【事例】真空蒸着装置試験システム

真空蒸着装置試験システムの納入事例をご紹介

真空蒸着の技術開発のため、真空蒸着装置関連のデータのモニタリング用と して使用されており、「ウエーブリサーチャー」と横河電機株式会社の データアクイジションシステム「MXシリーズ」を使用して、温度、真空度、圧力、 ヒーター電圧、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハビリス