター式 ■付属部品：外部ローダー(積み込み装置) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ファインテック

真空エジェクター： EJ-SLG-MEDIUM

【軽量・大真空流量】真空エジェクター / EJ-SLGシリーズ EJ-…

の直接組み込みのために軽量 • G3/8"真空ポート • 組み込み型サイレンサー • 真空ポートは、複数の真空接続（パッド・センサー） • エアー供給は、単一の供給接続 • VACSW-3N203-G (PNP) およびVACSW-3M203-G (NPN) 真空スイッチ、いずれかの事前配置が可能 • 2段および3段EJ-MEDIUM カートリッジで利用可能 (EJ-LP、EJ-HF...

メーカー・取り扱い企業： リンケージ株式会社 東京オフィス

真空貼り合せデモ機による試作評価に関するFAQ　真空貼合装置

真空貼合の試作評価をやってみませんか？

ですか ・実験室は温湿度管理できますか ・実験室は暗室になりますか ・どんな貼り合せ方式の試作評価ができますか ・ガラス以外の基板も対応できますか ・アライメントのレベルはどうですか ・N2雰囲気での真空貼り合せは可能ですか ・加熱を伴う真空貼り合せは可能ですか ・全面UV照射は可能ですか ・基板だけを送付して貼り合せサンプルの作製のみを頼めますか ・デモの予約はどうすれば良...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

クリスタルゲージ『M-320XG』

優れた再現性で測定が可能！熱源（フィラメント）を持たない真空計

【仕様（抜粋）】 ■測定球：XG-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用） ■測定圧力範囲：1×10^-2Pa～大気圧 ■Gas種選択：N2、Ar、H2、Air ■入出力コネクタ：Dsub 15P ■外形寸法（mm）：72.5H×102W×44.5D（ゲージヘッド含まず） ■質量：200g（ゲージヘッド含まず） ■所要電力：D...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空計測機器『ピラニ真空計 APG型』

薄型コンパクト、丈夫なセンサ、その上ローコスト！圧力コントロールへの応…

囲：1.0×10^-1～1.0×10^4Pa ■表示方法：7segLED赤色（仮数部2桁、指数部1桁） ■表示周期：0.5sec ■センサ形状 ・3種類から選択：円筒φ15mm、φ18mm、NW16フランジ ■センサケーブル長 ・4種類から選択：2m、5m、10m、20m ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所

周辺機器　計測チャンバー　KC-94

グローブボックス内にてグローブを使用して工具を使用しないで蓋ができます

ミニアンテチャンバーから取り出すために円筒形をしている（標準Φ94ｍｍ） ○グローブボックス内にてグローブを使用して工具を使用しないで蓋ができる ○グローブボックス内にて蓋をするのでチャンバー内部をN2環境下に保持 ○排気ポート（排気用バルブ付き、ベントバルブ付き）も承る...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

ライボルト社ターボ分子ポンプ

オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。 …

セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の 圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。 コントローラは、装置組込み用廉価版コントローラと、ラック型 コントローラがあります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

有機EL封止ライン（自動搬送タイプ）

グローブボックスに組み入れるなど、お客様のお要望に応じた装置を作製させ…

○真空貼合封止装置 ○ディスペンサー ○UV照射ユニット ○ホットプレート ○冷却プレート ○チャンバー内N2環境 ○基板搬送ロボット...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

ロールツーロール式真空成膜装置

試験研究に好適な小型ロールツーロール成膜装置！

【主な仕様】 ■成膜方式：DCマグネトロンスパッタリング（オプションにてRFに対応） ■基板搬送：ロールツーロール（張力制御付）、速度0.2~3.0m/min、 　　　　　　張力15~80N ■ローラー面長：140mm ■フィルム寸法：最大幅100mm、長さ100m（フィルム厚50μm） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： ユースエンジニアリング株式会社

スマートフォン対応ピラニ真空計『SWU10-U』

専用の電源やディスプレイは不要！お持ちのスマートフォンで手軽に真空計測…

一部）】 ■名称：スマートフォン対応ピラニ真空計 ■型式：SWU10-U ■測定圧力範囲：5.0×10＾-2 ～ 1.0×10＾+5Pa ■測定精度（大気圧調整ならびにゼロ点調整後の精度）（N2） ・1×10＾-1Pa ～ 1×10＾+4Pa：±10% ・5×10＾-2Pa ～ 1×10＾-1Pa、1×10+4Pa～1×10+5Pa：±20% ■繰り返し性 ・1×10＾-1Pa～...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

1軸/2軸トランスファーロッド

UHVチャンバー間でサンプルを輸送することを目的とした1軸サンプルトラ…

m） ■リトラクト⾧（YYYY） 　・標準：30mm 　・特注⾧(10-200mm ) ■駆動軸径（内側軸/外側軸） 　・φ8g6 (先端部：M4ネジ) 　・φ12h6 ■直進力：70N ■回転トルク：5Nm ■取付フランジサイズ：ICF70 ■べークアウト温度：200℃ ■圧力範囲：1-11mbar-1,000mbar ■構造材料：フルUHV適合 ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テク

その他各種真空装置

電子顕微鏡関連装置やガス量測定装置など！当社の真空装置他オーダー品をご…

合わせください。 【電子顕微鏡試料ホルダー保存装置 仕様】 ■ホルダー保存用マニホールド：6ヶ ■到達圧力：×10^-8Torr ■排気系：ターボ分子ポンプ（200L／sec　50Hz　N2） ■ロータリーポンプ（165L／min） ■ゲート弁、補助弁 ■電離真空計、ピラニー真空計、ガス導入バルブ、ベンディングデバイス付 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問...

メーカー・取り扱い企業： アトーテック　株式会社

バルブ『TOYOOKI真空バルブ』

chuhatsu真空装置専用の高性能真空バルブ！

長】 ■高応答ソレノイドと高速作動回路の組合せにより0.007秒の高速遮断を実現 ■圧抜き回路によるアクチェータ動作で高速作動を実現 ■油圧方式の採用により真空ラインの遮断力を強化(1,000N) ■chuhatsu製コントローラーによりタクト短縮が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中央発明研究所