発生装置 | イプロスものづくり

PR砥石寿命２倍砥石切込み５倍加工抵抗50％減ファインバブルを…

ナノバブル発生装置　PANDORA（パンドラ）は製造業向けに大量のナノバブルとマイクロバブルを同時発生させる事が出来る装置です。ナノバブルを現在お使いのクーラントに発生させる事により冷却効果、洗浄効果を発揮し飛躍的に砥石の寿命を延ばしたり、冷却性能を上げ寸法精度を向上させたり、条件UPにて加工能率を向上させることが可能です。是非、業界最多バブル量にて効果を実感下さい。...国内...

メーカー・取り扱い企業：昌弘貿易株式会社関西営業本部

『ガラス瓶耐内圧試験装置』※油圧レスで省エネ＆低騒音

PRJIS S 2302「炭酸飲料用ガラスびんの耐内圧力試験方法」対応。加…

『ガラス瓶耐内圧試験装置』は、高精度な加圧と任意の昇圧カーブ設定が可能な装置です。圧力発生装置にはACサーボモータ駆動を採用し、油圧レスにより省エネで低騒音を実現。 JIS S 2302（1994）に対応しており、炭酸飲料用ガラス瓶の耐内圧力試験に適しています。【特長】 ■加圧精度は設定値に対して±0.05MPa ■任意の昇圧カーブが設定可能 ■圧力発生装置...

メーカー・取り扱い企業：株式会社山本水圧工業所本社・工場

卓上型表面改質装置

独自の技術でプラズマを発生/高周波、マイクロ波電源等は使いません。 …

UV接着・接着・薄膜形成・印刷・貼り合わせ等を行う前に、本装置による処理を行うことにより、濡れ性、親水性が向上し、密着性・接着力のアップが期待できます。接着でお困りの際は是非本装置をご検討ください。 ...処理テーブル有効処理エリア：W175mmｘＤ185mmｘＨ約120mm プロセスガス　：空気装置サイズ　　：W850mmｘＤ476mmｘH530mm 装置重量　　　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イーエッチシー

高田工業所製超音波カッティング装置『CSX501』

全自動&装置機能UP&遠隔監視機能を搭載！ダイシング工程の生産性向上に…

『CSX501』は高速切断を実現可能とする両端支持機構を備えた超音波スピンドルを搭載し、生産性向上や新たな機能を追加した超音波カッティング装置です。装置監視機能を追加し、不測のトラブルが発生した際も遠隔サポートにて最小限の装置停止時間での復旧が可能となりました。 ■特長・SiC、アルミナ、PZTなどの難切材からガラス、樹脂などの複合材など広範囲な材料の高速で高品質な切断を実現！ ...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社プロセスソリューション営業部実装プロセス営業室

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、位置決機構…

1.排気回収機構：クリ-ンルーム対応ベルヌーイチャック「フロートチャックWAS型」は、保持するウエハに対向する作動面と、作動面の中央部に設けられたクッション室と、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けて構成されています。ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する。　クッション室に生じるエゼクタ効果に...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

『蒸気2流体洗浄装置ハンディガンタイプ』

30μm以下の水滴と蒸気の超音速噴射で、切削油など頑固な汚れもしっかり…

『蒸気2流体洗浄装置ハンディガンタイプ』は、水滴と蒸気を超音速で噴射することで発生する衝撃波（キャビテーション）とせん断力により異物、汚れを除去する装置です。電気、純水、圧縮空気（or窒素）で動作が可能。ハンディガンタイプのため汚れを的確に除去できるほか、装置はキャスター付きで容易に移動できます。【特長】 ■キャビテーションの効果を利用して汚れを除去 ■薬品を...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

超音波発生器

半導体用ウェーハ洗浄から産業用部品洗浄まで幅広い分野の洗浄装置に応用で…

当社が販売している超音波発生器のメーカー、KYUNG　IL　MEGASONIC(韓国）は創業以来１０年の製造経験を持ち、国内の半導体メーカーはもとより、欧米にも輸出実績を持っています。特に、三星電子、及びHYNIXには、過去3年間で約３００台以上の実績を誇り、装置の完成度の高さと、安定性には定評があります。シリコンウェーハー、ガリウム砒素、ハードディスク、液晶基板等の通常洗浄はも...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インテリンク

