長寿命・高性能フッ素樹脂（ＰＴＦＥ）パッキン≪オムニシール≫

PR高温から極低温、超高圧から高真空、過酷なニーズに対応するフッ素樹脂（Ｐ…

オムニシールはPTFEと耐食金属スプリングを組合せたSAINT-GOBAIN PERFORMANCE PLASTICS社の高性能シーリングです。 ロケットの燃料系シールとして開発されたオムニシールも現在では医療機器、分析機器、食器機械のほか、 油・空圧機器、ポンプ、バルブといった一般産業用としても幅広く使われています。 【特長】 ■ほとんどすべての化学薬品（酸、アルカリ、有機溶剤など）...

メーカー・取り扱い企業： タフトレーディング株式会社

グラインディングセンタ用NC円テーブル

PR研磨加工、ガラス加工、セラミック加工など粉塵環境下の使用に威力を発揮

〇特殊シールとエアパージにより本体内への切粉、研磨粉などの粒子の侵入をシャットアウト 〇エア消費量の小さいパージ構造 (0.3L/min) 〇発熱の小さいシール構造 〇長寿命シール 〇シール部の清掃交換が容易な構造 〇コンパクトな胴厚 〇特許出願済...★炭化ケイ素とアルミナを混濁させたスラリー内で100万サイクル*の耐久試験をクリア * 1サイクルは 正転180°→ 正転180...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社北川鉄工所

振子式バルブコントロールシステム　Series 65.0

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適なコントロールバルブ

サイズ: DN 100 – 400 mm (4“ – 16“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質 アルミニウム: 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、JIS リーク量 バルブボディ アルミニウム: < 1 × 10-9 mbar ls-1 アルミニウム、硬質アルマイト加工: < 1...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール）Series 26.4

高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ

-アングルおよびインラインボディ -ベローズ軸シール -大きな差圧対応 -長いサイクルライフ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

PARTICLE-FREEゲートバルブ

パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ

– ショックが極小 – パーティクル発生が少ない – 真空部と機構は隔離 – Vulcanized ゲートシール - 長いライフサイクル...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

低価格オールメタルアングルバルブ　SERIES 54.1

（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用

-シールはFLEX VATRING方式 -シール面の変形は弾性変形の範囲内 -標準的な六角レンチ、トルコ管理不要 -コンダクタンス大 -FLEX VATRINGは2回まで交換可能...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

振子式高真空バルブ　Series 16.2

コンパクトな真空封止用バルブ

) アクチュエータ 圧空作動式: 単動シリンダー 、閉動作はスプリング（NC） 3位置圧空作動式: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC） ボディ材質: アルミニウム 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F、ASA-LP、JIS リーク量 バルブボディ、バルブシート: < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲: 1 × 1...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

コントロールゲートバルブ　Series 64.2

極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

サイズ: DN63-400mm アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS シール技術: VATLOCK リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

UHVゲートバルブ　SERIES 10.8

開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態…

-潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易　...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

真空ゲートバルブ　SERIES 12.1

VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ

研究開発および産業の低真空アプリケーション用のバルブ -機械的なロックで、逆圧状況においても確実にシールするVATLOCKシステムのゲートバルブ -エアダンピングにより、振動が少ないためポンプに負担を掛けない構造 -取外しが簡単でメンテナンスが容易 -低コスト...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ソフト排気用アングルバルブ　Series 29.0

大きな差圧に対応可能！

≤ 1 bar DN 100-160: ≤ 1 bar 第一回サービスまでのサイクル数 DN 63-80: 三百万回 DN 100-160: 百万回 軸シール（メインバルブ） DN 63-80: ベローズ DN 100-160: Oリング軸シール 電磁弁 DN 63-80: 24V DC、9.0W DN 100-160: 24...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

バタフライコントロールシステム　Series 61.2

CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

サイズ: DN25-320mm (1“ – 12“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-KF、ISO-F リーク量: バルブボディ < 1 × 10 -9 mbar ls -1 使用圧力範囲: 1 × 10 -8 mbar...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

コンボコントロールバルブ　SERIES 95.1/95.2

優れた圧力制御能力を持ったコントロールバルブの組み合わせバルブ

システム。ゲートバルブはバタフライコントロールバルブのスレーブで、OEMインターフェイスに向いています。 Series 95.1: コントロールバルブとアングルバルブの組み合わせ。ベローズ軸シール付き。0.1MPaの差圧でバルブの開動作可能。 Series 95.2: コントロールバルブとゲートバルブの組み合わせ。O-リング軸シール付き。...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ミニUHVゲートバルブ　SERIES 01.0

UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ

-潤滑剤不要 -パーティクル発生が少ない -ショック低減 -Vulcanizedシール

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ FLAPVAT　Series 06.8

短い開閉時間による高いスループット

19.69“ ～ 3.94“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール リーク量 バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1 バルブシート: < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧 バル...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ SOLVAT　Series 06.6

過酷なプロセスおよび高温に対応した設計

19.69“～11.81“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: Oリング軸シール リーク量 バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1 バルブシート: < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧: ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型角型ゲートバルブ TWINVAT　Series 06.1

軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ

リミットスイッチ/電圧: 24V DC PNP (NPN optional) 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤2 s（開口高さ150 mm） 軸シール: Oリング軸シール 取付け方向: アクチュエータ上向または下向...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

バタフライバルブ　SERIES 21.0

コンパクトな真空遮断バルブ。ゲートバルブの代替品としても活用。

サイズ: DN 63-250mm (2 ½“ – 10“) アクチュエータ: ターニングレバーによる手動式 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: O-リング回転軸シール 標準フランジ: DN 63-160 ISO-F DN 250 ISO-F, ISO-K...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲート/インサート MONOVAT

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロック…

(1.26“ x 8.74“ to 3.94“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール シール技術: MONOVAT機構 ゲート開口部の寸法にかかわらず、アクチュエータは共通のモジュラーシステムを採用...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

オールメタルゲートバルブ　SERIES 48.1/48.2

開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応

サイズ: DN 16-320mm (⅝“ – 12“) アクチュエータ: 手動式 圧空作動式 複動シリンダー、延長型とコンパクト型 ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-Fメートルねじ シーリング技術: VATRING "hard on hard"...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

UHVアングルバルブ　Series 28.4

腐食性ガスにも対応！

(⅝“ – 2½“) アクチュエータ: 手動式-取外し可能なハンドホイール式 圧空作動式-単動シリンダースプリングによる閉動作（NC) ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-R...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ビームストッパー/ビームストッパー インサート

フォトンストッパー等の多様なアプリケーション用

サイズ: DN 63-160mm (2 ½“ – 6“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-F...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

緊急遮断シャッターシステム　Series 77.1/77.3

加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護する

サイズ: DN 40-160mm (1 ½“ – 6“) アクチュエータ: 圧空作動式、複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-F...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

高真空ゲートバルブ　SERIES 09.1

0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ

0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能 -真空封止アプリケーション用の高真空ゲートバルブ -ウェッジシールにより圧力差があっても開け閉め可能...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

均等なガスフローで高度なプロセスに最適

50mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム 軸シール: ベローズ フランジ: ポンプ側 ISO-F, JIS チャンバー側 顧客仕様による...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

均等排気バルブ　SERIES 67.0

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封…

250-450mm (10“ – 18“) アクチュエータ: 2つのステッピングモーターを同期、フィードバック制御を実施 ボディ材質: アルミニウムまたは硬質アルマイト加工アルミニウム 軸シール: ベローズ フランジ: ポンプ側 ISO-F, JIS　チャンバー側 顧客仕様による ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

Lゲートバルブ　SERIES 92.0

半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮…

イズ: DN10-100mm(⅜“ – 4“) アクチュエータ: 圧空作動 単動シリンダースプリングによる閉動作、または複動シリンダー ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-KF, ISO-F, CF-F 真空レベル: HV, UHV ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

大型ドアー L-VAT　Series 07.8

優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ

3000 mm (3.19“ × 31.50“～9.84“ × 118.11“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミットスイッチ付き ゲート材質: アルミニウム シール技術: L-VAT リーク量: ゲート（閉方向） < 1 x 10-7 mbar ls-1（Δp at gate = 0.1 MPa） ゲートにかけ得る許容最大差圧 バルブ閉方向: ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社