金属 | イプロスものづくり

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屋外・金属設置対応LTEアンテナ

PR金属上での設置にも対応可能！ 10m・15mと長尺タイプも用意

LTE用のアンテナ「FMM800W-4T-xM-BP」のご紹介です。【特徴】・マルチバンド対応（例　800MHz帯と2GHz帯のどちらでも利用可）・2.5m、5mタイプは標準在庫・設置場所　金属面に据付しても利用可・延長ケーブル不要（10ｍ、15ｍの長尺タイプもラインナップ）・技術適合証明(TELEC)で多数の実績・LTEでアンテナ2個使いする場合も、アンテナ間を事前に適正距離に離...
メーカー・取り扱い企業：日精株式会社本社
【破砕機・粉砕機】ロールブレーカー　ダブルロールクラッシャー

PR1,000台の納入実績！砕くのが難しい材料でも簡単粉砕！※破砕テスト実…

ロールブレーカーは、2つのロールで破砕するダブルロール式の破砕機・粉砕機です。金属シリコン、セラミック、合金、スラグ、焼成品、石炭、コークス、コンクリート廃材など硬質原料の二次から三次破砕に広く使用され、構造が簡単で能率が極めて良いことから、1,000台を超える国内随一の納入実績を誇っています。 ★粉砕テスト実施中！破砕機の選定は、被処理物や処理能力、使用条件などによって、机上における選定は難...

メーカー・取り扱い企業：株式会社前川工業所
多種金属対応　プログラマブルスパッタコーター

Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコータ…

QUICK COATER SC-701HMC IIは、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックモデルです。ソフトウェア制御で高精度コントロールが可能。各種金属の薄膜作製を手軽に行なえます。【特徴】〇プログラマブルスパッタコーター〇フルオート/マニュアルの...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社
金属膜+保護膜成膜装置

新しい成膜方法をお考えのエンジニア必見！樹脂基板への金属膜、保護膜を全…

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。【対象製品】 ◆自動車ヘッドランプリフレクター ◆ミラー ◆金属装飾膜...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空
研究・試作に最適な小型スパッタ装置『VS-R400G』

実験・研究・評価・試作に好適！ガラス、金属などの平板基材に高速、高精度…

■対象基材：ガラス板、金属板などの平板【仕様(一部)】・対象膜：ITO、アルミナ、化合物、各種金属膜・成膜方法：デポダウン、インライン成膜 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ
研究・試作に最適な小型スパッタ装置『VS-R400F』

実験・研究・評価・試作に好適！樹脂フィルムや金属箔に高速、高精度、低ダ…

■　対象基材：樹脂フィルム（PET、PEN)、金属箔【仕様(一部)】・対象膜：ITO、アルミナ、化合物、各種金属膜・成膜方法：デポダウン、インライン成膜 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ
スパッタリングの基礎知識

【技術資料を無料進呈】緻密で硬質な成膜が可能！自動車のミラーなどの生産…

フィルムやガラスの基材の表面に薄膜を形成する手法には、塗布、印刷、めっき、蒸着などがありますが、金属やセラミックで構成されるナノレベルの薄膜を精度高く形成するために使われるのが「スパッタリング」という技術です。実際のスパッタリングにおいて「石」の役割を果たすのが、真空の容器（真空チ...
メーカー・取り扱い企業：デクセリアルズ株式会社
SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…

ＦＰＣに代表されるフレキシブル電子デバイスの量産に実績対応。社内デモ機によるプロセスサポートにより各種の個別要求に確実に対応。一般的な樹脂フィルムだけでなく金属箔を含む幅広い基板に実績独自開発による高使用率カソードと実績豊富な搬送機構により安定した稼動を実現。プラズマ前処理電極や磁性材用カソード、基板加熱用メインロールなど豊富なオプション機構を揃え...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置コンパクトフレームに…

抵抗加熱蒸着源（金属蒸着）、有機蒸着源（有機材料）、マグネトロンスパッタ（金属・絶縁材）、3種類の成膜コンポーネントをチャンバー内に設置、様々な薄膜実験装置に1チャンバーで対応が可能です。 ◉組み合わせは3種類 1...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

飾や表面保護のためのコーティングにも対応。サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の用途に応じて組み立てることが可能です。【特長】 ■独自の技術で全ての金属、酸化物ターゲットに対応 ■面サイズは1mmx1mmから300mmx560mm、厚さは25mmまで対応可能 ■異なるサイズへの成膜でも、ハードウェア・ソフトウェアの変更が不要 ■ヨーロッパ各国...
メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
RFスパッタ装置『SP-3400』

逆スパッタも可能！500Wの高周波電源を1台搭載し、金属・酸化物・絶縁…

『SP-3400』は、3インチ用カソードを3源搭載したRFスパッタ装置です。電源は500Wの高周波電源を1台搭載しており、金属・酸化物・絶縁物等の成膜が可能となっています。整合器は自動整合器を2台搭載することにより切替にて逆スパッタもでき、成膜時の膜厚分布を良くする為に基板回転の機構も標準で搭載。オ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンバック本社
立体物用スパッタリング装置

立体物成膜での高いカバレッジを実現！最大3台のスパッタカソードを搭…

降、公転、自転、チルト）を搭載し、立体物成膜での高いカバレッジを実現。加熱機構、バイアス電源を搭載し、逆スパッタ、高温スパッタ、膜応力制御が可能です。最大3台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です。【特長】 ■当社独自のスパッタカソードを搭載 ■ワークステージに4軸機構を搭載し、立体物成膜での高いカバレッジを実現 ■最大3台のスパッタカソード...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
【抗ウイルス対策】～成膜加工～

金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制！繊維へのスパッタ加工が可能

積水ナノコートテクノロジーの『スパッタリング技術』をご紹介します。金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制し、抗ウイルス対策などに好適。多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富です。また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社
プラズマ溶岩コーティング装置（STV6301スパッタリング装置）

最新プラズマ技術で桜島溶岩をコーティング。天然由来の機能性表面処理。あ…

マグネトロンスパッタリングにて桜島溶岩をコーティング。天然由来の溶岩を先端表面処理に応用。溶岩の特性をいかした熱的・化学的に安定な薄膜を形成。各種素材（金属・ガラス・繊維）上に装飾膜（透明・干渉色）親水膜を実現。天然素材のため人体にアレルギーがなく、素材の変質・変色を防止。食器の表面処理に実用化されており、市場の拡大が期待されています。また赤外...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
導電性カーボン薄膜形成装置（アーク放電スパッタリング装置）

導電性カーボン薄膜をスパッタリングで形成。低温（４００℃以下）で不活性…

。従来のスパッタカーボン薄膜に比べて格段に緻密で高い密着性が特徴。導電特性と膜の安定性よりエネルギー・バイオセンサーなどの新分野に対応導電性カーボン薄膜は硬度や表面の平滑性に優れており、金属への高い密着性より機械部品の表面処理（トライボロジー用途）への応用も可能です。...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
表面処理用多目的スパッタリング装置 STV6301型

立体形状部品や外周全面や平板基板の両面、立体形状の成膜に特化した表面処…

樹脂・ガラス・金属等立体形状部品・成形品への表面処理に各種コーティングを効率的に行えるドライ表面処理装置です。金属・セラミックス等各種薄膜を全面に成膜できます。特徴 ◎立体形状部品への外周全面成膜 ◎特殊機構...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
【抗菌対策】～成膜加工～

各種抗菌/抗ウイルス加工、抗カビなど！繊維・フィルムへのスパッタ加工

積水ナノコートの『スパッタリング加工』をご紹介します。多様な用途/機能での実績があり、各種材料、基材の加工実績が豊富。金属/合金で菌/ウイルスの増殖を抑制することができます。また、最大3400mm幅まで対応可能なスパッタ装置を所有。薄膜製品開発/販売、成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社
L/S 2μm対応『室温スパッタ装置』

半導体、プリント基板、表面処理に！高い密着力を実現する室温スパッタ装置

ドテック社製） ○自動ビン打ちテープ貼り機（タイヨー工業社製） ○自動乾燥炉（グローアップ社製） [分析装置] ○硫酸銅めっき液全自動管理装置 ○硫酸銅めっき液添加剤測定装置 ○酸化膜・金属膜厚測定装置 ○熱リン酸中のSi濃度分析装置 ○電解・無電解液の各種メタル分析装置 ○3D加熱表面形状測定装置 ○銅膜厚測定器 [実験・評価用装置] ○R&D用塗布装置 ○R&D用露光...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サーマプレシジョン
スパージャー【焼結金属フィルター用途事例】

■長所・ご要望に合わせたオーダーメイド・均一な気体の拡散・…

複数の理由により、液体に様々な気体が拡散(スパージング)されます。例えば、廃水処理工場や水道水には酸素やオゾン、飲料や化学品製造工程においては、窒素や二酸化炭素が利用されます。GKN製エレメントを底に設置し、液体に気体をスパージングします。素　　材：ステンレスプロセス：フィルター ■アプリケーション詳細・気体を均一に拡散するための安定した気孔・カスタム設計・ア...

メーカー・取り扱い企業：ダイアエンタプライズ株式会社本社
射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。【特徴】 ○全自動 ○サイクルタイム： 80sec（Al：100nm...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空
高温ガス>300℃：ポリシリコーン【焼結金属フィルター用途事例】

半導体業界や太陽電池業界(PV)向けに、ポリシリコーンは原材料として使…

■アプリケーション詳細・シリコン・ウェーハー製品用　SiHCI3フィルター・高温ガスフィルター・腐食性の強い媒体 ■長所・高い耐浸食性・高い耐熱性・独自の焼結拡散接合技術（ポーラスと　ソリッド（フランジ部）の同時焼結）・ポーラス部の溶接なし ...■アプリケーション詳細・シリコン・ウェーハー製品用　SiHCI3フィルター・高...

メーカー・取り扱い企業：ダイアエンタプライズ株式会社本社
多元スパッタリング装置

基板温度900℃を実現！基板ステージに3軸機構を搭載し、均一な膜厚分布…

『多元スパッタリング装置』は、最大4台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です。 CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能。また、基板ステージに3軸機構（昇降、公転、自転）を搭載し、均一な膜厚分布を実現...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜プロセスの構築など、幅広い研究に対応できる装置です。これまでのスパッタ装置で成膜が難しいとされる強磁性体ターゲットや、金属ターゲットとセラミックターゲットなどの異物質Co-スパッタ研究など、先端材料研究やプロセス構築研究を強力にサポートする装置です。直進性の高い成膜　→イオンビームスパッタの特徴である直進性の高い...
メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社
スパッタリング装置

スパッタリング装置

固体表面にイオン化して加速した原子あるいは分子を衝突させることにより、固体表面から固体材料が飛び出してくる現象（スパッタリング）を利用した成膜装置です。高融点金属や合金材料、誘電体、絶縁材料にも適用できる為に、工業的利用価値が高い。...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社
スパッタリング薄膜（フィルム/繊維）　受託加工/受託成膜/開発

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイ…

成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。【特長】 ■3つの技術軸：光学調整・導電・抗菌/ウイルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■独自の繊維へのスパッタ加工　・例：化学繊維、炭素繊維、ガラス繊維、不織布、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社
【抗カビ対策】～成膜加工～

各種材料、基材の加工実績が豊富！防カビ対策としても有効なスパッタリング…

成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。【特長】 ■3つの技術軸：光学調整・導電・抗菌/ウイルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工　・例：化学繊維、炭素繊維、ガラス繊維、不織布、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社
【静電気対策】～成膜加工～

各種材料、基材の加工実績が豊富！電磁波シールド、帯電防止、面状発熱体な…

成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。【特長】 ■3つの技術軸：光学調整・導電・抗菌/ウイルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工　・例：化学繊維、炭素繊維、ガラス繊維、不織布、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社
【成膜加工】静電対策/静電防止にお困りの方必見！

各種材料、基材の加工実績が豊富！基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイ…

成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。【特長】 ■3つの技術軸：光学調整・導電・抗菌/ウイルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工　・例：化学繊維、炭素繊維、ガラス繊維、不織布、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社
【遮熱対策】～成膜加工～

基材×薄膜＝光学調整・導電・抗菌/ウイルス！遮熱・保温効果を発揮

成膜受託加工、試作など、お気軽にご相談ください。【特長】 ■3つの技術軸：光学調整・導電・抗菌/ウイルス ■多様な用途/機能での実績 ■各種材料、基材の加工実績が豊富　・材料：各種金属、合金、化合物　基材：フィルム、金属箔、紙など ■繊維へのスパッタ加工　・例：化学繊維、炭素繊維、ガラス繊維、不織布、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業：積水ナノコートテクノロジー株式会社
割れない！削らない！低コストな『スパッタリングターゲット』

酸化被膜防止を目的としたプレスパッタリングが必要なく工数削減が可能！熱…

より割れを低減させたSiターゲットを供給しております。現状、割れが多く発生すると言われているSiターゲットですが、弊社の特殊製法により割れを低減させることが可能です。その他の各種金属材料や酸化物、合金ターゲットなどお客様のご要望により製造・販売しております。バッキングプレートを支給して頂き、新たなターゲット材にボンディング加工も致します。関係会社の中国工場で生産...

メーカー・取り扱い企業： USTRON株式会社
スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

トラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。フレキシブルにカスタマイ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
デスクトップRFスパッタ装置『SVC-700RFIII』

コンパクトな卓上サイズで3源のカソードを搭載。絶縁薄膜、酸化物・窒化物…

インチのカソードを3基搭載。3種類のターゲットを使用した積層膜の形成が可能なRFマグネトロンスパッタ装置です。ガス導入機構を増設でき、アルゴンガスを含めた最大3種類のガス導入が可能。金属薄膜に加え、絶縁薄膜、酸化物・窒化物薄膜など様々な薄膜作製に対応できます。【特長】 ■研究開発向けのデスクトップサイズ ■試料サイズ：最大φ2インチ ■膜厚センサー追加可能 ※詳...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社
簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

・ハードの信頼性と膜質の安定性を実現 ■簡易ロードロックタイプ・手動搬送機構を装備・クリーンで高い真空性能・均一な膜厚・プラズマ・加熱分布性能・高結晶性窒化膜(AlN)や高反射率金属膜の形成が可能・紫外ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレート作成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
多目的スパッタリング装置

研究開発から量産までサポート！

【特長】 ●金属・合金・絶縁膜など広範囲な材料や反応性成膜の形成が可能です。 ●基板固定での高速成膜や、基板回転での大面積成膜が可能です。 ●タッチパネルによる操作性向上、ロギングシステムによるデータ管理が容易...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2022」

半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装…

◉ nanoベンチトップシリーズ薄膜実験装置 - nanoPVD-S10Aマグネトロンスパッタリング装置 - nanoPVD-T15A有機膜・金属膜蒸着装置 - nanoCVDグラフェン合成装置 - ANNEALウエハーアニール装置 - MiniLabシリーズフレキシブル薄膜実験装置 - MiniLab-GBグローブボックス式薄膜実験...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
スパッタ・蒸着源複合型薄膜装置【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

nanoPVD-ST15Aは、抵抗加熱蒸着源、有機蒸着源、Φ2inchマグネトロンスパッタリングカソードを同時に設置可能な複合型薄膜実験装置。ベンチトップサイズ・省スペース、限られたラボスペースを有効活用いただけます。顕微鏡用試料作成用コーターではありません、電子回路基板、電池、MEMS、新素材開発などの研究開発用途で求められる高品質な薄膜を作成することができます。ガス系統最大3系統（プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
【マグネトロンスパッタリングカソード】

不純物なく金属・絶縁物等を堆積するRF, DC, パルスDC対応高効率…

【特徴】・高真空対応・Φ2inch、Φ3inch、Φ4inchサイズ・クランプリング式を採用、ボンディングが不要・メンテナンス性に優れ、容易にターゲットの交換が可能・シャッター、チムニーポート、ガスインジェクション、磁性材用高強度マグネット、などのオプションが豊富・各種フランジサイズ接続に対応...【主仕様】 ■RF, DC, パルスDC対応 ■ターゲット厚さ：1/16...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
研究開発用スパッタリング装置

高水準な仕様と豊富なオプションで様々な成膜用途に適した研究開発用スパッ…

半導体・電子部品, 　自動車・樹脂, 特殊膜, MEMS ■代表的な成膜材料・誘電体膜ほか　SiN, SiO2, ZrO, TiO2, 重合膜・透明導電膜　ITO, ZnO ・金属膜ほか　Au, Ag, Cu, Si, Ti, Sn, Cr, Al, Ni, DLC, 電磁波シールド...

メーカー・取り扱い企業：芝浦メカトロニクス株式会社
卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』

初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能！研究ステージに合せてグレー…

『FDS/FRSシリーズ』は、必要な機能を備えた研究開発用の卓上型マグネトロンスパッタ装置です。基本仕様は、DCスパッタ/シングルカソード/ロータリーポンプで構成される金属薄膜用スパッタ。 RF化、カソード増設、ターボ分子ポンプ仕様などの拡張オプションにより、研究ステージに合せてグレードアップしていただくことが可能です。【特長】 ■初期導入コス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社FKDファクトリ
Aera FC-DR980　デジタルマスフローコントローラ

優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MF…

流量レンジの選択可能　＊・アナログ、アナログ/デジタル、デジタルのモード選択・ピエゾ制御バルブ・各種のアラーム/診断機能・各種のアラーム/診断機能・1x10-10 の気密度を保つ金属シール・電解研磨、UHP処理済み接ガス面＊マルチガス・マルチレンジ仕様モデルにより対応。...

メーカー・取り扱い企業：日立Astemo＆ナガノ株式会社
小型スパッタ装置

対応基板は最大φ1インチまで処理が可能！デュアルガスノズルを備えた装置

：6.7 x 10^-5Pa以下（排気後3時間） ■基板サイズ：1インチSiウェハ1枚 ■膜圧分布：±5%以下（1インチ基板のφ20mm内） ■ターゲット寸法：φ25.4mm x 3t（非磁性金属材料など） ■RF出力：最大300W オートマッチング付き ■プロセス圧力：0.1Pa ～ 1.0Pa（Arガス） ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社和泉テック
スクリュー攪拌型粉体スパッタリング装置

省スペースで大容量！各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能！

当製品は、当社が得意とするスパッタリング技術を応用し様々な3次元形状の金属、セラミック、樹脂製品に成膜する装置です。化粧品、電子部品、電池部品、高機能材料開発といった用途に使用可能です。このほかにも、小型化/大型化、CVD/各種プラズマ処理、バレル/ドラム...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社
薄膜作成コンポーネント

単品試作から用途に合わせて製作可能！「EBガン」や「Kセル」などをライ…

最小クラスのUHV対応「マグネトロンスパッタカソード」をはじめ、 ICF70よりマウント可能な「EBガン」やルツボ最小2cc～100cc対応の「Kセル」などをラインアップ。また、有機・金属材料対応の「マルチ抵抗加熱ソース」や「コニカル型蒸着ソース」などもご用意しております。【ラインアップ】 ■マグネトロンスパッタカソード ■EBガン ■Kセル ■マルチ抵抗加熱ソー...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社
スパッタリング成膜

高エネルギーを利用して材料そのものを叩き出す、再現性に優れた成膜技術！

■対応膜種：Ti、TiN、TiC ■最大搭載可能サイズ：φ12インチ×t50mm ■対応可能基板　・Si Wafer 　・ガラス　・フィルム　・セラミックス　・金属材（材質により制限させていただく場合があります）　　他 ...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社
半導体スパッタリングターゲット製造サービス

半導体スパッタリングターゲット製造のことなら当社へお任せください

ゲット材の製造を中軸に、半導体製造装置の部品などを製造しています。半導体製造装置の需要増加に対応するため、設備の増強をしてまいりました。その他、Ti、CuやMgなど様々な非鉄金属の加工実績があります。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【設備】 ■NC旋盤 ■半NC旋盤 ■複合加工機 ■汎用旋盤 ■マシニングセンタ　など ※詳しくはPDFを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フジメタル
Plasma Quest Limited 企業紹介

リモートソース型イオンビームスパッタ装置　リモートプラズマソースの開発…

行う画期的な手法「HiTUS」システムにより、様々な条件やターゲットを用いてのスパッタを実現しています。従来のマグネトロンスパッタ装置では困難とされる高磁性ターゲットや高誘電ターゲットのスパッタ、金属とセラミックなどの異種ターゲットを同時に用いるCo-スパッタなど、多用途での運用を可能としています。研究用途から生産規模の装置まで柔軟に対応できる多性を整えています。 ...
メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社
【技術資料無料贈呈！】粉体スパッタリングとは

表面改質から触媒利用まで！成膜事例付きで密着性が高い粉体スパッタ技術を…

【スパッタ(乾式)の特長】 ■前処理や乾燥工程、廃液なし ■真空中のクリーンな環境で処理 ■様々な材料を被膜可能(金属、酸化物、その他化合物) ■密着性が高い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：エイ・エス・ディ株式会社技術研究所