卓上型ＵＶ照射装置　MUV

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置【特徴】 ○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板（試料）にUV照射を行い　表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能 ○基板（試料）ホルダーの上下、または取替えが容易なため　厚みのある基板（試料)を処理することが可能 ○オゾン発生型装置は、オゾンによる処理を併...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メープル

HFEベーパー乾燥装置

安全性を十分考慮した製品

ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを均一に沸騰させ、槽内に均一なベーパーを発生させることができます。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン

１０Gガラス基板非接触搬送装置

気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い。負圧発生量は増加し、負荷発生効率は向上する。従来技術に比し格段に懸垂能力が増加し、気体消費量がほぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

溶解槽

当社が開発したジンケート浴専用溶解槽は、亜鉛溶解時間を短縮し短時間での濃度変更にも対応できます。濃度管理は1槽ごと独立して行えるのでこまめな濃度管理・調整が可能です。また亜鉛板補給作業が大変容易になり、溶解槽は密閉されているので健康を害し建物を老朽化させる腐食性ガスは外部に発生しません。 ★亜鉛溶解速度の高速化　亜鉛溶解時間を短縮し、短時間でイオン化した溶液の補充が可能なので急速な濃度変更に...

メーカー・取り扱い企業：木田精工株式会社

トランス・大型電磁石・制御装置・電源装置

この国の産業を支える独自に培ってきた先進技術

直接水冷トランス・水冷電磁石・水冷チョークコイル・水冷リアクトルを代表とする技術力を用い、常に新しい分野に挑戦、様々な市場を拓いてきました。これらの製品は500を超える各種企業、大学、専門学校、国立研究機関等に納入し、電機、電子、エネルギー、情報機器、機械、各分野で重要な役割を果たすと共に、時代の要請に応える先見性の高い製品として、お客さまの好評を得ております。特にトランスと電磁石に関しましては、...

メーカー・取り扱い企業：東邦電気株式会社

超臨界流体洗浄・乾燥装置

微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥を行うことが可能

従来の「液化二酸化炭素で置換する工程」を「超臨界二酸化炭素で置換する工程」に置き換えたことにより… ●ポンプにより圧送される液化二酸化炭素を予備加熱することで粘性の低い超臨界流体としてチャンバーに導入するため、ナノレベルの微細構造物に対してもダメージの少ない洗浄・乾燥が行えます。 ●チャンバーの冷却、加温という温度サイクルがなく一定温度での洗浄・乾燥が行えるめ、処理時間の短縮が可能です...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レクザム香川工場

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】酸・アルカリなどのガスを適切に処理。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン

12インチ対応ウェハーワックス貼付装置『TEC-1001MB』

化合物半導体ウェハーなど、様々なワークに対応可能です！

『TEC-1001MB』は、高品質な研削・研磨工程を実現するウェハーワックス貼り付け専用の装置です。ウェハーの特性に合わせ、圧力や温度、時間の条件設定が可能で、デバイスへのダメージも抑制できます。加熱・冷却機構の適正化と高剛性な機構設計により、均一な温度分布や安定した荷重分布を実現し、精度悪化に影響するワックス厚みムラの発生を防ぎます。【特長】 ■ウェハーの特...

