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25件 - メーカー・取り扱い企業
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63件 - カタログ
215件
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小型で多用途に応用可能!デバイス評価プロセスにも適応できる高機能装置で…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・ 故障解析用プロセス対応フレキシブル半導体製造装置です。 RIE/ICP-RIE, PECVD/ICP-CVDに対応し、コンパクトな機体に 多様なオプションで多用途に使えるフレキシブル装置。 企業及びアカデミアのR&D、研究室にラボスケールのコンパクトな 装置が必要な方や、1台で成膜・エッチングと...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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【SH 高温基板ヒーター】PVD, CVD用 Max1100℃
CVD, PVD(蒸着, スパッタ等)均熱性・再現性に優れた高真空 超…
ヒータープレートにインコネルもしくはBNプレートを採用した、熱放射効率が良く、均熱性に優れた成膜装置・真空薄膜実験用高真空対応ホットプレートです。 【ラインナップ】 ◎ SH-IN(インコネルプレート):φ1.0〜φ6.1inch 真空・O2・活性ガス用 ◎ SH-BN(BNプレート, Moカバー):φ2.1〜φ6.1inch 真空・不活性ガス用 【特徴】 ◎ 最高温度1100℃...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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【湿式、乾式(CVD、PVD、溶射、その他】 様々なご提案!
【膜種、方式にとらわれないコーティングの全方位提案!】
こんなお困りごとはありませんか? 課題、用途に適した膜種、方式を提案 【湿式、乾式(CVD、PVD、溶射、その他】 ●「装置部材の長寿命化」「生産消耗部材の長寿命化」のテーマがある ↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓ ●部材そのものの切替にはコストやリスクがありコーティングを検討したい ↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓ ●コーティングメーカーが...
メーカー・取り扱い企業: ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能!カスタマイズ可能
縦型、枚葉、ウェハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの使用に対応。汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置です。標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です。 【特長】 ■スモールフットプリントながらウエハーサイズ3" 6" 8"/inchに対応 ■ヒーター昇降機能によりナチュラル酸化を低減 ■常温~900℃まで安定した温度コントロールを実現 ※...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ハイテクノサービス
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ニーズに合わせたラインアップ!成膜装置や、ランプ加熱によるアニール装置
大村技研では、お客様のニーズに合わせて、成膜装置や ランプ加熱によるアニール装置を設計・製作します。 縦型LP-CVD装置、縦型アニール装置、PE-CVD装置、 MO-CVD装置をラインアップしています。 【特長】 ■ニーズに合わせた設計・製作 ■成膜装置やランプ加熱によるアニール装置 ■多様なラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...
メーカー・取り扱い企業: 大村技研株式会社
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『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中
除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見! 高温…
大手バルブメーカーKITZグループの一員である当社は、⽇々進化するエレクトロニクス産業おいてタイムリーな提案こそがお客様にとっての価値と考え、新製品開発とサービス向上に取り組み、お客様と共に成⻑を⽬指します。 CVDやMOCVDの後段、除害装置の前段での副生成物の堆積に起因するトラブルにお悩みではないでしょうか。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行って...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。…
「HTC/VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。 【特徴】 ■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ ・6インチ・8インチ・12インチ プロセス用の石英管に対応致 ・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能 ■省スペースで「薬液・純水削減」に貢献 ・縦型...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによるDLCコーティングで…
半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティングは、PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新しいDLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングです。複合多層膜の採用により、従来のDLCと比較して密着力にすぐれ、厚膜(~ 5μm)が可能なため、抜群の耐久性を示します。また超硬合金だけでなく、工具鋼上でも下地強化層の採用により高い面圧に対応できます。DLC コーティングは表面が非常に平...
メーカー・取り扱い企業: ナノコート・ティーエス株式会社 石川事業所
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デジタル入出力信号やアナログ入出信号をLANにより制御することにより高…
各種半導体薄膜製造装置の制御をパソコンにて行うシステムです。 デジタル入出力信号やアナログ入出信号をLANにより制御することにより高速制御とデータの保存を可能にしました。...【特徴】 ○LANによるアナログ入出信号制御 ○LANによるデジタル入出力信号制御 ○高速制御とデータの保存を可能 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ミューコム
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【デモ機貸し出し可能!】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さ…
ウエハーは製造工程に使用される石英管のクリーン度が、製品の品質に大きく影響します。 したがって、拡散工程やCVD工程及びアニール工程で使用される石英管の洗浄は重要なポイントです。 ジャパンクリエイト社は長年に及ぶ経験と実績から、御客様のニーズにあった石英管洗浄装置を提供致して居ります。 方式は横型式と縦型式と2種類があり、石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい。 詳しくはお問い合...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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配管部品の均一加熱を実現!CVDエッチング・アッシング装置に適していま…
ワッティーが提供する『マントルヒータ』は、配管・容器加熱用に ご使用いただけます。 発熱体を使用しない断熱材、保温材の設計製作も承っており、 クロス材質も複数ご用意しているので、ご希望の仕様で製作が可能。 (400℃以上のご希望の際はご相談ください。) また、サーモスタット、ヒューズ等の過昇温防止素子、及び熱電対、 Ptセンサ等の温度制御素子の取り付けなどオプションで承ります。...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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CVD装置用真空排気装置(塩素系ガス対応真空ポンプユニット)
熱CVD装置の排気に実績多数。Cl系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…
ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ(水封式真空ポンプとメカニカルブースタ)をユニット化。 CVD装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱CVD装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策 無料進呈中
真空配管設備の不安を解消!プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…
製品使用例のご紹介です。 ・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。 ・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。 ・真空設備のセンターリングが劣化・腐食し、臭いが漏れ出て困っている・・ といったお悩みはありませんか? KITZ SCT では流路のお悩みをトータルでご提案しております。気になる事...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。
当社は得意分野ごとに石英ガラスの加工業者を選定し、 最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供しています。 また、合成石英材料の取り扱もしていますのでお気軽にお問い合わせください。...【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社インテリンク
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固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』
均一性に優れた多層膜を形成できる!全自動多層膜形成装置
AFTEX-8000シリーズは、1つの成膜室に傾斜配置したECRプラズマ源を2基搭載し、高品質な光学薄膜などを最大8インチ径の基板上に均一性に優れた多層膜を形成できる、C to C枚葉式全自動多層膜形成装置です。 高活性・高密度ECR(Electron Cyclotron Resonance)プラズマ源を用い、プラズマ引き出し部にターゲットを配置することによって固体ソースによるECRプラズマ成膜...
メーカー・取り扱い企業: JSWアフティ株式会社
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「21世紀版薄膜作製応用ハンドブック」から17年、基礎を押さえつつ、新…
■目次 第1編 薄膜材料の特性と特徴 1章 薄膜の特徴と特性 2章 薄膜材料の電気特性 3章 薄膜材料の誘電特性 4章 薄膜材料の固液界面特性 5章 薄膜材料の磁気特性 6章 薄膜材料の光学特性 7章 薄膜材料の力学特性 8章 薄膜材料の化学特性 第2編 薄膜の作製と加工 1章 基板と表面処理 2章 PVD法 3章 CVD法 4章 液相薄膜堆積法...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エヌ・ティー・エス
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【~300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用! 高…
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダイヘン
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マグネトロン、イオンビームなど!さまざまな薄膜蒸着ソリューションから選…
当社では、幅広いプロセス機能、使いやすさ、優れた信頼性、および グローバルなサービスとサポートを通じて、一貫した再現性のある 結果を提供する「薄膜蒸着装置」を取り扱っております。 蒸着、熱蒸着、マグネトロン、スパッタリング、PE-CVD、イオンビームなど、 幅広い材料とアプリケーションに対応するさまざまな薄膜蒸着ソリューション から選択可能。 また、海外半導体製造装置メーカーの...
メーカー・取り扱い企業: TST SEMICONDUCTOR株式会社
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半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい
各種電子デバイス製造装置の保守・メンテナンスを行っております。 24h体制の常駐対応からスポットの定期点検まで、ニーズに合わせて対応致します。...<対応実績> CVD装置, Dry Etching装置, 拡散炉/酸化炉, Wet洗浄装置, Wet Etching装置, 基板搬送装置, コーター/デベロッパー, ステッパー, など 詳しくは、お問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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150℃/200℃対応!バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。
高温制御型の真空計で長年の実績を持つMKSが提供する最新モデル コンパクトな一体型、省電力を実現...150℃/200℃対応! バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計 バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。 センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフ...
メーカー・取り扱い企業: 日本エム・ケー・エス株式会社
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私たちは半導体業界に新しい風を起こします。
半導体製造装置の延命化のため、他社では不可能な周辺機器の修理を致します。コスト低減はもとより省エネルギー化などの改造も行い、環境問題にも取り組んでいます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【事業内容】 ○半導体製造における関連製品の開発・販売 【サービス】 ○これまでに培った技術と経験を生かし、半導体製造装置のサポート、 延命化のご提案をいたします。 ○...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイディーディー
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Local Scrubber Burn-wet ECS-3000S …
Solar, Thin Film, Etching, Diffusion ...The abatement system is highly efficient, used in CVD- and etch applications for photovoltaic, semiconductor and other related industries. Advantage:...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社臺禹科機
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CVD装置用ガスボックス
弊社の業務内容としては、 半導体、液晶、太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造や 特殊材料ガス配管工事などです。 【製品事例】 ・高純度ガス供給ユニット製作 ・シリンダーキャビネット製作 ・排気ユニット製作 ・除害ユニット製作 ・クリーン自動溶接配管製作 ・真空配管製作 など様々な製造を行っております。 ※詳細は【資料請求】もしくは、会社案内を【カタログダウ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社湘南テクノ
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