膜厚 | イプロスものづくり

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ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社栗田製作所本社・京都事業部
小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...
メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所
SiO2厚膜形成用プラズマCVD装置

厚膜形成用プラズマCVD装置。高速かつ低ストレス（特許出願中）

● 独自のセルフバイアス法の採用により高速（3000〜5000Å/min）かつ低ストレスの成膜が可能。（特許出願中） ● 室温〜350℃程度の低温成膜が可能。また、プラスチック上への成膜が可能。 ● 反応室に独自の工夫を施しているためパーティクルの発生を抑制。 ● 液体ソースのTEOSを用いるLS-CVD法によりステップカバレージと埋め込み効果に優れた成膜が可能。 ...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社
高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)

少量・多品種向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　枚葉式…

膜するFace-down成膜方式の採用により、低パーティクルで安全かつ高品質な成膜を実現しました。特許取得済のウェハ反り矯正機能により、SiCウェハの様な反りの大きなウェハでも確実に吸着でき、優れた膜厚均一性を得ることが可能です。ウェハ周辺の副反応生成物の付着を低減させた構成にすることで、メンテナンス性（低負荷かつ長周期）を向上させています。コンパクトな筐体サイズで、隣接設置も可能なので、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行
酸化膜／窒化膜プラズマCVD装置

広範な膜特性の制御可能！大幅なパーティクル低減および生産性を向上します

マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作可能ですので、ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■2周波独立印可方式により、低応力、高硬度、高絶縁性を実現 ■優れた膜厚分布および再現性を実現 ■特殊表面処理によるメタルコンタミ低減 ■広範な膜特性の制御可能 ■豊富な蓄積データ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
多機能スパッタリング装置【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

B電子ビーム蒸着源：7ccるつぼｘ６（又は4ccるつぼｘ8）・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大４源・プロセス制御：手動/自動多層膜・同時成膜、APC自動制御・膜厚モニタ：水晶振動子センサヘッド・膜厚制御：Inficon社 SQM-160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ・その他オプション：基板加熱, 冷却, 基板昇降・回転, プ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
枚葉式常圧CVD装置『A200V』

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを…

『A200V』は、少量多品種から大量生産までカバーするφ150・φ200mm ウェーハ対応の枚葉式常圧CVD装置です。フェイスダウン式成膜方法の採用により優れた膜厚均一性、パーティクル制御、埋め込み性能を発揮し、SiH4をベースとしたシリコン酸化膜を成膜。また、TEOS-O3、SiH4-O3もオプション対応が可能な装置です。【特長】 ■フ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社天谷製作所
ガラス基板成膜装置「低温成膜」「フレキシブル基板対応」

FPDなどリジット/フレキシブルデバイスに対応した4.5世代ガラス基板…

のガスヘッド2基を搭載し、吸着式加熱ステージの採用により、温度制御性±3％以内を実現しました。 4.5世代ガラス基板に250℃で100nmのSiO2膜をスループット 25枚/h以上で成膜が可能で、膜厚均一性10％以内を確保できます。 ●装置サイズ(mm): 1300mm(W) x 7350mm(D) x 2000mm(H) ●ガス種: SiH4, O3/O2, PH3, B2H6 ●成膜温...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行
常圧CVD装置「AMAX800V」

優れた膜厚・不純物濃度の均一性。高生産性と低価格を実現した常圧CVD装…

　(8インチ、CVD成膜後) ○ガス種：SiH4-O2(SiH4-O3はオプション対応） ○オンライン通信：自動化オンライン通信はパソコンを追加し　　　　　　　　　オプション対応が可能 ○膜厚均一性(NSG)：2ヘッド仕様、3ヘッド仕様ともに　　　　　　　　　　面内:≦±3.5%、面間:≦±2.5% ○不純物濃度均一性：面内、面間ともに±3.0%以下 ○温度：350℃ ～430℃...

メーカー・取り扱い企業：株式会社天谷製作所
【基礎知識】フッ素樹脂チューブライニングとは？

フッ素樹脂チューブライニングとは、金属パイプ内面にフッ素樹脂チューブ（…

した状態のライニングが可能です。 ○接着により熱伝導性に優れています。ライニング後にパイプを曲げることも可能となります。 ○フッ素樹脂の材質は、PFA、FEP、ETFEの３種類となります。 ○膜厚を厚くする場合は２回目のライニングにて膜厚を増やします。 ※詳しくはPDF資料をダウンロード頂くかお気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社YMM コーティング事業部
真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

【製品】蒸着膜形成装置・各種金属/有機物蒸着膜形成・物性の評価用・薄膜形成・膜厚強度(強化)・温度制御・ドーピング・材料研究評価用【製作例】・実験装置設計製作(カスタム仕様)・実験装置改造設計製作(カスタム仕様) ・不活性ガス環境装置・真空乾燥装置(加熱/冷却...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス
RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

RIBER社で開発されたEZ-CURVEは各種真空装置に取付可能であり、応力、反り、曲率、異方性等の測定が可能なIn-situモニターです。特徴 1) In-situ応力、反り、曲率、異方性等の測定可能 2) 成長メカニズムに関する基礎データ取得にも利用可能。 3) 各種真空成膜装置（CVD, MBE, PVD等）や真空プロセス装置(エッチング、アニーリング等）に対応可能。 4) 従来...
メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社
クラスター装置『Morpher』

デバイス量産へ、優れたプロセス品質、信頼性、高スループットを提供！

mmウエハ最大50枚/バッチ〇高アスペクト比サンプル（最大1：2500）〇基板材料：Si、ガラス、化合物半導体各種＜処理温度と容量＞〇～300℃ 〇最大1000ウエハ／24時間@膜厚15 nm Al2O3 ＜一般的なプロセス＞〇1桁秒～のサイクルタイム可能なバッチプロセス〇Al2O3、SiO2、Ta2O5、HfO2、ZnO、TiO2、ZrO2、メタル〇バッチ1％未...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社
粒子用 ALD （原子層堆積）装置 / FORGE NANO社

粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposit…

研究開発向け粒子用ALD（原子層堆積）装置で様々な開発用途に活用できます。ナノスケールの粒子の成膜をミリグラムからキロまでプロセス可能です。　 ■流動床を含めた手法により膜厚を均一にコントロール ■３種類の容量のリアクターサイズ ■複数のプレカーサーを個別に温度コントロール ■多様な粒子材料へ多様な膜の成膜が可能 ■カスタムレシピーを容易に作成し自動運転 ■粒...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー
ポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…

陽極酸化装置は従来、電流を流し酸化膜を形成させる装置でしたが、さらに応用したポーラスシリコン形成装置は使用薬液・電流密度を変えることで多孔質シリコンを形成する装置です。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...【特長】 ■多孔質シリコンを全自動にて形成します。 ■裏面保護用治具を使用しない為カセットto カセットを可能にしました。 ■N...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ダルトン
大量生産用連続式常圧CVD装置『A6300S』

SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコスト…

ーズとオペレータの安全にも配慮しました。【特長】 ■高い生産性：毎時120枚の処理が可能 ■重金属汚染対策：ウェハ裏面からの金属汚染を防止 ■高性能：A63型ヘッドを採用し、良好な膜厚分布を実現 ■メンテナンス性の向上：短時間で安全にメンテナンスが可能 ■フットプリント：トレー枚数を最小化し装置面積の小型化に成功 ■安全性：インターロック、装置機構の好適化により高い安全性を...

メーカー・取り扱い企業：株式会社天谷製作所
真空バルブオーバーホール、アクチュエーター修理

真空装置周辺機器,バルブの修理なら　お任せ下さい！　　メーカーメンテ…

化　　コストダウン例・部品内製化を進める事により、生産中止バルブ等にも対応。・ベローズ内製による交換。・アクチュエーターシャフトの修理及び新規製作。・各部材のアルマイト処理等の膜厚変更等。【　信　頼　性　】充実したメンテナンス設備・動作確認用コントローラー所有。・アクチュエーター単品でも動作テストを実施。・リークチェック用各種フランジを所有。...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社近畿支店
フッ素樹脂（テフロン）コーティングの工程

グレードによっては、プライマーとトップコートの間にミドルコートがありま…

.トップコート（上塗り）　スプレーガン、静電粉体塗装機にてコーティングします。 ○7.焼成　所定の焼成温度と時間にて、フッ素樹脂を硬化（溶融）します。 ○8.検査　外観検査、膜厚検査、ピンホール検査を行います。検査成績書が必要な場合は作成します ○9.出荷　コーティング面以外まで念入りに梱包します。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお...

メーカー・取り扱い企業：株式会社YMM コーティング事業部
ポリウレタンコーティングの施工基準

ポリウレタンコーティングの施工基準

　指定された色のポリウレタンをコーティングします ○7 乾燥　表面を半硬化します ○8 硬化　完全に硬化させます ○9 概観検査　コーティング面の状態を確認 ○10 膜厚検査　コーティング面の数箇所を検査 ○11 梱包　傷、打痕などが起きないように、完全に保護する ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社YMM コーティング事業部
スパッタリング装置多機能スパッタ装置MiniLab-S060A

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

ーム蒸着源：7ccるつぼｘ６（又は4ccるつぼｘ8）・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大４源・プロセス制御：手動、又は自動連続多層膜・同時成膜、APC自動制御・膜厚モニタ：水晶振動子センサヘッド・膜厚制御：Inficon社 SQM-160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ・その他オプション：基板回転/昇降, 基板加熱（Max500...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
フッ素樹脂（テフロン）ライニングの工程

フッ素樹脂ライニングとは・・・・厚い膜。塗膜を重ねるなど。弊社では、4…

【製品の特長】 ○1.受入検査溶接不十分な箇所や、溶接のピンホール、指定の膜厚が可能なだけのRが取れているか等を確認。 ○2.脱脂・空焼き　油分、付着物を取り除くため、高温で空焼きします ○3.粗面化　アルミナ研削材にて、付着物、空焼きによる酸化皮膜などを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社YMM コーティング事業部