メーカー・取り扱い企業：株式会社くまさんメディクス MPSD事業部　大津第1工場

気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」

気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「…

ソーラーリサーチ研究所にて発明開発した気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績をもとにオーダーメイドにて製作します。・ウエハ非接触搬送装置・ガラス基板非接触搬送装置・非接触ピンセット・太陽電池ウエハ非接触搬送装置・ウエハチップ非接触搬送装置・レンズ非接触搬送装置・フィルム非接触...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

VGFS非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベル…

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」シリーズは新しく気体垂直噴流方式を採用しております。気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

クラック、マイクロクラックによる不良等にお困りではありませんか？

【事例紹介】従来の硬い超硬製コレットをゴムコレットに置き代えた結果、ク…

オルテコーポレーションは、半導体製造装置の消耗パーツを取り扱っている会社です。当社が提案した、センサーチップの移載工程での不良改善事例をご紹介します。 ■お客様の悩み・クラック、マイクロクラックによる不良が50%発生している・素材が脆弱なため、ダメージの少ないピックアップコレットが必要・移載装置の搬送速度は、最も遅い速度に設定したが改善されなかった ↓ ■提案《超硬製...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。「微小物の非接触搬送装置」は、空気を基板に向...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

複数の異なる「超音波振動子」を同時に照射する技術・装置

超音波を＜超音波ダイナミックシステムとして＞とらえ、解析と制御を行いま…

超音波システム研究所は、複数の異なる周波数の「超音波振動子」を利用する技術を応用・発展させました。今回開発した応用技術は　定在波の制御により、キャビテーションと加速度の効果を　具体的な伝搬周波数のパワースペクトルとして変化させるという技術です。　周波数２８+７２ｋＨｚ、出力２００Ｗの超音波照射で、　1ミクロンの分散効果を実現させることも　周波数２８+４０ｋＨ...

メーカー・取り扱い企業：超音波システム研究所

真空熱処理装置

真空～大気環境でパーティクルレスでの熱処理を実現します。

有機EL等新しいパネル技術関連における真空・熱関連装置の設計、製造、販売を行っています。大気・真空を繰り返す際に発生するパーティクルを対策した幸和独自の技術の真空ホットプレートの提案をいたします。 “目に見えない熱や圧力をコントロール”するために、技術と知識を駆使してお客様のニーズに合わせた装置、設備をトータルでコーディネートいたします。 ...液晶テレビやスマートフォンのディスプレイなど...

メーカー・取り扱い企業：株式会社幸和

新高濃度搬送システム　【コンボイ”Convoy”】

難しい粉が、諦めていた粉が、能力が不足していた搬送が、よく閉塞する搬送…

従来の搬送能力で満足出来ない方、増産したいが搬送能力がネックになっている方、よく搬送ラインが閉塞してお困りの方に朗報です。特許取得！！！今までの空気輸送システムの欠点を克服した画期的な搬送システムです。従来の問題点：従来の空気輸送では、空気輸送中の輸送パイプライン内で粉体が固気分離し、管底に沈降、停滞し、コレステロールの様になり、配管内径が細くしなっていき、あるとき突然溜ま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ワイ・エム・エス本社営業部

FOUP洗浄装置

特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】・洗浄液は純水のみ使用・他社製品に比べ純水の使用量が少ない【高い洗浄能力】・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン

剥離装置　剥離・アルカリエッチングライン

高精度なアルカリエッチングが可能な、高精度処理タイプです。

剥離・アルカリエッチングラインは、高精度なアルカリエッチングが可能な、剥離装置です。ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せます。上エッチングは個別圧調でさらに高精度です。スプレー除去中に発生するレジストの微細片を処理するカス取り機構が付いています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○薄板搬送可能な剥離装置 ○FPC搬送対応...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

【事例】ピックアップのダメージを軽減するには？

マイクロクラックなどのダメージ不良改善！ピックアップツールならお任せく…

当社が提案した、センサーチップの移載工程での不良改善事例をご紹介します。インジウムリン、ガリウムヒ素のセンサーチップを検査ステージへ移載する工程で、クラック、マイクロクラックによる不良が発生していました。素材が脆弱なため、いかにダメージの少ないピックアップコレットにするかが課題でした。従来の非常に硬い超硬製コレットをゴムコレットに置き代えたところ、クラック、...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

アーク放電型イオンプレーティング装置「SIA-400T」

ドロップレットを減少させるための蒸発源高速回転機構付です。

SIA-400Tは、工具・刃物・金型等への「表面硬化膜」及び、「装飾膜」に最適なホロカソードタイプを、さらにバージョンアップしたアーク放電タイプ（蒸発源表面上にアーク放電を発生させ、溶解・蒸着・イオン化という過程を経て膜形成）を採用した装置です。【特徴】 ○ムダを極力少なくし、処理量の確保をはかった ○1バッチごとの蒸発源の補給が不要 ○基板取付けを容易にした担当者にやさしい装置 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

ゴムコレット特注サイズのご提案

1 辺最小150μm から対応！金型を新たに作ることなく希望サイズのゴ…

オルテコーポレーションは、半導体製造装置ごとに最適化されたピックアップコレットで生産性向上のご提案をいたします。【新たな金型製作不要！ 1 辺最小 150μm からの特注サイズに対応】工業製品のサイズが小型化していくのに伴い、半導体チップもますます小さなものが求められています。ですがコレットサイズがチップに合わないことが原因で不良の発生が見受けられます。従来、ゴムコレットを...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

チップ持ち帰りエラーゼロを実現するご提案

半導体チップの持ち帰りをゼロにし、歩留まりを向上！

オルテコーポレーションは、半導体製造装置ごとに最適化されたピックアップコレットで生産性向上のご提案をいたします。【持ち帰りエラーゼロを実現する独自の技術】持ち帰りエラーのトラブルはゴムコレットの粘着性に起因するため、金属や樹脂（プラスチック）製のコレットを使用する方法をお探しの方もいらっしゃいます。しかし金属や樹脂コレットではコレットキズによる不良が発生し、期待した効果を見込め...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ枚葉供給装置」

段積みされた太陽電池ウエハを１枚ずつ取り出し、供給する「太陽電池ウエハ…

段積みされている太陽電池ウエハを１枚ずつ、高速にて損傷させることなく送り出し、供給します。　積層された太陽電池の上部に設けられた当社開発の非接触搬送装置「フロートチャックSK型」（特許）より空気を噴出させることにより最上部の太陽電池ウエハとの空間に負圧を発生させ、最上部の太陽電池ウエハを吸引浮上させる。　浮上した太陽電池ウエハは、「フロートチャックＳＫ型」と同調した移送機構により１枚ずつ前方に...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

クリーンルームに適した耐震金具カタログ

アンカーレス耐震工法なので、床への穴あけ作業が無く粉塵や振動が発生しま…

今まで生産設備や研究機器の地震対策を考えた時、アンカーでの対策が一般的でした。しかしアンカー対策を行う場合は、床への穴あけ作業のため粉塵や振動が発生し、クリーンルームなどでは対策自体が行えない場合がありました。アンカーレス耐震工法の場合は、プロセブン耐震マットと専用の耐震金具を使用するため床への穴かけは必要なく、施工時に粉塵に振動は一切発生しません。【特長】取り付け取り外しが簡...

メーカー・取り扱い企業：株式会社旭電通

非接触搬送装置「フロートチャックWLNA型」

FPC・スルーホール基板・フィルム・通気性不織布を傷を付けずに掴んで搬…

フィルム・アモルファス太陽電池・紙・グリーンシート・不織布等の柔軟物・通気性・発泡体・軟弱体を把持、チャックし搬送します。ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持し、搬送、積層、ハンドリングします...フィルム・アモルファス太陽電池・紙・グリーンシート・不織布等の柔軟物・通気性・発泡体・軟弱体を把持、チャックし搬送します。ワ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

Prestige エッチング加工製品、半導体外観検査装置カタログ

半導体の欠陥、ムラ、シミの検査を同一の検査工程で一度に行うことが可能。…

半導体の各製造工程、成膜、レジスト塗布、リソグラフィー、エッチング、CMPなど、ウェア上の各ダイに均一な製造工程を行いたいもの。しかし、現実には異物混入、パターン欠陥や膜厚などのばらつきにより、ウェハー上にムラが発生します。その各工程に自動化した検査装置を入れることにより、各工程の半導体工程作業の微調整を可能にします。また、半導体のウェハーのみならず、金属エッチング加工製品では、目...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

