ウエハ | イプロスものづくり

PR半導体チップや精密デバイスなどを振動から守り安全に保管・搬送！シロキ…

ゲルベースは半導体チップや精密デバイスなど細かな部品の工場内、工程内搬送、海外搬送用として使用できます。搬送時は振動から精密部品を守り、また半導体等部品のデバイス固定用としても大活躍。粘着材不使用・シロキサンフリーで安心してご使用いただけます。搬送時は部品をしっかり固定し、真空装置で真空引きすることで簡単にピックアップできます。【特長】 ■精密部品を搬送時の振動などから守り、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エクシール本社

【無料進呈】外観検査AIのFAQと用語集で、基礎知識を完全網羅

PR【FAQ/用語集】わかりずらい外観検査導入AIのFAQと用語の概要を理…

外観検査AIシステムの導入を検討する方々に向けて、FAQと用語集を整理し、わかりやすく提供いたします。すでに外観検査を導入している企業様や、これから導入を検討している企業に必見の内容です。外観検査AIシステムは、製造業における品質管理を飛躍的に向上させるための強力なツールです。コーピーのAI技術は、高度な画像解析と機械学習アルゴリズムを駆使して、不良品の検出を迅速かつ正確に行います。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コーピー本社

ウエハ剥離洗浄装置　ME-5700

ウェハをチャンバー内でウォータージェットにより1枚ずつ剥離分離する装置

「ウエハ剥離洗浄装置　ME-5700」は、ウエハを手動で搬送アームにセットし、チャンバー内でウォータージェットにより、1枚ずつ剥離分離後、手動で回収する装置です。外形寸法はL1300×W1200×H210...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　：φ2”～φ4”　厚みについては応相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

ME-5000　枚葉式スピンエッチャー　

ウエハ300mm、両面処理対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーで…

『ME-5000』は、シリコンウエハ300mm/８.6.4インチ、８.6.4インチSiC及びGaNウエハ対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーです。エッチングチャンバーの上下可動方式で２本のアームによる動きは旋回、上下運動が...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

《新型》セミオートUDSスピン枚葉装置

RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど！各種プロセ…

きる ■チャンバー間の移送が不要な為、ワーク着脱削減・省力化により　ワーク搬送事故を防止でき搬送信頼性が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、フォトリソ工程、シリコン、スクラブ洗浄装...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

Vertical & Spin枚葉リフトオフ装置

有機剥離にもご使用可能！サイクロンや複合金網でフィルター負荷の大幅低減…

電子部品メーカー各社様に多数台の納入実績有り ■本システムは新型の「Spin/Dip型」や「UDS型」に代替可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、ウエハ洗浄装置、ウエハ洗浄機、ローダー、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

スピン＆コンベア処理装置　（エッチング・洗浄・剥離）

高品質基板を高スループット且つ低コストで提供可能！

します。 ■リンス時のスィングスプレー機能も搭載可能 ■リンス水飛沫の再付着防止を考慮した上下エアーナイフ乾燥 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、塗布・現象装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、フォトリソ工程、シリコン、スクラブ洗浄装...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

蒸気洗浄装置『ASTE（アステ）』

金属汚染のない半導体用の洗浄装置！単式蒸気噴射音速ノズル搭載

『ASTE（アステ）』は、エッチング後のポリマ除去や、 ウエハ上の異物除去（ブラシスクラバの置換え）が出来る、金属汚染のない蒸気2流体洗浄装置です。高価なアミン系剥離剤等の薬液を使わずにポリマとレジストを同時に除去できるので大幅なコスト低減...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　：φ2”～φ4”　厚みについては応相談 ■透明ウエハにも対応 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

バッジ式半導体ウエハの洗浄装置例

クオーバ＆ハイメガソニックを使用した半導体ウエハ洗浄装置

半導体ウエハの石英槽を用いた間接洗浄にクオーバやハイメガソニックが用いられています。特にハイメガソニックは高洗浄力や機能が評価され、1986年の出荷以来、世界中で使用され御好評をいただいております。またク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カイジョー ODM事業部

省スペース型「スピン洗浄装置（多目的洗浄タイプ）」

１チャンバー型多目的スクラブ洗浄。１チャンバーで異物、金属汚染を取り除…

各種サイズ、各種ウエハの、界面活性剤、純水スクラブ、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥までを１チャンバーで行う枚葉装置です。１つの洗浄層の中で洗浄が完結できる省スペース型のためスペースの限られた...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置「MDC8540L」

