【特許取得】非接触衝撃波式クリーナー『ウェイビー』

PRブロワーレスでも非接触で数μオーダーの塵埃を除去可能！低コスト・省エネ…

【高機能素材Week 第12回 FILMTECH JAPANへ出展！】 14-15ブースにて、持込ワークのクリーニングデモ実施予定です。(詳細は下部にて) ー ウェイビーは、ブロワーレスの非接触衝撃波式フィルムクリーナーです。 独自機構のクリーナーヘッド部(特許取得)を有し、発生させた衝撃波をワークに随伴する空気境界層に叩き付けると同時に、 ブロワーレスでも基材近傍で30m/s 超の風速を生じ...

メーカー・取り扱い企業： 若水技研株式会社

79GHzミリ波レーダー方式 非接触型振動センサー

PR悪環境(高温等)でも影響なし！40KHzまでの広帯域・高振動周波数の計…

当製品は、79GHzミリ波レーダー技術を応用した レーダー信号処理プロセッサー内蔵の振動センサーです。 内蔵レンズ付きアンテナにより狭範囲の測定が可能。 40KHzまでの広帯域・高振動周波数の計測ができます。 0.03μm(pk-pk)程度の極微小変位計測能力があります。 また、非接触計測なので機械共振の心配がありません。 【特長】 ■0.03μm(pk-pk)程度の極微...

メーカー・取り扱い企業： サクラテック株式会社

プロトスキャリア用　ウエハ非接触ピンセット

プロトスキャリア用のウエハを傷を付けずに移載する非接触ピンセット

『プロトスキャリア用　ウエハ非接触ピンセットは、薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納します。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

気体垂直噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」の理論解析

気体垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」を理…

非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」理論計算式 本計算式は（有）ソーラーリサーチ研究所で開発した非接触搬送装置「フロートチャックＳＡ-Ｃ型」（特許）の理論計算式である。 「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」の概要を以下に示します。また、仮定として（１）部材との隙間は「フロートチャックＳＡ－Ｃ型」のパッド半径に比べ非常に小さいとする。従って、流れは一次元流れで近似できるとする。(２)ノズルOから...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触ウエハソーティングシステム【NC-6800】

ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム！

【ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆抵抗・厚さ・PN判定を全て非接触測定 ◆標準カセット数：ローダーカセット×4、アンローダーカセット×6 （カセット数は変更対応可能です） ◆ガラスマップ...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

極薄ウエハ非接触搬送装置

厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送 す…

TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。 反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費量が非常に少ないく、経済的である。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触式シート抵抗測定機『LEI-1510シリーズ』

広い範囲で優れた測定直線性！三次元グラフィックマップとしてPCモニター…

『LEI-1510シリーズ』は、旧リハイトン社製の非接触式シート抵抗測定機です。 ロボットを取り付ける事により、多数枚を迅速に計測処理する事が可能。 四探針方式で起こる、探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題を 解決します。 2イン...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

非接触表面抵抗測定器

最大20mm！広い測定ギャップにて測定することが可能！

ドイツNAGY社による渦電流磁界を利用したオンライン、オフラインに対応可能な非接触表面抵抗測定器です。最大20mmという他社製品と比べて広い測定ギャップにて測定することが可能であるため、お客様の様々なアプリケーションにも対応いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

非接触3D表面形状測定システム

非接触3D表面形状測定システム

お客様にてご導入されております金属顕微鏡に取付けるだけで、表面形状の3D自動検査を実現するための3D表面形状測定モジュール ...半導体ウェハのバンプ3D検査用途から貫通ビア深穴測定、LCD,OLED基板表面粗さ測定に最適です ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェル

結晶欠陥分析装置(非接触、非破壊式)

結晶欠陥分析装置(非接触、非破壊式)

結晶欠陥分析装置 SIRM-300は、非接触、非破壊にて結晶欠陥測定が可能な光学測定器です。 様々なバルク特性解析(バルク/半導体ウェハーの表面付近の酸素、金属　堆積物、空乏層、積層欠陥、スリップライン、転位)が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

非接触式 直径測定器(DMC-02型)

レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準ウェーハ）と…

・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転する事で、A直径（3ポイント）・B直径を測定することが出来ます。 ・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。 ・測定値は、付...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

アモルファス太陽電池、フィルム搬送装置

フィルムを非接触にて搬送・積層・送出する

アモルファス太陽電池、偏光板、導光板、フィルム、紙、シートを非接触にて送り出し、搬送、積層する装置。空気を噴出することにより非接触にてフィルムを搬送する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を採用している。 ワークに傷、汚れ、を付着させない。弱い、脆いフィ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