ウエキコーポレーション　ガストータルソリューション

ガス設備設計・製作・施工、ガス使用現場のトータル管理、高圧ガス・特殊ガ…

etc 半導体・液晶用ガス：キセノン、ネオン、クリプトン、各種混合ガス標準ガス：大気汚染測定用、ガス検知器校正用、自動車排ガス測定用、石油化学工業用・ガス機器販売ガス機器：ガス発生装置、ガス精製装置、ガス混合装置、ガス回収装置、排ガス除害装置、露点計、各種分析計、測定器、ガス検知器、検知警報装置 etc 低温機器：クライオスタット（極低温恒温槽）、液化天然ガス自動補給装置、低...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウエキコーポレーション

極高真空用フッ素グリース『ロゲネストラムダZLVP』

極高真空下（10-8Pa以下）にてアウトガスが発生しにくいグリースで…

【特徴】 • あらゆるグリースの中で、最高レベルの長寿命性を有します • 低発塵グリースとしても活用可能です • 市販グリースで、最高の蒸気圧特性を持つフッ素グリースです • 酸化安定性、耐薬品性、電気絶縁性にも優れています • RoHS指令に対応製品...【用途】極高真空下で使用されるベアリング、ポンプ、バルブ摺動部位など • 半導体製造装置 • 有機EL・ソーラーパネル製造装...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニッペコ本社

【加工事例】ベースブレード(電子基板製造装置)

治具などを工夫して品質を安定！電子基板製造装置の加工事例をご紹介

「ベースブレード」の加工事例をご紹介いたします。当社では珍しい月産400枚を超える量産品です。反りが発生することから治具などを工夫して品質を安定させています。また、クロックリング(プラント機器)や、ハウジング(工作機械)などの加工も行っております。ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。【加工内容】 ■材質：S50C ■サイズ：835×150×14 ■工程...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＩＳＳ西川機械

次世代クリーン化技術！超音波非接触浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…

従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リスク無し ◆ 超低エネルギー搬送技術 ◆ 超低ランニングコスト ◆ 基材へ余計な負荷をかけずに搬送・低破損率 ....

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケー・ブラッシュ商会本社

PMC-ROM,EP-ROMのデータ復旧とバックアップコピー作成

FANUC旧機種のPMC-ROMデータが消えると、設備が長期使用不能に…

FANUC製CNCのPMC-ROMで、Flash-ROM以前のEP-ROMタイプを使用しているシリーズ0,15,16,10,11(0M,0T,15M-A,15T-A,16M-A,16T-A,10M,11Mなど)のPMCに使用されているEP-ROMは、20年以上経過してパリティエラーやデータエラーでROM異常が発生しやすくなります。 PMC-ROMのデータが飛んでしまうとFANUCでは復元できず、...

メーカー・取り扱い企業：アネックソフト株式会社

半導体製造装置用チラー

半導体製造装置向けに設計されたチラーです。

半導体製造プロセスで使用される多くの装置には発生する熱を除去、一定温度を保つために冷却装置（チラー）が必要とされます。 ThermoFisherScientific社半導体製造用チラーは・高い生産性・長期にわたる信頼性・操作ミスを誘発しない簡易な操作性　が提供出来るようデザインされており、各社装置メーカー仕様に　設計されたOEMモデルです。 ...MX500 ...

メーカー・取り扱い企業：エムエス機器株式会社

水漏れをセンサーと検知器で確実に把握『3M漏水検知システム』

データセンター、病院、マンション、半導体等の製造現場などの装置内や配管…

3M漏水検知システムはセンサー電極間の抵抗を検出する方式を採用しています。判断制御を行う「検知器」と液体を検知する「センサー」を用途に合わせて組み合わせいただけます。 ※詳細はカタログPDFをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。【漏水検知器】検知時に警報ランプが点灯します。外部警報器へ出力が可能です。基本性能を備えた汎用モデルから、複数個所検知可能なモデルや装置や壁面に組込む...

メーカー・取り扱い企業：スリーエムジャパン株式会社

『半導体製造装置の電気制御設計　コストダウン技術ハンドブック』

無料プレゼント！半導体製造装置に起こるトラブルや基礎知識を網羅した小冊…

『半導体製造装置の電気制御設計　コストダウン技術ハンドブック』は、半導体の製造装置に関する基礎知識や注意したいトラブルの対処法まで、徹底解説した小冊子。億単位の損害が発生してしまう「制御盤の誤作動と緊急停止」の原因と対策や、その改善事例まで詳しく掲載！半導体製造に関わる方は必読の一冊です！【掲載概要】 ■半導体製造装置にまつわる基礎知識 ■制御盤によくあるトラブル ■...

メーカー・取り扱い企業：大迫電気株式会社

Ion Beam Delayering装置/半導体物理解析

半導体故障解析歩留まり解析リバースエンジニアリングマイクロ…

半導体故障解析における材料層の層剥離や除去に対して、迅速な結果を提供する費用対効果の高いソリューションです。広い面積にわたって、優れた均一性と最小限のダメージを実現します。複数のイオンビームエッチング技術を使用することにより、単一層の異なる材料のエッチングレートを一致させることができ、化学組成に関係なく層全体を均一に除去することが可能です。 ...マイクロエレクトロニクス市場では、より高性能で高密...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

UV完全カット防虫LED蛍光灯『X-powerシリーズ』

食品工場や半導体製造装置工場向けLED照明。交流用仕様と直流用仕様両方…

多くの昆虫が見ることができる光の領域は紫外線領域に大きく偏っています。殆どの虫は400nm以下の光しか見えないが、一部の虫は570nmまでの光が見えています。電費半分の防虫ランプは虫の可視エリアであり580nm以下の波長を全てカットしているため、殆どの虫対する防虫効果を期待できます。【特長】 ■従来のタイプと比べ、大幅な省エネ効果 ■長寿命　50,000時間 ■高照度...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電費半分本社、埼玉営業所

光学レンズ・ガラス基板の水洗浄と溶剤による乾燥システム

HFE/HFC溶剤による乾燥システムは素早く水分を除去し、水染みの発生…

光学レンズ等はアルカリ・酸・中性洗剤により洗浄され、その後、純水リンス工程を経て、HFE/HFC溶剤による乾燥システムに送られて来ます。乾燥システムに大量に持込まれる水は溶剤との比重差で簡単に装置外へと取り出す事が出来ます。洗浄後の水染み発生の原因は乾燥用溶剤中に徐々に溶け込んでいく微量の水分です。この水分を確実に低濃度に保つ事が水染み「０」に繋がるのです。弊社の開発した「水分除去装置（オプション...

メーカー・取り扱い企業：大川興産株式会社

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

◎ 液晶ガラスの手動搬送に最適です。 ◎ 外部配線、配管なしで作業性がよいです。 ◎ 真空源（真空ポンプ、エジェクタ）が不要です。液晶メーカ様からの御要望でこの吸着ツールを開発しました。人による液晶製造装置への液晶ガラスの搬送に多数採用されています。この吸着ツールは、真空源（真空ポンプ、エジェクタ）が必要なく、民生の吸盤のように液晶ガラスを吸着搬送できます。原理は単純です。バルブを...

メーカー・取り扱い企業：大谷技研株式会社

フィルム表面改質装置（ロールtoロール式）

高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置

・機能性フィルム、有機EL研究用フィルム改質装置・幅200～300mmのフィルムに対応・常圧プラズマ発生装置を中央に左右往復搬送が可能・ガイドフィルム挿入、または保護フィルム合わせ巻取りモードを選択・搬送速度0.1～1m/min（実際は4m/min達成) ...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

BPS-4Hポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。電子的にロータ回転数を制御するので、...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

半導体チップの持ち帰りを防止可能　『交換式ゴムコレット』

豊富なサイズの標準品あり、カスタマイズもOK！※抽選で10名に製品サン…

当社では、低粘着性により半導体チップの持ち帰りエラーが発生しにくく交換が簡単な『ゴムコレット』を取り扱っております。豊富なサイズの標準品を揃え、ニーズに応じたカスタマイズにも対応可能。また、リーズナブルな価格設定も追求しています。現在、抽選で10名に製品サンプルを進呈中。ご希望の方は【お問い合わせフォーム】よりお気軽にお申し込みください。【特長】 ■先端形状は...

メーカー・取り扱い企業：有限会社オルテコーポレーション本社

スリットバルブシール

●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬　品性、低固着特性に優れた製品を、液晶業界向けには、基板大型化に対応した製品を製造・販売しております。 ●同業...

メーカー・取り扱い企業：三菱電線工業株式会社

微細溝加工

小径複合旋盤　微細溝加工　浅い座グリ加工　極浅窪み加工　半導体製造装置…

【材質】材質A5056（a5056）【業界・使用用途】半導体製造装置業界半導体製造装置のアルミ精密部品【材寸】 φ10 × 11.5mm 【加工】複合旋盤マシニングセンタ【特徴】こちらの製品は、材質A5056（a5056）の産業用ロボットのアルミ精密部品です。今回の製品は、写真でご覧いただける窪み部分が非常に浅く、0.05±0...

メーカー・取り扱い企業：株式会社中田製作所

セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…

半導体製造装置におけるエンドエフェクター（搬送ロボットの手の部分）には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセラミックス製のエンドエフェクターが使用されます。吸着機構を備えた搬送ハンド（エンドエフェクターのこと）には内部に流路を設ける必要がありますが、接着剤を使...

メーカー・取り扱い企業：アスザック株式会社ファインセラミックス事業部

横河ブリッジ独自の制振技術

装置の振動でお困りなら横河ブリッジにご相談下さい！

様々な装置に振動が発生しますが、精密装置においては振動が精度やスループットに悪影響をおよぼします。当社は、このような振動問題を解決する方策として一般的な溶接構造よりも高い減衰性能を持つ「高減衰構造体」を提供しております。装置の振動でお困りの方は、当社に一度ご相談ください。 ※高減衰構造体の詳細は、下記リンクをご覧ください。 ...【横河ブリッジの特徴】豊富な設計...

メーカー・取り扱い企業：株式会社横河ブリッジアドバンストエンジニアリング事業部

e-クリーン　2液1槽式脱脂洗浄機（HC溶剤+HFE溶剤）　

省スペース・低ランニングコスト・低価格の超音波洗浄機！安全・簡単乾燥を…

炭化水素（HC)系洗浄溶剤で洗浄⇒HFE溶剤蒸気でリンス洗浄⇒乾燥工程で速乾性のあるHFE溶剤を回収（乾燥・洗浄終了）⇒取り出し HC溶剤は洗浄中、HFE蒸気に覆われ、直接空気に触れる事が無い為、引火の心配が不要。リンス洗浄工程で使用するHFE溶剤の沸点は56℃で洗浄物の表面温度は56℃以上には上昇しません。洗浄後の製品取り扱いが非常に簡単になります。本装置で使用します溶剤は全て回収...

メーカー・取り扱い企業：大川興産株式会社

非接触エンドエフェクター

ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド

　「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。　このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウエハの　ローダ・アンローダに最適です。　このハンドには排気回収装置(特許）が装着されていますので、クリーンルーム内にて使用可能です。　また位置決め機構が付いておりますのでアライメント...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

凹・凸レンズ共用ベルヌーイチャックW型

凸レンズでも凹レンズでも、1台の同じベルヌーイチャックW型にて非接触に…

　非接触搬送装置「凸・凹レンズ共用ベルヌーイチャックW型」は、気体をレンズに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。　これはレンズと対じする作動面に凹・凸レンズの2種の曲率面を形成することにより可能になりました（特許Pend.）。　作動面とレンズとの間隙が大きい場合、気体噴出部ノズル、クッション室および作動面とレンズとの間隙はそれぞれエゼクターのノズ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

【事例】半導体装置の高精度架台フレーム（平面度0.1）

厚めの角パイプで製作！設置部は門型マシニングにより平面度0.1mm以内…

当社が製作した「半導体製造装置の架台フレーム」をご紹介します。稼働しても振動が発生しないよう厚めの角パイプにて製作。アルミのメインベースが乗るため設置部は門型マシニングにより平面度0.1mm以内にて加工し精度だしをしています。当社では、このような門型マシニングにより精度出しを行った架台・フレームの製作も得意としています。【製品属性】 ■業界：半導体関係 ■工...

メーカー・取り扱い企業：タカキ製作所株式会社本社/本社工場

極薄ウエハ非接触搬送装置

厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送す…

TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費量が非常に少ないく、経済的である。...TAIKOウエハ、極薄いウエハ（２０μm以下）化合物半導体ウエハを曲げ、反りを生じさせることなく、ストレスを生じさせることなく、キズ、汚れを付着させることなく非...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

モータ・コントローラ一体型BPS-i100ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。コントロ...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

自転式スピンドライヤー

■吸気量が多いので乾燥効率がN2置換方式に比べ約２倍（当社比）UP。更に大幅なコストダウン。 ■吸気エアーへのイオナイザーはN2のそれに較べ効率は段違い！ウエハの汚れを防止します。 ■パーティクル発生の主原因である軸受部は公転式で実績のある大宮工業独自の構造を採用。いつもクリーンな状態を維持します。 ■オプションで自動バランス調整装置も取付可。枚数差やキャリアの重量差によって発生する振動...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社営業本部営業課

高真空・耐熱グリースLOGENEST LAMBDA TKM-03

半導体製造装置内で発生するコンタミを低減する高真空・耐熱用グリース …

高温環境下にて、優れた耐熱性能を示します。また、真空環境下でも、優れた低アウトガス性能を示します。実績ございます。詳細情報はお気軽にお問い合わせください。...-...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニッペコ本社

機械加工サプライヤー多品種少量の精密機械加工

多品種少量の精密機械加工、治工具の設計、製作がメイン

管理された加工プロセスを基に、加工治具や精密な測定器を使い、不具合の発生を抑えることにより、納期短縮、低価格、高品質の製品を実現させています。 ●サプライヤー開拓に自信アジアに多種多様な優良工場ネットワークを保有する当社では、パートナーサプライヤーとしてご協力いただくサプライヤーに対して、必ず現地での現場見学を実施しています。ハイパーウェブ独自の品質管理基準と照合し、サプライヤーの品質レ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイパーウェブ

高純度ライン用ダイヤフラムバルブ　『UCVシリーズ』

半導体製造装置およびその周辺配管で要求されるクリーン度に対応したウルト…

本カタログには下記アイテムが記載されております。・3Lシリーズ（オールメタルシール）・2Lシリーズ（ソフトシール）・EVZSシリーズ（かしめシート）・2LEシリーズ（コンパクト型）用途、流体に合わせた仕様のバルブをお選びいただく事が可能です。耐圧：1Mpa、16MPa、21MPa 温度：250℃（オールメタルシール3LT） 2L、3Lシリーズではダブルメルト材ボディ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

千住金属工業　クリーンリフロー炉 CX-430

半導体用クリーンルーム対応リフロー炉

ウェハーレベルのソルダバンプ形成とベアチップのフェースダウン実装を可能にした最新のマイクロソルダリング用リフロー炉です。...【特徴】 ○炉内清浄度クラス1000を実現（ウォーキングビーム搬送方式と遠赤・輻射加熱方式） ○炉内酸素濃度100ppm以下（気密性に優れたチャンパー構造） ○フラックスヒューム回収装置炉内で発生したフラックスヒュームは回収装置によって回収・除去 ○自在...

メーカー・取り扱い企業：千住金属工業株式会社