スパッタ | イプロスものづくり

PR難燃性・屈曲性に優れた高機能耐熱ホース（最高1,100℃）は、プラズマ…

弊社ドイツ製高機能耐熱ホースは、125℃～最高1,100℃に対応可能な約20種類の豊富なラインナップがございます。中でも難燃性・屈曲性・耐久性に優れた耐熱ホース製品は、プラズマ切断機、ガス切断機、溶接ロボットのヒューム回収用で実績があります。その他、フレキシブル性に富んだ高温排気ガス抽出用ホースもご用意をしています！【実現できること】 ◎ヒューム吸引用の塩ビ（PVC）ダクトホース...

メーカー・取り扱い企業：エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

真空技術とFAの要素技術を融合！設計・製造からサポートまで対応

重ね合わせ装置やシール剤塗布装置と窒素置換容器、特型GBの設計・制作

半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電...

メーカー・取り扱い企業：メンテナンス･リサーチ株式会社

クラスター真空成膜・評価装置紹介

測定・研究したい要素をそのまま！お客様のニーズに合致させることが可能な…

『クラスター真空成膜システム』は、試料自動搬送システム、サンプル交換室、サンプルストッカー室、スパッタ室に加え誘電率・磁性測定、ホール測定装置などの分析機を備えた評価室から構成されます。また、中央の試料自動搬送チャンバーは、各成膜室ならびに分析室と接続。試料を真空中でロボット搬送し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル

イオンゲージ『M-311HG』

再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れ…

【その他特長】 ■10^−7Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることなく、　スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能 ■圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、　プロセス圧力コントロールにも使用できる ■高圧力領域側での使用時のフィラメン...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計

専用の真空計制御電源です。入力電圧はワイド電圧。外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御などにご使用いただけます。【特長】 ■外部入出力 ■RS-232C通信機能を標準装備 ■入力電圧はワイド電圧 ■CEマーキング、RoHS対応 ■...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

中古真空装置・機器販売のご案内

全機種オーバーホールして完全稼動した状態で納品しております

株式会社グリーンテックでは、完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタルを行っております。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しておりますので、ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社グリーンテック大阪本社

真空装置　小型真空アーク溶解炉

真空装置＆真空ポンプのことならお任せください！

ンガス雰囲気中で、金属材料をアーク溶解によって容易に生成。【特徴】 ○研究・開発に適したコンパクト＆エコノミータイプです。 ○手軽に超高温が得られ、母合金の溶解・精製が可能です。 ○スパッタ用ターゲット材料の自作が容易に実現できます。 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：アトーテック　株式会社

電子ビーム真空蒸着装置

メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上！

nの組合わせで、全て電磁バルブを使用した全自動排気系。到達圧力は液体窒素トラップ無しで10-5Paに入ります。この他、電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置「マグネトロン スパッター装置」や、薄膜作成準備、表面分析の実験研究用として利用される「3KV イオン銃(SIG030)」などをご用意しております。【特長】 ■真空排気系はTMP80L/secとRP50L/...

メーカー・取り扱い企業：アトーテック　株式会社

パルスレーザパルス蒸着システム

取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。高い雰囲気中ガス（酸素、...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

金属膜+保護膜成膜装置

新しい成膜方法をお考えのエンジニア必見！樹脂基板への金属膜、保護膜を全…

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

製品カタログ　真空装置

FCCLや透明導電膜、脱ガスなどをラインアップ

【その他掲載内容】 ■有機EL ■超電導 ■Mic-Mini[小型縦走行式スパッタ装置] ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒラノK&E

真空排気装置『KST-F08VS-RKS型』

狭い場所にも設置できるスリムなデザインの真空排気装置です！

【その他取扱製品】 ■薄膜作製装置 ■マグネトロンスパッタソース ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ケーズテック合同会社

実験用小型スパッタリング装置

ターゲットを３種取付可能！真空中で基板を自動搬送します！

真空引きから基板の搬送、スパッタリングまでを自動で行います。小型設計ので、スペースを取らず実験装置として最適です。～特徴～・メインポンプはターボ分子ポンプを使用しています。・スパッタリングを行う成膜室と、成膜...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

サドルフィールドファーストアトム（FAB）ビームソース

電荷を持たない中性ビームを生成。英国オックスフォードアルライドリ…

ＡｒやＸｅのような不活性ガスによる基板のクリーニング、スパッタエッチング、常温接合などに利用出来ます。 ※仕様・寸法についてはカタログをダウンロード下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：三和真空株式会社

まとめて進呈！『真空関連機器の総合カタログ』＆『真空の技術資料』

IGZO成膜やイオン注入技術など、技術者必見の資料と製品カタログを進呈…

速度制御　　　　・真空機器構成部品・分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系　ほか【技術資料『ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.79』の掲載内容】・大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術・結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発・OLED用薄膜封止装置「CEE-950」の開発・リークディテクタ「HELIOT900シリーズ」の開発・マグネ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.