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Zステージ LMTシリーズ
各種コンポーネントを取り付け 大気側から直接移動調整が可能な中空Zステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○φ34CF〜φ114CFまで対応 ○各種センサー・蒸着源と組み合わせることにより 真空内への移動が容易に行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロー...
メーカー・取り扱い企業: アリオス株式会社
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