リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リニアガイド（リニアモーションガイド）［THK公式］

工作機械、半導体・液晶製造装置、産業用ロボット、医療・福祉、輸送機器、…

す。同程度の許容荷重の場合でも、 「点接触」タイプの直動システム製品に比べ、 コンパクトに設計できます。 ■製品オプション ▢異物の混入対策 粉塵・切削屑・スパッタ等の対応オプションを準備。 ブロック裏面からの異物混入対策もあります。 ▢潤滑不足による破損対策 潤滑メンテナンス間隔を延長できる潤滑装置もご用意しています。 ▢リ...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社