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実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…
ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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CXコーティング 防水 防湿 生体適合性 無償コートも受付中
防水・防湿、絶縁、生体適合性などの性能を持ち合わせているCXコーティン…
CXコーティングは多機能高性能コーティングとして医療や電子部品の市場の製品を様々な要因から守ることが可能です。 ◆防水・防湿 弊社のラインアップのPPX単層膜とCXコート+SiO2の積層膜はどれも防水・防湿性能に長けています。特に弊社の技術であるPPXとSiO2を積層することにより、従来のPPX単層膜よりも400~1000倍の性能を持った優れものです。 ◆耐薬品性能 こ...
メーカー・取り扱い企業: オーエスジー株式会社グループ
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シリカコート トフマクにシリコーン、あるいはフッ素系の非粘着層を有する…
も有する事ができます。 トフマク前駆物質の有機溶媒溶液(基本は、キシレンorジブチルエーテル)を塗布液として用い、大気中で焼成することにより、大気の水分や酸素と反応し、高純度シリカ(アモルファスSiO2)膜が得られます。 塗布後溶剤が揮発すれば速やかに硬化し、比較的低温(100~150℃)の処理で、石英に匹敵する性質の硬い皮膜が得られます。 非常に薄い膜厚(2μm以下)が得られます。 1...
メーカー・取り扱い企業: 日東商事株式会社
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チャンバーなどの半導体製造装置部材のコーティングに!シリカコート
金属に高純度シリカガラスをコーティング!酸化が抑えられ耐食性が向上!金…
の特性が得られます。 例えば、金属にコーティングすれば、塩酸ガスなどに対してシリカガラスの優れた耐食性が得られます。 また、高温での金属の酸化も防ぐことが可能。 金属表面が合成石英並みのSiO2になることにより、メタルコンタミの問題を解決できます。 先進の半導体製造プロセスでは、微量の金属汚染が製品品質や歩留まりに大きく影響するため、チャンバー、チャンバー回りパーツ、フランジ類など...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社コンタミネーション・コントロール・サービス
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柔軟な対応と30年の実績!多岐に渡るご要望に応える、高機能受託加工サー…
【サービス紹介】 ■膜種 ・金属膜:Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、B、Ti、Y、Zr、Nb、Mo、Pd、In、Si、Ta、W、Sn、Pt など ・酸化膜:Al2O3、SiO2、TiO2、Cr2O3、In2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、Zr3O3、ZnO など ・炭化膜:SiC、TiC、WC、BC など ・窒化膜:AlN、BN、CrN、MoN...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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30年を超え、受託薄膜加工一筋!豊富な経験と確かな技術に培われた加工実…
■対応膜種 ・金属膜:Al、Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Mg、B など ・積層膜:Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr など ・酸化膜:Al2O3、SiO2、SiO、TiO2、Cr2O3、InO2 など ・炭化膜:TiC、SiC、BC など ・窒化膜:TiN、SiN、CrN、BN、AIN など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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素材に新たな特性を!各種材料による形成のニーズに応える表面処理受託加工
【サービス対象】 [膜種] ■反応性膜:SiO2、Al2O3、TiN、SiC、SiON 等 ■積層膜:Au/Ni/Cr//基板、Au/Pd/Ti//基板、SiO2/Al//基板 等 ■2元蒸着 :Au-Sn、Ag-Sn、Ni-Cr 等 [...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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真空蒸着は高真空中で金属や酸化物を加熱蒸発させて基盤表面にデポジション…
当社は昭和30年代から真空蒸着の技術確立を実施しております。 代表的な蒸着金属はアルミニウムで、ガラス基板やプラスチック成型品の表面にデポジションを行い更にその上に電子ビーム蒸着にてSiO2やTiO2等の酸化膜をコートしてリフレクター等の高反射ミラーとして利用されています。...
メーカー・取り扱い企業: 安達新産業株式会社 本社
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2重構造チャンバによるメンテナンス負荷低減と内容積のコンパクト化を実現…
成膜温度:400℃(600℃対応ヒータ開発中) ・基本構成サイズ:2160×890×1940mm プリカーサ本数:最大5本 【成膜応用事例】 Al₂O₃ TiO₂ HfO₂ ZrO₂ SiO2 Ta2O5 TiN Sin 他膜種も対応致します。 【ALD受託成膜サービス】 弊社、相模原事業部内のALD成膜装置を使用し、受託成膜を行っております。ご要望のプリカーサによる成膜をお手...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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新規材料への応用へつながる、奈良機械製作所の粒子の表面改質技術
【事例一覧】 ■母:Y2O3/子:ZnO 光学材料 ■母:Ni/子:BaTiO3 誘電体材料 ■母:Nd-Fe-B/子:SiO2 磁性材料 ■母:金属コート樹脂/子:樹脂 電子材料 ■母:PP/子:イオン交換樹脂 触媒材料 ■母:チタン合金/子:多層CNT 構造材料 ■母:PMMA/子:SiC 研磨砥粒材料...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社奈良機械製作所
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"ディップコートで製品に深みと耐久性を。あなたのアイデア、私たちの技術…
"製品の長寿命と美しさを実現するために、最新のディップコート技術を提供します。防汚、撥水、UVハードコートに特化し、耐久性と品質を追求。お客様の要望に合わせたカスタムコーティングで、製品に付加価値を。お気軽にご相談ください。" 受託可能なコーティングは 1.フッ素系防汚コート 無機系反射防止膜(SIO2)、ガラス、ハードコート撒くなどさまざまな基材の表面に滑らかなフッ素系の被膜を形成し、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SDI
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卓上型サーマル式 / プラズマ支援 原子層堆積(ALD)装置
Arradiance社製卓上型ALD装置 卓上型ながらプラズマユニット…
た2台目の専用ALD装置として最適 ・扱いやすいユーザーフレンドリーなソフトウェアにて成膜レシピの作成も簡単 ・オプションにて簡単にプラズマユニットの取り付けが可能 成膜材料 Al2O3、SiO2、 HfO2、 TiO2、ZnO、TiN、 Pt、 Ruなど 詳細はお問い合わせください。 基板 4~8インチ、高さ約25mmまでの構造物 粉体、カーボンナノチューブ(CNT)やグラフェン...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイチ・ティー・エル HTL(エイチティーエル)
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50種類以上もの薄膜コーティングを1個からでも対応可能!宇宙開発技術か…
、B、Ti、Zr、Nb、Mo、Pd、In、Si、Ta、W、Sn、Pt など 積層膜:Au/Ni/Cr、Au/Pt/Ti、Au/Pd/Ti、Au/Cr、Cu/Cr など 酸化膜:Al2O3、SiO2、TiO2、Cr2O3、ITO、MgO、NbO、Ta2O5、WO3、ZrO2、ZnO など 窒化膜:AlN、BN、CrN、MoN、NbN、SiN、TaN、TiN など 炭化膜:SiC、Ti...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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豊富なプロセスレシピを持ちながらも非常に小型な原子層堆積装置
設置面積:48x48cm 基板サイズ: 最大4インチ プレカーサー材料:5系統 方式:ホットウォール型熱式 チャンバー温度:最高350℃ プロセスレシピの例:Al2O3, SiO2, TiO2, HfO2, ZrO2, Pt, Ru カスタマーレシピ作成モードもあります インターロックと安全機構付き ...
メーカー・取り扱い企業: ALDジャパン株式会社