JUKI新製品公開！6/12~14実装プロセステクノロジー展出展

PRJUKI Smart Solutions「高効率、最適化、高品質な生産…

JUKIは6/12(水)～6/14(金)に東京ビッグサイトにて開催される 「第25回 実装プロセステクノロジー展」に出展いたします。 今回の実装プロセステクノロジー展では、 JUKI Smart Solutions「高効率、最適化、高品質な生産プロセスの実現でお客様の課題を解決」 をテーマに、プラネットヘッドP20Sを加えた「高速フレキシブルマウンタ LX-8」をはじめ、 世界初公開...

メーカー・取り扱い企業： ＪＵＫＩ株式会社

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-450 series

減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-450

液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 各種液体を精密流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754） ○常圧条件下で水の気化供給が可能 ○最高200℃の加熱が可能 ○コン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

*高真空ダイカストシステム「VACU2シリーズ」

マルチステージ 真空プロセスにより、ダイカスト(アルミニウム/マグネシ…

真空状態(減圧下)で行うダイカストであり、空気を巻き込むことで生じる鋳巣等を減少、鋳造欠陥を減らします。 •2段階排気プロセス ショットスリーブとモールド・キャビティ内を2段階に分けて排気します。 第1排気プロセスで、ショットスリーブに設けた大口径の吸引口より真空引きを行うことで、ショットスリーブとモールド・キャビティ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

ドライポンプ COBRA Semicon ファミリー

SEMICON Japan 2023に出展！ハーシュプロセスにおいて従…

6 【製品説明】 COBRA Semiconファミリーはスクリュー式ドライポンプです。半導体、ソーラーモジュール、フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。半導体業界の複雑な条件のアプリケーションに特適用可能な設計です。 【特長】 COBRA Semiconファミリーではいくつかのシリーズを展開してお...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

液封式真空ポンプ（水封式真空ポンプ）

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮で…

を含む気体（凝縮性気体）の排気にも対応 ○封液をクローズド（閉サイクル）システムで循環することにより、 　 発生する廃液を最小に抑えることも可能 ○他のポンプなどと組合せることにより、様々なプロセスに対応 ・ルーツポンプと組合せることにより、少ないエネルギーで大排気、高真空を実現（PRLシリーズ） ・アトモスタ（空気エジェクタ）と組合せることにより、到達圧力を有利にし、 　キャビテーシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ラボ試験および少量生産向け卓上型真空装置『VacuLAB-X』

ヒンジ付きドアと検査窓が標準装備！処理プロセス全体を通じてプラズマ放電…

AB-X』は、コンパクトなため、複数の部署間で簡単に移動でき、様々な テストや検査のほか、少量生産バッチにも使用できる卓上型真空装置です。 統合型のPro-face製パネルを利用し、簡単にプロセスを制御・監視可能。 すべてのプロセスパラメータは本パネルに表示されます。 標準的なセラミック絶縁電極を採用しているため、当装置で実施したテストは、 「VacuTEC」を利用して大規模生産...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社第一メカテック

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

スクリュー真空ポンプ COBRA NC シリーズ

化学、製薬業界の各種プロセス用途をはじめとした多くのアプリケーションに…

COBRA NC シリーズは、効率性の優れたドライスクリューポンプです。 当シリーズは、今までの堅牢な構造はそのまま残し、改良を加えました。 非常に厳しいプロセス条件下でも、 特殊のコーティングを施した一体型の不等ピッチ形状スクリューロ ーターが安全性・信頼性の高い運転を実現し運転コストについても低減しています。 【特長】 ● 高度なスクリュー設計...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

