リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタや高温熱処理工程での歩留まり改善！ライン汚れ防止フィルム

【新開発】 ＩＴＯスパッタや高温熱処理工程におけるＰＥＴフィルムから…

『ライン汚れ防止フィルム』は、スパッタ加工や高温熱処理工程において、ライン停止、スタート時のオリゴマー析出によるクリーン環境の汚染を防止する効果があります。その為、清掃作業の削減や品質改善で、歩留まり改善に活躍します。 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： アイム株式会社

ブレード被覆フレキシブルチューブ『KLW タイプ』

亜鉛メッキ鋼線を外装被覆！耐熱性／耐スパッタ／非防水／不燃性に優れてい…

の電気的接続性にも 優れたブレード被覆フレキシブルチューブです。 スクエアロック構造の溶融亜鉛メッキ鋼帯製のチューブに 亜鉛メッキ鋼線を外装被覆。 鋼線の外装被覆により耐摩耗性、耐スパッタ（火花）性や耐刃物性に 優れています。 【特長】 ■日本シーム工業製 ■RoHS対応 ■亜鉛メッキ鋼線を外装被覆 ■耐摩耗性、耐スパッタ（火花）性や耐刃物性に優れている ■柔軟性...

メーカー・取り扱い企業： 大伸産業株式会社

超精密スパッタ技術による「高品質光学フィルタ」

【Chroma Technology社製】紫外から近赤外までの波長対応…

『蛍光フィルタ』は、薄膜の光フィルタの設計・製造を行っている Chroma Technology社の高品質光学フィルタです。 【特長】 ■超精密スパッタ技術 ■高品質 ■紫外から近赤外の波長対応 【用途例】 ■バンドパスフィルタ ■ビームスプリッタ ■ダイクロイックミラー ■レーザー用反射鏡 ■蛍光顕微鏡 ■マシンビジョン　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック

近接センサ＜耐溶接＞

革新的プロテクションで長寿命！MIGおよびMAGアプリケーションにも対…

当社で取り扱っている『近接センサ』は、スパッタ防止コーティングを 施し、耐スパッタに優れた製品です。 高性能セラミック材料は、固定ナットを含むすべての外面に 永久的な非粘着性コーティングを形成し、MIGおよびMAG アプリケーショ...

メーカー・取り扱い企業： コントリネックス・ジャパン株式会社

近接センサ　製品カタログ

耐高温・耐高圧・耐スパッタ等、特別仕様製品も多数ラインナップ！

充電製品の開発・製造・販売を行う 株式会社ビー・アンド・プラスの『近接センサ』をご紹介しています。 高周波発振型近接スイッチの製品構成をはじめ、技術資料や仕様を掲載。 耐高温・耐高圧・耐スパッタ等、特別仕様製品も多数ラインアップしています。 【掲載内容】 ■製品構成 ■技術資料 ■製品仕様 ■センサ用アクセサリ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ビー・アンド・プラス

多目的スパッタリング装置

研究開発から量産までサポート！

チパネルによる操作性向上、ロギングシステムによるデータ管理が容易。 【各種　選択機能】 ●カソード変更（大型カソード化、4インチカソード多元化） ●高温加熱機構（800℃） ●バイアススパッタ機構 【ラインナップ】 ●ロードロック式スパッタリング装置 ●マルチチャンバスパッタリング装置 ●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置 ●サイドスパッタリング装置 ●カルーセルタイ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

TruPlasma MF 7000（G2）シリーズ

重要なプロセスにおける完全なコントロール！最大限のスパッタ率が確保され…

ことが可能。豊富な周波数ラインアップにより、 様々なプロセスで活用いただけます。 【主な利点】 ■高い反応速度とそれに対応する残留エネルギーの低減により、 　安定したプロセスと最大限のスパッタ率が確保される ■フレキシブルな冷却コンセプト ■独自技術"イグニッションサポート"技術により、効果的なプラズマ点火 ■豊富な周波数ラインアップにより、様々なプロセスで活用可能 ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： トルンプ株式会社

技術資料『HiPIMSで 最高クラスのスパッタ成膜を！』

【無料プレゼント】スパッタリング成膜の豆知識や、最大の課題であるアーク…

スパッタリングとは大面積かつ、均一に薄膜形成が可能な方法であり、 半導体やLCDの製造に広く使用されています。 ただ、最大の課題である『成膜中に発生する異常放電（アーキング現象）』は ターゲット表面が溶融、飛散することにより製品歩留まりを低下させてしまいます。 スパッタリング成膜『HIPIMS』の特性や特徴、アーキングの対策方法など 図解でわかりやすく解説した技術資料を無料プレゼント！...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

柔軟性に優れた多芯ケーブル【耐屈曲耐熱電線『FFタフラ』】

高温下などの過酷な環境に！優れた柔軟性・耐熱性などの特性を持つ多芯ケー…

『FFタフラ』は、フッ素樹脂の特性を活かし、耐熱性・耐油性・耐薬品性・耐スパッタ性に優れた耐屈曲・耐震用多芯ケーブルです。 導体を細線化し絶縁にFEP、シースに可とう性フッ素樹脂を組み合わせるこ とで柔軟性を実現。また、耐屈曲用ケーブルでは最高レベルの200℃での連 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社福電

半導体製造装置用電源『GEXUS』

マスタースレーブ運転により、大出力化が可能！15kWスパッタ用直流電源…

『GEXUS』は、半導体成膜（スパッタ）用の電源です。 多段インバータ方式採用により、極めて少ないアークエネルギーを実現。 ワイドレンジインピーダンスで、進化する高性能、高信頼性を有しています。 ユニット単体出力は1.5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オリジン エレクトロニクス事業

圧電膜成膜装置

MEMSやFBARの生産に特化した成膜装置です。

米国AMS社スパッタ装置(圧電膜、誘電体膜、メタルスパッタ装置)は、Al膜、Mo膜をメインに、その他多くの膜において高い面内均一性を達成します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

撚り線(ストランド)コイル

撚り線以外もさまざまな形状が可能！真空装置に使われている産業・医療用コ…

岳石電気は常にお客様の「本当の狙い」「最終的な目的」を理解し、ご要望に 合わせた製造・開発を行ってきました。 「撚り線(ストランド)コイル」は真空スパッタ装置、成膜装置(PVD・CVD)等に 使われている製品で、撚り線以外もさまざまな形状が可能。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【その他のコイル】 ■センサ・分析機器用...

メーカー・取り扱い企業： 岳石電気株式会社

シンコー株式会社　会社案内

切る・削る・磨く・溝入れなど、確かな品質でニーズにお応えします！

ております。 材料開発ではフェライト単結晶、サファイア単結晶を開発し、 精密アッセンブリーでは、クリーンルームを使用した組立、検査を実施。 磁気ヘッド製造としては、ガラス（SIO2）スパッタ、金属膜（Au、Cr、Fe、Ta） スパッタ（Å単位）ガラスボンディングなどの膜形成、接着、加工を行っております。 【事業内容】 ■ミクロン、サブミクロンの機械加工 ■材料開発 ■精...

メーカー・取り扱い企業： シンコー株式会社

自動テストシステム『PXI パワー 汎用スイッチ モジュール』

最大2.5Aまでのリード・リレーとメカニカル・リレーのソリューション

めに慎重に選択されています。 また、コネクター同士を接続するためのケーブルの組配も承ります。 リードリレーのバージョンは、低・中負荷の切替条件の下で優れた接触性能を 発揮するルテニウムをスパッタした高品質のリレーを使用しています。 【特長】 ■最大2.5Aまでのリード・リレーとメカニカル・リレーのソリューション ■単極単投、単極双投、２極単投と２極双投のバージョン ■多彩なセ...

メーカー・取り扱い企業： アンドールシステムサポート株式会社 自動テストソリューション事業部

薄膜集積回路部品

マイクロ波帯でも損失の少ないセラミック基板から薄膜パターン形成まで一貫…

弊社は、セラミックス基板をベースにした薄膜集積回路のパターン形成をはじめ、成膜、ダイシングに至るまで一貫した製造設備を備え、各種回路のご要求に応じております。スパッタ装置、蒸着装置、ドライエッチング装置等を備え、量産体制も整っております。また、開発・研究に関わる各種回路についても技術面や納期面等の様々なご要望に応じております。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社