【無料デモ実施中！】新開発・高性能設計で大幅なコストダウンを実現！作業…

の向上、ランニングコスト削減に最適です。【特徴】 ■GaN、AlN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適 ■洗浄可能治具は、SiCコートカーボンサセプター、石英治具等 ■ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能 ■ウエット洗浄や、大量の予備部品不要 ■本装置導入による、メンテナンス費用の削減 ■作業者に負担のかからない、安全設計 ●詳しくはカタログをダウンロード、も...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

枚葉式半導体ウエハの洗浄装置例

メガチューブ＆スポット型シャワーを使用した両面洗浄、表面洗浄とエッジの…

メガチューブとスポットシャワーを半導体ウエハの枚用装置に搭載しました。チャンパー内の狭いスペースにも振動子２台の設置が可能で、表面と裏面・エッジを同時に高清浄度に洗浄することが可能です。 ※以下で動画を確認いただけます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カイジョー ODM事業部

シンプルでコンパクト！薄膜ガラス洗浄装置【イレザック】

0.1mm以下の薄膜ガラス洗浄も可能！有機EL洗浄・フィルム洗浄にも！

エアロピュア社製の洗浄機『イレザック』は最小限のストレスで最大限の物理力を発揮！これにより困難とされていた薄膜ガラスなどを効果的に洗浄します！薄膜ガラスの他にも、ウエハ・レンズ・フィルム洗浄にも治具やツールを変えるだけで幅広いワークに対応します。資料をご希望の方はお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社中部

低温レジスト剥離装置『AURORA（オーロラ）』

薬液洗浄工程をなくすことでウエットベンチの設置面積を削減可能！

送ロボット ■プラズマ処理装置 ■オゾン水処理装置 ■高濃度オゾン水発生装置 ■加熱ユニット【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ（プラズマ処理1チャンバ、オゾン水1チャンバ） ■ウエハ口径：150, 200, 300mm対応 ■カセット数：2カセット ■用力：DIW、N2、O2、CO2、CDA ■本体外形寸法：1100（W）× 2050（D）× 2000（H） ※...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』

金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置

【基本構成】 ■蒸気発生装置 ■多連式蒸気噴射音速ノズル ■EFEM（搬送系） ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系【仕様】 ■ウエハ口径：50-150mmΦ ■用力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：1200（W）×　1500（D）×2200（H） ※詳しくは、お気...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

WETプロセス装置　枚葉スピンプロセッサー

装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現可能です。

ないます。装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現することができます。（例：現像→エッチング→洗浄、乾燥）株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。【特徴】 ○優れたパーティクル除去性能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

全自動バッチ処理装置（基板再生・エッチング・RCA洗浄等）

高スループット　高信頼性　低コストなバッチ式処理装置

て最新型のUDSスピンプロセッサーをリコメンドします。　◎スループットUpは、UDSチャンバーのマルチ化で対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ウエハ、基板洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、低価格、洗浄装置、自動洗浄機、レジスト、バッチ式洗浄装置、シリコン、エッチング装置、RCA洗浄、絶縁膜、成膜、セラミック、ロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置　【無料デモ実施中！】

ドライ洗浄により冶具が長持ち・コスト削減！ウェット洗浄に比べて大幅な時…

します。　　　★☆★【無料デモ】実施中！！★☆★ 【特徴】 ●ＧａＮ成膜装置に使用する各種冶具のドライ洗浄に最適 ●洗浄可能な冶具は、ＳｉＣコートカーボン、石英等。 ●ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能。 ●ウェット洗浄に必要な高価な大量の予備部品は不要 ●本装置導入でメンテナンス費用の削減に貢献可能！ ●作業者に負担のかからない安全設計。 ★【無料デモ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置のご紹介

【特長】 ●ＧａＮ成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適 ●洗浄可能な治具は、ＳｉＣコートカーボン、石英等 ●ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能 ●高価で時間のかかるウエット洗浄や大量の予備部品が不要 ●本装置導入でメンテナンス費用の削減に貢献可能 ●作業者に負担のかからない安全設計 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

シングルチャンバー型「ウェハ用多目的スピン・スクラブ洗浄装置」

1チャンバーで異物・金属汚染を取り除く省スペースな洗浄装置！洗浄方法の…

ー　・　メガソニックスポットシャワー　・　スピン乾燥＜　洗浄対象物　＞　各種ウェハ　・　Si(シリコン）　・　石英　・　酸化物　・　化合物等＜　対応ウエハ口径　＞　・　φ2”～φ4” 　・　φ6”～φ8”　＜　その他　＞　　　　　　　単機能のスクラブ洗浄装置、薬液の使用、　ドライ・ウェットのローダー・アンローダー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクニカルフィット