オゾン | イプロスものづくり

PRHFCを含まないフッ素系洗浄剤！様々な法規制に非該当！PC・ABS樹脂…

『ネクシアS-63』は脱脂洗浄に適したフッ素系洗浄剤です。鉱物油系加工油付着の鋼板・金型・ロール等の手拭き洗浄、金属加工部品の浸漬洗浄等が可能。他フッ素系洗浄剤と比べて、コストパフォーマンスに優れております。HFCを含まないフッ素系洗浄剤のため、環境に配慮した洗浄剤です。『ネクシアS-63』の主な特長 1)HFC,臭素を含まないため、法規制の該当が少ないことによる扱いやすさ 2)オゾン破壊係数...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カネコ化学

【PFAS処理の解説資料進呈】低コスト・低負荷で効果的な浄化技術

PRPFAS処理にお困りの方必見！粉末活性炭×独自フィルターで吸着ろ過を完…

PFASは10,000種類を超える有機フッ素化合物の総称で、フライパンのコーティングや消火剤など身近に使用されています。これらは発がん性のリスクが懸念され、分解されにくい「永遠の化学物質」と呼ばれ問題となっています。当社は2023年4月から、沖縄県にてPFAS浄化装置をいち早く運用し、水質分析～装置設計～運用に至るまで一貫して取り組んできました。 ECOクリーンLFPの技術は、独自のフィル...

メーカー・取り扱い企業：株式会社流機エンジニアリング

オゾン殺菌装置

弊社装置は(1)ＵＶ＋オゾンで空気・空間・表面殺菌、(2)オゾン水はウ…

＜行政機関・医療機関への導入実績豊富なオゾン装置を扱っています＞新型コロナウイルスにを実際に使ったオゾンの有効試験結果は、まだ発表されていませんが(現在、検証作業は進められています）　ウイルスのオゾンによる不活化は主としてRNAあ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社マリオネットワーク

真空用オゾン除害器

真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。

PARAM社製、真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。従来製品に比べ、分解効率が数倍高いマテリアルを開発したことにより、処理能力が非常に高く、発塵の無いオゾン除害器となっております。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

『機能水装置』

薬品量の削減、排水処理負荷の低減などに貢献！機能水装置を多数ラインアッ…

薬品洗浄の代替えとして利用されています。機能水を使用する事により薬品の使用量を削減し、環境・安全面はもちろん、企業・製品のイメージアップにもつながります。当社では、立上りの速いオゾン水を供給可能な「オゾン水装置」をはじめ、「水素水装置」や「超純水帯電防止装置」などをご用意しています。【特長(オゾン水装置)】 ■立上りの速いオゾン水を供給 ■150ppm以上の高...

メーカー・取り扱い企業：日東機器ファインテック株式会社

卓上型ＵＶ照射装置　MUV

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

（試料）にUV照射を行い　表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能 ○基板（試料）ホルダーの上下、または取替えが容易なため　厚みのある基板（試料)を処理することが可能 ○オゾン発生型装置は、オゾンによる処理を併用することにより　高いクリーニング効果を得られる ○基板（試料）セット後の処理は自動運転が可能です ○卓上型ながら大型基板の処理が出来、表面改質やウエ ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

UV洗浄表面改質装置　ASM1101N

110Wの高出力UV洗浄をお手元で手軽に。

ＵＶ洗浄、紫外線洗浄、ＵＶオゾン洗浄、紫外線オゾン洗浄とも呼ばれる、製品の高精細化に適合した、ＵＶエネルギーによる精密でクリーンな乾式洗浄法です。低圧水銀ランプより発する短波長の光エネルギー184.9nm、253.7nmはポ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社あすみ技研

紫外線洗浄改質装置【回転機構を取付可能。むらなく照射！】

密着性、濡れ性の向上に！コンパクト設計の紫外線洗浄改質装置『OZB-0…

『OZB-021』は、短波長紫外線とオゾンの効果で有機化合物の分解、洗浄及び改質を行う紫外線洗浄改質装置です。均一性に優れた平面グリッド管ランプを採用。操作スイッチ及び安定器電源一体型のコンパクト設計となっています。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社たけでん UVシステム G

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

を要求されています。当社の洗浄装置はこれら製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力致します。機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備、ワーク回転の遠心力とオゾン水、アンモニア添加水素水吐出により、検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能なユニットです。各洗浄液を切り換えて洗浄することにより、ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

エキシマUV受託テスト

実験可能サイズ：600×700mm（最大）ランプ照度：50～140…

ッドホルダー構造】ランプ構造は照射面側に電極を持たない構造の為、光の遮りがなく、透過や反射損失もほとんどなく効率が高い。個々のランプホルダーよりランプ管壁に沿って窒素（CDA）を噴出。効率よくオゾンを生成し少量で均一に酸素濃度の制御が可能【主な用途】・ガラス、フィルムの洗浄表面改質・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化・レジスト除去、ア...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

LED UV硬化技術【接着・硬化にお困りの方必見！】

数多くの特許を取得した独自のLED UV硬化ソリューション！エレクトロ…

弊社が開発した紫外線硬化用のLED光源は、最大のUVエネルギーを供給する高性能製品で、長期にわたって信頼性を発揮すると同時に、オゾンや水銀などの有害物質を用いないことで職場の安全性を高めます。 UV硬化は、エレクトロニクス、工業、医療、光学などの広い範囲でUVによる接着剤の硬化が応用されています。また、木材・プラスチック...

メーカー・取り扱い企業：フォセオンテクノロジージャパン株式会社

アルカリ対応スピン洗浄装置

有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置

フィルム及びガラス基板　50～300角　ｔ＝0.7、1.1mm　　　　　　　　　　　　　 ●8,12インチウエハ各種ワーク対応（オプション）洗浄水 ●アルカリ　●純水　●水素溶解水　●オゾン水対応回転数　　　MAX　3000rpm 純水供給部　　　0.3Mpa　以上 N2ブロー乾燥　N2ブロー乾形寸法　　　　外形寸法　　　　W1180×D1350×H1610 ...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

常圧CVD装置「AMAX800V」

優れた膜厚・不純物濃度の均一性。高生産性と低価格を実現した常圧CVD装…

性(NSG)：2ヘッド仕様、3ヘッド仕様ともに　　　　　　　　　　面内:≦±3.5%、面間:≦±2.5% ○不純物濃度均一性：面内、面間ともに±3.0%以下 ○温度：350℃ ～430℃(オゾンプロセスでは150℃～350℃ ) ○対応ウェーハサイズ：8インチ　(8インチ・6インチウェーハサイズの兼用化はオプション対応) ○スループット：～100枚/hour(＠5000Å) ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社天谷製作所

ウェットステーション

早くて正確な半導体製造プロセス

【仕様】 ■ アプリケーション：洗浄（SPM,SC1, SC2, DFH/O3等）、乾燥 ■ プロセスコントロール：薬液/オゾン濃度モニター、純粋比抵抗、薬液コントロール ■ 基板材質：シリコン、SiC, GaAs, GaN, InP, Glass, Sappire ■ 膜厚：500～2000 μm ■ 筐体：PP、FM4...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インターテック販売東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

枚葉式常圧CVD装置『A200V』

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを…

【仕様(一部)】 ■サイズ：890mm(W)×2300mm(D)×2250mm(H) ■膜厚均一性：≦±2％(面内、面間) ■温度：300℃～450℃(オゾンプロセスでは150℃～350℃) ■対応ウェーハサイズ：8インチまで可能 ■スループット(参考値)：14枚/hour(500nm成膜時) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業：株式会社天谷製作所

スピンコーター ACT-300A2 レンタル

株式会社リブテラステクノロジーズでは、アクティブ社製スピンコーターほか…

プロジェクトや、共同研究先での利用など必要な時に必要な期間だけすぐにご利用いただけます。その他レンタル取り扱い機種スピンコーター　ACT-300A2 接触角計　DMs-401 UVオゾン洗浄装置　UVS401Y UVS1101N ハンディタイプUV硬化装置　UVKH2501N...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リブテラステクノロジーズ

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

□6″（　　　同　　MAX□9″) ■オプション　ワーク反転機構 FOUPロードポート対応レチクルケース対応 SMIF　POD対応オリフラ／ノッチ合わせ機構イオナイザー オゾン水供給ユニット高圧ポンプユニット薬液供給ユニット機能水供給ユニットエキシマUVユニット帯電防止器 □その他詳細についてはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場

サーマルALD装置『Savannah G2』

研究開発用、小規模バッチ用！簡易除害ユニットALD Shield Va…

【その他の特長】 ■豊富なオプション・オゾンジェネレータ・ドームリッド・LVPD ・QCM ・SAMS ・粉体成膜・グローブボックスI/F ・プラズマキット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ

インライン　フッ素樹脂製超純水ヒーター

不純物の溶出やパーティクル発生のないフッ素樹脂製超純水ヒーター

●優れた高純度特性　接液部は全てフッ素樹脂ＰＦＡを用い、不純物の溶出やパーティクル発生のない優れた特性を持っています。 ●オゾン水や機能水を流せます。　接液部はＳＵＰＥＲ　ＰＦＡなので全く問題なし。設備のレイアウトの自由度が広がります。 ●発熱体寿命１０年以上　ヒーターはメンテナンスの必要がないよう、劣化や故障の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社セラ

バルクエッチング装置『BEM-301』

エッチング量（深さ）とウェーハの材質を指定するだけで何方でも容易に使用…

『BEM-301』は、オゾンと気化したフッサンを使用してエッチングする装置です。エッチング量をモニターしながらエッチングを行いますので、高精度のエッチングが可能。また、1枚目からでも正確なエッチングを行う...

メーカー・取り扱い企業：有限会社NAS技研

プッシュ・オン式ゴムホース

様々なホース継手を選定でき、ホースの長さも自由な長さで簡単に施工できま…

多目的用プッシュ・オン式ゴム・ホース MPシリーズはオゾン耐性があり、コアはスムーズボア・タイプのブナN製です。内部に繊維補強材を使用することで、ホース使用圧力範囲が広がり、エンド・コネクションを確実に保持します。ブナN製カバーは、耐磨耗性があります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フロー・ジョイント

ALD装置（原子層堆積装置）『P-300B』

高品質のALD膜を作り出す！MEMS機器の生産や3Dオブジェクトの成膜…

mm EE） ■基板の装着　・空気圧式リフトによるマニュアルローディング　・半自動のリニアローディング　・産業用ロボットによるローディング ■プリカーサー　・液体、固体、気体、オゾン 　・レベルセンサーオプション　・4か所に分かれた注入口から最大8種類までのソース　 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

洗浄装置　ファインシリーズ洗浄ユニット『ファインジェット』

低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応！

【特徴】 ○ノズル先端より高周波をのせた液体(超純水、薬液)を噴射し洗浄 →用途に合わせてオゾン水、フッ酸等の薬液の使用が可能 ○高圧水JETと異なり、供給される液体は一般の水道圧(1〜1.5Kg/cm2)でOK ○枚葉送り、スピン洗浄機に簡単に取り付け可能 ○低出力から高出力までの安...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

ウエハー　マスク　枚葉スピン洗浄装置

オプションでオゾン水（20ppm）やエキシマUV、大気圧プラズマとの組み合わせも可能です。その他、ULPA/HEPAユニット、薬液供給ユニットとの組み合わせなど汎用性に優れております。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場

株式会社PARAM　会社案内

超高速電子ビーム描画技術・要素技術の開発・製造・コンサルティング！微細…

じめ多くの分野で、開発から量産技術として必要とされています。当社は各種電子ビーム要素技術と関連技術で皆さまのお役に立てるように精一杯尽力いたします。【事業内容】 ■真空用オゾン供給器・除外器の製造販売 ■電子ビームコラムの設計・製造・開発受託 ■電子ビーム制御用電子回路の開発受託 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社PARAM

フィルム表面改質装置（ロールtoロール式）

高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置

・全面樹脂カバーとHEPAユニットでクリーン度を保持・改質時に放出されるオゾン、N2ガスを封じ込め、オ　ゾン吸着フィルターを通して一括排気・サーボモーターと自動式ピンチローラーによる定速度搬送・ピンチローラーの表面接触は端面10mm ・WD/UWDにはフィード...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

ポータブル大気圧プラズマ表面改質装置　

「プラミ-α」は小型で、使いやすい大気圧プラズマ発生装置です。いつ…

【特徴】　□アーク無しで素早く均一な表面処理が可能。　□本体重量が10ｋｇしかない為、どこでも持ち運びが可能。　□オゾンフリーで環境にやさしく、ランニングコスト削減効果あり。　□幅広い用途に使用可能。「光学材料、プラスチック、金属、セラミック等」【対象材料】　光学材料、プラスチック、金属、セラミック...

メーカー・取り扱い企業：大日商事株式会社

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング装置)・ストリッパー(ストリッピング装置)

洗浄装置・UV/O3洗浄装置・ドライ洗浄装置・クリーナー(クリーニング…

UV-1は、フォトレジストアッシング、シリコンウエハークリーニング、クロムマスククリーニングなど各種半導体プロセスの完全ドライ処理を高濃度オゾンと紫外線照射の相互作用で効率よく行うことを目的として開発された研究開発用の洗浄装置です。...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社

洗浄装置　小型簡易枚葉式洗浄装置

低価格、しかも高性能なWet処理装置のことなら、弊社にお任せください。

【特徴】 ○高プロセス性能（パーティクル数など） ○低価格 ○オゾン水、水素水などの機能水にも対応。 ○2流体ジェットなど物理洗浄にも対応。 ○2インチなど小口径にも対応します。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＭＴＫ

高照度エキシマUV装置

レンタル専用エキシマUV ・長期貸出可能　15日～1年間以上・月…

ッドホルダー構造】ランプ構造は照射面側に電極を持たない構造の為、光の遮りがなく、透過や反射損失もほとんどなく効率が高い。個々のランプホルダーよりランプ管壁に沿って窒素（CDA）を噴出。効率よくオゾンを生成し少量で均一に酸素濃度の制御が可能【主な用途】・ガラス、フィルム、ウエハの洗浄表面改質・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化・レジスト...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

実験用エキシマUV照射装置

高照度172nmエキシマランプ　管面照度150mW/cm²以上

ッドホルダー構造】ランプ構造は照射面側に電極を持たない構造の為、光の遮りがなく、透過や反射損失もほとんどなく効率が高い。個々のランプホルダーよりランプ管壁に沿って窒素（CDA）を噴出。効率よくオゾンを生成し少量で均一に酸素濃度の制御が可能【主な用途】・ガラス、フィルム、ウエハの洗浄表面改質・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化・レジスト...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

枚葉自動マルチスピンプロセッサー

リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能

9″) ■オプション　ワーク反転機構　　 FOUPロードポート対応　レチクルケース対応　 SMIF　POD対応　オリフラ／ノッチ合わせ機構　イオナイザー　オゾン水供給ユニット　高圧ポンプユニット　薬液供給ユニット　機能水供給ユニット　エキシマUVユニット　帯電防止器 □その他詳細についてはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業：株式会社カナメックス厚木工場

ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり

生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現…

に昇温することが可能。【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能。 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能。 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能。 ■オプションでオゾン水洗浄が可能。 ■オプションでナノバブル洗浄が可能。当社東京テストセンターにて、テストを実施頂けます（オンライン対応可） ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン