リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

局所排気装置『フレキシブルアームシリーズ』

フードを自在に移動し、ヒュームや粉塵の発生源で固定し吸引する局所排気装…

レキシブルアームシリーズ』は、ファンとアームでヒュームや粉塵を 発生源で吸引、フィルターで吸着し、拡散を防ぐ局所排気装置です。 1μm以上の粉塵を99％除去する高性能フィルターを採用。 スパッタなどの対策用と火花防止フィルターも用意しました。 当社では、静電気対策が必要な場所での粉じんや溶剤臭気の回収に有効的な 「NEXDX アームシリーズ」をはじめ、「EX1600 アームシリー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤマダコーポレーション