スパッタ | イプロスものづくり

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池やバッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や表面保護のためのコーティングにも対応。サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

超音波複合振動接合機『Ellinker 20k-HP/20k』

PR狭いところに手が届く接合を実現。楕円形の軌跡により、高強度・低ダメージ…

『Ellinker 20k-HP/20k』は、振動拡大ホーンと楕円形の軌跡を描く複合振動を生み出すスリット入りホーンを備えた超音波複合振動接合機です。加圧・加振のムラや減衰が少なく、ワークへのダメージやバリの発生を抑えた高品質な接合が可能。ロングホーンチップを使用でき、円筒型LiBの底部など様々な形状・接合位置のニーズに対応可能です。はんだなどの介在物を使用せず、母材の変質リスクも少な...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

2インチ2元スパッタリング装置『HMS2-300』

フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能！真空及びガス置換雰囲…

『HMS2-300』は、フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能なため、高温化での成膜が可能な2インチ2元スパッタリング装置です。真空及びガス置換雰囲気下での成膜に対応しています。2インチマグネトロン式 スパッタカソードを具備しており、最大3元まで増設可能です。オプションでL/Lチャンバ、移動式膜厚...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』

ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能！

『MSS600-3』は、矩形カソード W100ｘH500mmによる 3元RFスパッタリング装置です。基板サイズはW200×H300mmであり、X方向へ搬送しながら蒸着します。また、基板200mmを30秒から15時間の時間で任意に設定し、膜厚調整や様々な異種積層...

メーカー・取り扱い企業：株式会社愛知真空

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング装置を納入した事例を紹介させていただきます。今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロードロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

当社は30年以上真空技術に携わり、ユーザー様の仕様に合わせた製品を主に研究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着装置」など真空成膜装置を多数ラインアップ。その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの各種研究用装置もご用意しており...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ

Ｒ＆Ｄ向け小型ロールコーター　FRC-100V

実験用小型スパッタリング装置！コンパクトでリーズナブルな設計！品質…

FRC-100Vは研究開発、小ロット生産に適した小型・高性能のマグネトロンスパッタ式ロールコーターです。樹脂フィルムに光学特性を持たせた透明導電膜や機能性膜を手軽にコーティングできる様に設計されています。スパッタによる緻密な成膜が可能で、走行パターンも多種設定可能です。使い勝手...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

電子顕微鏡向け真空応用機器、前処理装置　総合カタログ2019

マグネトロンスパッタや親水処理装置などを掲載しております

当カタログは、株式会社ユニオンが取り扱う、株式会社真空デバイス製の電子顕微鏡向け真空応用機器、前処理装置を掲載した製品総合カタログです。電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す『マグネトロンスパッタ』をはじめ、 2チャンバー、3種処理機能を搭載した電子顕微鏡向け複合前処理装置『VES-10形マルチ成膜装置』や、低ダメージでオスミウムをコーティングできる『オスミウムコーター』などを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ユニオン

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No79

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.79です。【アルバッ…

ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.79は、真空に関する最新技術資料です。大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術や、結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発、OLED用薄膜封止装置 CEE-950の開発、リークディテクタ HELIOT900シリーズの開発、マグネットカップリング搭...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

各種装置

スパッタ・アッシャー複合機や水素吸蔵機能材料評価装置など、各種装置をご…

当社は、ガス供給設備メーカーの技術を生かし、産業界で必要とされる様々な「流体制御システム」製品を設計・製作しております。 スパッタ・アッシャー複合機をはじめ、飲料プラントや高純度ケミカル供給装置、エキシマ照射装置など、各種装置をご用意。目的に合せたグレードの高いガス供給技術は、半導体製造装置メーカーから高い評...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒューズテクノネット

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

ULVAC DIGEST 真空関連機器総合カタログでは、ドライ真空ポンプや油回転真空ポンプなどの「真空ポンプ」、スパッタイオンポンプ､クライオポンプなどの「クライオポンプ／冷凍機」、大気圧ピラニ真空計､キャパシタンスマノメータなどの「真空計」、ベーシックプロセスガスモニタなどの「ガス分析計／プロセスモニタ」等、多数...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

『FRC-500VT』は、幅600ミリまで対応のウェブコーターです。 PET等のフィルムにスパッタにより成膜します。巻き上げはフィードバック制御です。ロールコーターは複数台納入し、ご好評頂いております。その他スパッタリグ装置も多数手掛けております。カソード用マグネットからターゲ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

ガス配管製作

クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な　体制となっております。 ◆...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

真空装置　設計・製造サービス

実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて設計、製造し…

、お手持ちのポンプをご支給いただいたり、このメーカのバルブを使って欲しいなどのご要望にも柔軟に対応いたします。【真空装置、部品の製作事例】 ■PE-CVD装置 ■熱CVD装置 ■スパッタ装置チャンバ設計・製作（チャンバスケッチ・設計・製作） ■大気圧プラズマ用電極ユニット設計・製作 ■画像評価装置制御BOX製作　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業：株式会社DINOVAC

真空加熱乾燥炉

スパッタターゲットの真空乾燥や真空部品の真空乾燥、治具等の真空乾燥に利…

『真空加熱乾燥炉』は、自動乾燥プロセスレシピが30通りあります。使用温度範囲は最高450℃。スパッタターゲットの真空乾燥をはじめ、真空部品の真空乾燥や、治具等の真空乾燥にご利用いただけます。各種オーダーメイドも製作可能ですので、ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

真空ウエハ接合R&D装置『WI-1000』

加熱・加圧機能に付加して表面活性化機能や陽極接合機能を追加可能です！

『WI-1000』は、真空中でサブミクロンのアライメント精度を達成した真空ウエハ接合R&D装置です。加熱・加圧機能に付加して表面活性化機能(ライン式ビーム照射、Siスパッタ、べーパーアシスト)や陽極接合機能を追加可能。オプションでCTCオートハンドリング化も可能です。【特長】 ■真空中真空アライメント精度：±0.2μm ■加熱加圧機能 ■M...

メーカー・取り扱い企業：ボンドテック株式会社