SRLフロートチャックPF型

プリフォームレンズを非接触把持し、プレス金型に投入・取り出します。

プレス前後のプリフォームレンズ移載装置「SRLフロートチャックPF型」は、プリフォームレンズをプレス成形にて製作時に、プレス機より完全非接触にて取り出す装置です。　空気を噴出することによりエゼクタ効果およびベルヌーイ効果による負圧発生作用と、圧力室型エアクッション効果および気流のクッション効果による正圧発生作用とにより、レンズを空中に...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

結晶欠陥検査装置『EnVision』

非破壊/非接触！nmスケールのウェハー内部の拡張欠陥の検出とモニタリン…

『En-Vison』は、転位欠陥、酸素析出物、積層欠陥などのウェハー内部の 結晶欠陥を非接触・非破壊で測定・評価ができる結晶欠陥検査装置です。 欠陥サイズ（15nm～サブミクロン）と密度（E6～E10/cm3）の両方で ハイダイナミックレンジを提供。 ウェハー深さ方向の検出...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

ベルヌーイピンセット

空気供給on-offマニュアル操作によるウエハ非接触ピンセット

ウエハ、チップ、レンズ、太陽電池基板、ガラス基板をピンセットのようにハンドルに付いたバルブをマニュアル操作により空気供給のＯＮ−ＯＦＦを行い。ウエハ、チップ、レンズを非接触にてつかむ。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

膜厚測定装置『LF-1000』

ウェハ・ガラス基板+鏡面基板上の膜厚測定も可能な膜厚測定装置

『LF-1000』は、分光器と光干渉式膜厚解析ソフトを搭載し、各種パラメータの 設定をする事により膜厚測定を可能とした非接触式自動膜厚測定装置です。 本解析ソフトは薄膜の表面及び基盤との界面からの干渉波形を解析することにより、 非接触で、透明もしくは半透明の薄膜の膜厚、屈折率及び吸収係数を簡単に 自動測定及び...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラポールシステム

ＮＥＷ温度可変レーザ三次元測定機

リフロー時における熱変形を高精度測定　半導体パッケージ・プリント基板・…

半導体パッケージ、プリント基板、各種素材など温度変化による熱変形を非接触で精密に測定することができます 温度設定は-70℃〜350℃の範囲で任意に設定できます。試料台の温度保持精度は±0.3℃以内の高精度を実現しています。 レーザーフォーカス変位計の採用により、試...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立テクノロジーアンドサービス

SiC半導体評価装置「SemiScope」

フォトルミネッセンス(PL)イメージング法を用いたSiC半導体評価装置

グ装置です。 試料を移動させながらイメージング測定を行うタイリング機能を用いることで、約33億画素の解像度で6インチウェハ全面のPL画像を得ることができます。 SiCウェハの結晶欠陥を可視化。非接触・非破壊検査がPLイメージング法で短時間測定可能です。 【特徴】 ○SiC半導体評価装置 ○SiCウェハの結晶欠陥を可視化 ○非接触、非破壊検査 ○PLイメージング法のため短時間測定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フォトンデザイン

抵抗率／シート抵抗測定器【NC-10】

抵抗率／シート抵抗測定器【NC-10】

【PC制御による簡単操作の非接触抵抗測定器】 ◆省スペースでパソコンによる簡単な操作・データ処理 ◆非接触の渦電流法なのでダメージを与えることなく測定が可能 ◆測定レンジにより、MiddleとHighの組み合わせセンサ...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

株式会社ジャステム　事業紹介

測定機・加工機・専用機・自動化設備の製造販売の株式会社ジャステム

株式会社ジャステムでは、Si、SiC、サファイア等を対象とした、ウェーハ非接触厚さ測定機、ウェーハ厚さ仕分け機、ラップ・ポリシング加工機の自動化装置、ウェーハ移載機などウェーハ製造工程における自動化・省力化機械を独自技術開発により設計・製作・販売を行い、多くのお客様に提供さ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

500℃温度サイクル用薄膜ストレス測定装置　FLX-2320-S

500℃温度サイクル用　薄膜ストレス測定装置　FLX-2320-S

室温から500℃までの温度範囲で 非接触・非破壊にて薄膜ストレスを 正確に測定することが可能な測定装置 【特徴】 ○膜付けされた薄膜によって生じる基板の曲率半径の変化量を算出 　曲率半径は、基板上を走査するレーザーの反射角度...

メーカー・取り扱い企業： ヤマト科学株式会社

ED SCOPE Til　イーディー スコープ タイル

見えない、見にくいナノサイズの欠陥を鮮明に浮き上がらせ可視化する新感覚…

◇ 原理：光学・非接触 ◇ 1画面観察時間：約10秒 ◇ 製品目的：欠陥可視化 ◇ 表示：画像表示 ◇ 操作：簡易 ◇ 観察：透過試料（内部・表面・裏面）、反射試料（表面） ◇ 視野範囲：34×28mm～1...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピストンリング株式会社

ウェーハ厚さ測定機（TMEシリーズ）

大人気のTMEシリーズ

カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。 当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。 バーコードリーダを装備し、読み取ったバーコードナンバーをExcelの指定セルに保存可能です。 □TME-03型□ シリコンウェーハ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

SUSS MicroTec 両面位置精度測定器 DSM8Gen2

ウェハ表面/裏面のパターンの位置ズレを高精度で測定

・装置仕様 　対応基板サイズ：2~8インチウェハ 　測定精度：0.2um (3σ) 　可視光観察 　非接触プリアライナー ・オプション 　赤外光観察 　ウェハ搬送機構(DSM200 Gen2)　...

メーカー・取り扱い企業： 兼松ＰＷＳ株式会社

比抵抗測定器

渦電流技術を用いて、非接触/非破壊にてシリコンインゴット/ブロックの抵…

比抵抗測定器 RT-1000は、ベストセラー機 RT-1000の後継機種となり、渦電流技術を用いて、非接触/非破壊にてシリコンインゴット/ブロックの抵抗を瞬時に測定いたします。(測定範囲: 0.001〜100 Ωcm)...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

PN判定器

シリコンウェハー/ブロックのPN判定が瞬時に行えます

シリコンウェハー/ブロックのPN判定が瞬時に行えます。 非接触／非破壊にてＰ／Ｎ判定ができる持ち運びにも便利なペンタイプの判定器です。...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

ウェーハ厚さ測定機（TMR）

シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定さ…

シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。 当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

Junction Photo Voltage(JPV)

JPV法により、非接触で、PNジャンクションのジャンクション・リーク、…

JPV法（ジャンクション・フォト・ボルテッジ法）を用いているため、高速で再現性の良いマッピング測定が可能です。 【特徴】 - 非接触、非破壊測定 - プローブの調整は不要 - 測定のための特別な試料準備は不必要 - 表面に酸化膜やコーティングが存在しても測定可能 - 空間分解能の高い分布測定（マッピング）が高速で可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

半導体部品の欠陥検出　「遠心定加速度試験装置」

高加速度試験（最大34,000rpm、100,000G）。槽内温度コン…

「遠心定加速度試験装置」は、半導体部品の構造上・機械的欠陥の検出をします。 【特徴】 ローター室保護のために鋼鉄製の二重リング銅やスライドドアを採用 回転体のアンバランス検地に非接触の渦流センサーを採用 モーターの回転数が設定値より20%を超えると停止する過回転保護機構を採用 本体の異常振動検知に振動スイッチを採用 真空度のチェックに真空監視機構を採用 その他詳細...

メーカー・取り扱い企業： エア・ブラウン株式会社 電子機器部

抵抗率・厚み測定器 【EC-80SCAN】

抵抗率・厚み測定器 【EC-80SCAN】

【面内直線上をスキャン測定可能な、非接触 抵抗率/厚さ測定器】 ◆抵抗率・厚さセンサーを搭載し、１度に２種類の測定データ表示可能なので、太陽電池シリコンウエハの測定に最適 ◆抵抗率・厚さ測定は１点測定の他に、面内直線上を測定し、...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器【NC-80MAP】

抵抗率／シート抵抗測定器【NC-80MAP】

【化合物GaAsエピ層、GaP、GaNなどの非接触シート抵抗多点測定器】 ◆最大4本のセンサーによるフルレンジ測定 ◆周辺6mmからの多点測定可能 ◆SPCソフトウェア（経時変化）機能 ◆最大217点のマッピングソフトウェア（オプショ...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

ウェーハ厚さ測定機 (TME-07型)

シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定したポイントの厚さを計…

・静電容量センサーにより非接触にて、ウェーハ厚さ測定を行います。 ・レシピ設定によりウェーハサイズ変更が可能で、段取り替え作業は不要です。 ・測定ポイントは中心1点、十字測定をレシピにて設定します。十字測定時のポイント数、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

厚さ測定機 (TME-11型)

本機械はφ8”シリコン製ウエハの厚さ測定を行う装置です

Siウェーハの厚さ及びSi段差部の各種測定を非接触、自動測定を行う装置です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

キャリア厚さ測定機（CME-06型：半自動タイプ）

シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…

・測定位置は自由にセッティング可能です。 ・接触式・非接触式が選択可能です。 ・測定位置、測定点数、キャリアサイズ、材質などはご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

SiCウェーハ厚さ測定機　(TME-05型)

ガラス板に貼り付けられたSiCウェーハの厚みと接着剤の厚み測定及び、S…

・厚さは、光学式プローブ/センサにて非接触測定します。 ・ポーラスチャック式ウェーハステージを採用し、薄いウェーハを均一に保持します。 ・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。またグラフィカル表示も可能で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

プレート上ウェーハ厚さ測定機 (TME-12型)

セラミックプレートに貼り付けられたウェーハの厚さを光学プローブ/センサ…

測定したデータは、付属パソコンにて保存とグラフィカル表示が可能です。 プレートに貼り付けているウェーハの厚さを測定し、研磨前と研磨後の研磨状態をプレートに貼り付けた状態で確認できる装置です。...・ワークのセットと取り出しは作業者が行うシンプルな構成の測定機です。 ・測定データは、付属パソコンでCSV形式での保存とグラフィカル表示が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

φ450mmウェーハ厚さ測定機（FTM-01型）

大口径のシリコーンウェーハ測定機

・シリコンウェーハの厚さ測定を非接触にて行います。 ・測定器はレーザ測長器を使用して厚さを測定します。 ・厚さ測定データはPCに保存されます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

非接触ウエハソーティングシステム【NC-3000R】

非接触ウエハソーティングシステム【NC-3000R】

【ロボット搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆シリコンウエハの抵抗・厚さ・P/Nタイプを非接触センサーで測定 ◆標準カセット数：7（ローダー/アンローダー合計、各カセット数は任意に設定可能） ●対...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

非接触式 直径測定器（DMC-01型）

画像処理によりウェーハの端面を検出し、直径を測定する装置です。

・非接触にてウェーハの直径を測定します。 ・ステージを回転することでオリフラ面の直径やノッチの深さにも対応します。 ・カメラ取り付け部分は上下方向に手動調整が可能な機構となっています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

ＰＮ判定器 【ＰＮ-50α】

ＰＮ判定器 【ＰＮ-50α】

【センサーに近づけるだけで瞬時に判定可能な非接触ＰＮ判定器】 ◆判定方式：光パルス照射による光起電力方式 ◆非接触方式のため、シリコンウエハにダメージを与えません ◆表面に酸化膜のあるウエハも判定可能 ◆光パルス照射のため、瞬時に判...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

ED SCOPE　イーディー スコープ

見えない、見にくいナノサイズの欠陥を鮮明に浮き上がらせ可視化する新感覚…

◇ 原理：光学・非接触 ◇ 1画面観察時間：約10秒 ◇ 製品目的：欠陥可視化 ◇ 表示：画像表示 ◇ 操作：簡易 ◇ 観察：透過試料（内部・表面・裏面）、反射試料（表面） ◇ 視野範囲：34×28mm～1...

メーカー・取り扱い企業： 日本ピストンリング株式会社

抵抗率／シート抵抗測定器 【EC-80】

抵抗率／シート抵抗測定器 【EC-80】

【コンパクトで簡単操作の手動式非接触抵抗測定器】 ◆JOGダイヤルによる簡単な測定条件設定 ◆測定レンジにより、4タイプのセンサー（SuperHigh、 High、Middle、Low）から1タイプを選択 ◆省スペース・...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

キャリア厚さ測定機（CME-04型：自動タイプ）

シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…

・自動で多点の厚さ測定が可能です。 ・接触式・非接触式が選択可能です。 ・測定位置、測定点数、キャリアサイズ、材質などはご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム

キャリア厚さ測定機（CME-05型：手動タイプ）

シリコンウェーハのラップ工程・両面ポリッシュ工程で使用する金属製、また…

・測定位置は自由に決められます。 ・接触式・非接触式が選択可能です。 ・お使いのキャリアサイズ、材質などはご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム