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23件 - メーカー・取り扱い企業
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1429件
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PRヘリウム/アルゴン/水素ガスを低濃度から高濃度までの測定に!
■配管内のガス濃度測定が可能 ■リアルタイム測定が可能 ■無線機能を搭載 データをPCに転送・保存。保存したデータを元に履歴を管理! 使用方法などの詳細はお気軽にお問い合わせください。 MoLeTELLは、日清紡ホールディングス株式会社の登録商標です。...対象検知ガス:空気中の水素(トレーサーガス含む)、ヘリウム、アルゴンガス(ガス種は選択ください) 濃度検知範囲、使用温度範囲、使用湿度...
メーカー・取り扱い企業: 日清紡ホールディングス株式会社
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固形物を含む液体にも対応する定量充填機『フレックス充填システム』
PRモーノポンプの『フレックス充填システム』は、低粘度液はもちろん高粘度液…
『フレックス充填システム』は、 ・サニタリー仕様モーノポンプ ・液切れの良いジャストバルブ(充填弁) ・コントローラー をセットにした、定量充填に適したシステムです。 [特長] ○ 固形物や気泡を含んだ液体も傷めず、定量充填 ○ 液切れが良く、容器や周辺を汚さない ○ 専用コントローラーで充填量の設定・変更も容易 ○ 液や製造ラインに合わせ、ポンプ+充填弁+制御方法の組み...
メーカー・取り扱い企業: 兵神装備株式会社 東京支店
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4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4280-AMシリーズ
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載
ソーターシステム6インチは、カセット2個を2段(計4個)に配置することで幅方向はインラインタイプの50%に縮小します。装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載しております。多軸型GCRタイプを搭載することにより、ロボットのみでカセットの平行配置が可能です。ガラス対応アライナは透明、半透明、シリコンのセンタリングとオリフラロケートを高速、高精度に位置決め可能です。 詳しくは...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ
STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます
真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSTVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ
チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能
5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズは、多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与しており、チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。並列したステージへのアクセスが可能(レイアウトのインライン化に最適)です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズ
真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能
342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズは、真空環境下におけるサセプタ(化合物半導体、シリコンウエハ等)をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。位置決め用センサを真空環境下に配置することで、本気単体のみの設置だけで完了し、装置設計の自由度もUPします。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ワーク(トレイ)重量4kgまでのア...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100S…
小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。...【特徴】 ○アームバリエーション:100mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算0.5kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ
真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています
ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm ○Z...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3000CSシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能で、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4000-PMシリーズ
300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-PMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適
マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:550m...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。
スーパークリーンルーム用300mm対応MCR3000Cシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧くださ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ
真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボットSTHR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でのウェーハの交換が可能です。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくは...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能
ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm、700m...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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