ロールtoロール式 減圧プラズマ処理装置『PR Series』

ロール状フィルム基材の処理に対応。 減圧プラズマ処理により、アッシン…

レジストアッシング、絶縁膜エッチングをはじめ、 用途に応じた様々な官能基（親水, 親油, 密着性向上,など）を 基材表面に強固に付与することができます。 本社にデモ機を完備し、随時プロセス評価処理をお請けしております。 詳しくはお問い合わせください。 【特長】 ■ロールtoロールタイプ ■減圧下でプラズマ処理 　・大気圧装置と比べて有機物除去効果や表面改質効果が高い ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

導入事例集贈呈。『炭化水素洗浄機の導入効果や問題解決例』を掲載

洗浄でお困りの方必見！モノづくりのプロセスに不可欠な洗浄工程での”品質…

コンパクトなワンバス式洗浄機～量産に対応する多槽式洗浄機までお客様に好適な洗浄システムを設計・製造します。 工業用部品の一般洗浄～精密洗浄を3,400台以上の豊富な実績と技術力でお客様の洗浄プロセスを支えます。 標準機に加え特注システム・大型システムにも対応します。 ※お気軽にお問い合わせからご連絡ください。...

メーカー・取り扱い企業： 河新株式会社 洗浄機・洗浄剤│バレル研磨機材│ブラスト機材│研磨材　販売及び受託加工

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

小型真空熱処理装置(真空炉)

温度プロセスを7段階変更可能！ニーズに合わせた温度管理が出来ます！

本製品は、全工程を自動運転可能にした小型真空熱処理装置(真空炉)です。 温度プロセスを7段階変更可能なため、200℃/30分、400℃/15分など ニーズに合わせた温度管理が出来ます。また、真空ポンプを シャットダウンせずに真空容器の大気解放が可能なため処理品交換後 すぐに...

メーカー・取り扱い企業： サイエンスプラス株式会社

卓上真空貼合装置

研究開発（要素技術）に最適！/卓上真空ラミネーター

基板サイズ：20mm×20mm～120mm×120mm　 上ステージ：石英（UV照射エリア110mmロ） 下ステージ：アルミ 加圧力：40kgf 自動制御 加圧プロセス：ロードセル搭載 信号を読み取り2段加圧プロセス等対応可能 到達真空度：10Pa以下 真空度調整用リークバルブ付き 設置スペース：フットプリント270mm×440mmの省スペース設計...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

イオンゲージ『M-311HG』

再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れ…

【その他特長】 ■10^−7Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることなく、 　スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能 ■圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、 　プロセス圧力コントロールにも使用できる ■高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No78

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.78です。【アルバッ…

「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.78」は、真空に関する最新技術資料です。 次世代半導体用ナノカーボン材料の開発動向をはじめ、大容量PCRAM 向け量産装置と プロセスの開発や、アルバックにおけるSiC パワーデバイスの量産技術開発進捗 などを掲載しています。 今なら最新技術資料を無料でプレゼント中です。 【掲載内容】 ■次世代半導体用ナノカーボ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ピラニゲージ（Niフィラメント）『M-351PG』

再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応し…

ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空エジェクター、大気圧急速開放弁付 - EJ-ATM

多段タイプの真空エジェクター / EJ-ATM EJ-ATM-LINE…

＜　代表的な用途　＞ • 成形プロセス中の部品のハンドリング用ロボットセル、 -> 例えば、ベンディングマシン、シートメタル 成形プレスおよびベンディングプロセス用に使用する場合 • ガラスハンドリングマシン • 包装用マ...

メーカー・取り扱い企業： リンケージ株式会社 東京オフィス

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

ライ真空ポンプや油回転真空ポンプなどの「真空ポンプ」、スパッタイオンポンプ､クライオポンプなどの「クライオポンプ／冷凍機」、大気圧ピラニ真空計､キャパシタンスマノメータなどの「真空計」、ベーシックプロセスガスモニタなどの「ガス分析計／プロセスモニタ」等、多数掲載しています。 今なら総合カタログ無料でプレゼント中です。 【掲載製品】 ○真空ポンプ ○クライオポンプ／冷凍機 ○真空計 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。 メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電源、ロボット等の修理代替え品等を用意し、信頼のあるパーツと技術サービスのご提供を通してお客様のデバイス生...

メーカー・取り扱い企業： メンテナンス･リサーチ株式会社

卓上真空ラミネーター　真空貼合装置

研究開発（要素技術）に最適！/卓上真空ラミネーター

基板サイズ：20mm×20mm～120mm×120mm　 上ステージ：石英（UV照射エリア110mmロ） 下ステージ：アルミ 加圧力：40kgf 自動制御 加圧プロセス：ロードセル搭載 信号を読み取り2段加圧プロセス等対応可能 到達真空度：10Pa以下 真空度調整用リークバルブ付き 設置スペース：フットプリント270mm×440mmの省スペース設計...

メーカー・取り扱い企業： 常陽工学株式会社

テクノアルファの『リフロー装置』

安定的な温度プロセスを実現できるリフロー装置などを多数取り扱っています…

当社取り扱いの『リフロー装置』をご紹介します。 当社ではプロセス開発、マイクロエレクトロニクスパッケージの少量生産に 好適なSST社製「真空・加圧リフロー装置」をはじめ、高精度に昇温・ 降温設定をオート制御できる「Model 5100」や3D実装・立体的な...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

油拡散真空ポンプ

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポ…

簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポンプ 【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

バタフライコントロールシステム　Series 61.2

CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出） -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

角型ゲート/インサート MONOVAT

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロック…

-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

【資料】真空EFEM

酸素フリー、高効率のウェーハプロセス！図を用いて分かりやすく説明してい…

当資料は、有限会社ベックが取り扱う『真空EFEM』の資料です。 真空ロードポートVLPの構成をはじめ、真空EFEMの構成や多数の 真空EFEMのオペレーション、真空EFEMとプロセス装置を掲載。 また、カラーで図を用いて分かりやすく説明しています。 是非、ダウンロードしてご一読ください。 【掲載内容】 ■真空ロードポートVLP (Vacuum Load Por...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

第17回"超"モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」を受賞！

17年連続受賞！半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ…

象に選出している」賞です。 2020年 第17回の"超"モノづくり部品大賞では、「高精度流量バルブ」が 「機械・ロボット部品賞」を受賞いたしました。 「高精度流量バルブ」は半導体製造プロセス用に当社が新しく開発した ダイヤフラムバルブで、設置面積の大幅カットを実現できます。 製品詳細は随時HPで公開いたします。 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

材質良い・広範囲応用な真空チャンバー「HTC真空チャンバー」

お客様に全面的な真空プロセス対応を提供します。

スト、研磨、電解研磨等可能です。それ以外、日揚科技も真空装置を組立能力を持ち、真空チャンバーの設計と製造するサービスを延ばして、真空マジュール或いは真空システムが統合できます。お客様に全面的な真空プロセス対応を提供します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

Gimatic：マルチベロー吸着カップ、シリコン製-VG.SBC

吸着カップ / シリコン製、食品包装材ワークの搬送用に開発されたベロー…

• 壊れやすい製品を含む袋および液体と冷凍食品が入った袋のハンドリングに理想的 • 強力なベローズ、柔らかく柔軟なリップと特別な高流量継手 • 2.5ベローズ付バージョン • 超高速包装プロセスにおいて高い安定性（ケース包装機およびピックアンドプレース用途）...

メーカー・取り扱い企業： リンケージ株式会社 東京オフィス

真空加熱乾燥炉

スパッタターゲットの真空乾燥や真空部品の真空乾燥、治具等の真空乾燥に利…

『真空加熱乾燥炉』は、自動乾燥プロセスレシピが30通りあります。 使用温度範囲は最高450℃。スパッタターゲットの真空乾燥をはじめ、 真空部品の真空乾燥や、治具等の真空乾燥にご利用いただけます。 各種オーダーメイドも製作...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社