非接触 | イプロスものづくり

PR画像処理・接触式・レーザーの3つの測定センサーで、「多用途」にして「高…

・多様なアプリケーションに対応する複数センサの併用と選択・測定スピードと繰り返し精度を向上・20機種以上の豊富なラインナップ創立75年以上に渡り、非接触三次元測定機を全世界市場に提供してきた米国ＯＧＰのベストセラー機です。プログラム作成はマウス操作中心のため、初心者でも直感的に操作をすることができます。画像測定をベースとして、接触式測定（タッチプローブ）、レーザー測...

メーカー・取り扱い企業：ＹＫＴ株式会社

光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』

PR輝度回復と歩留まり改善。光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』な…

＼非接触で洗浄！／光学部材用金型洗浄機『クリピカエースOPT』は、デリケートな光学部材用の金型に付着した汚れをノーダメージで完璧に除去します。ガス焼け、樹脂汚れに対応。ナノ、ミクロレベルの汚れも逃さず除去します。【従来の光学部材の金型メンテナンス】 ●綿棒やスワブなどを使って手作業で行う ●キズがつきやすいため細心の注意が必要 ●充分に汚れが取れないことも ●有機溶剤を使用する...

メーカー・取り扱い企業：ソマックス株式会社

微小ウエハチップ非接触チャック

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

□1.0mm〜１５ｍｍ□微小ウエハチップを非接触にて把み搬送する微小チップ非接触移載装置「フロートチャックSA-□1.0型」を開発しました。この装置は、気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果に...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

磁力を利用した非接触動力伝達装置「プロスパイン」

磁力を利用した非接触動力伝達装置！従来の歯車ではつきものの発塵や磨耗・…

非接触動力伝達装置「プロスパインシリーズ」は、磁石の吸引・反発の力を利用した動力伝達伝達装置です。従来の歯車ではつきものの発塵や磨耗・騒音といった問題を解決し、静かで安全・クリーンな動力伝達を実現します。【特長】 ■非接触により回転するため、騒音や振動がほとんどありません。 ■非接触での噛み合いによるため、発塵（ホコリ）が出ません。 ■２つの磁気歯車の隙間に遮蔽物を挟んでも、動力を伝達しま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プロスパイン

ウエハチップ・マイクロレンズ･高温ウエハ・微小物の非接触搬送装置

ウエハチップ・高温ウエハ・レンズ・微小物を非接触にて搬送するベルヌーイ…

ベルヌーイチャック「微小物の非接触搬送装置」は新しく気体垂直噴流方式を採用しております。　　気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることり、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

非接触シート・フィルム積層装置

送られてきた偏向板・フィルム・シートを非接触、高速、精度積層する

１．　特徴　ａ．非接触にて積層・段積みするｂ．フィルムに傷・汚れを付着させないｃ．高速である。ｅ．クリーンである。２．適応　ａ．偏向板ｂ．ＦＰＣｃ．プラスチック板ｄ．光輝金属板 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

サファイア基板ウエハ用非接触搬送装置「フロートチャックWAS」型

排気を回収機構を具え、クリーンルームへの排気を減少させ、位置決機構…

ありません２．位置決め機構：「フロートチャックWAS型」に装着しているガイドは、保持ウエハの外周可触部に接触するガイド底端部の形状が保持ウエハの自由移動を規制する機構になっているため、ウエハを非接触にて保持しているのに拘わらず位置決めが可能であります。 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

ウエハチップ非接触搬送装置

微小ウエハチップ、微小レンズを非接触にて搬送する。

非接触である。微小なワークを非接触にて搬送可能。傷、汚れの付着がない。損傷がない。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

次世代クリーン化技術！超音波 非接触 浮上・搬送装置

超音波でウェーハやガラス基板を非接触搬送！クリーンな搬送技術です！接触…

従来のソリューション、ベルヌーイチャックやエアー浮上テーブルに比べ、超音波による非接触搬送技術には数多くのメリットがあります。 ◆ 圧縮エア・コンプレッサーが不要 ◆ クリーンルームにエアーブローしません ◆ エアーブローからの汚染リスク無し ◆ 接触による異物転写リス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケー・ブラッシュ商会本社

ガラス基板非接触搬送システム

ガラス基板を非接触にて搬送システム

ぼ半減している。そのため空気消費量の問題で採用をひかえていた負荷の大きいワーク、特に第８世代大型ガラス基板（2200mmｘ2200mm）およびＰＤＰ大型ガラス基板 (2000mmx2000mm)の非接触搬送用に採用が検討されている。また排出気体が減少するためクリーンルームでの使用も可能である。、保持安定性に優れ、衝撃に強く、ガラス基板にストレスをかけることがない。薄い半導体ウエハの非接触搬送にも...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

１０Gガラス基板非接触搬送装置

気体を噴出することによりワークを非接触にて懸垂保持し搬送する非接触搬送装置。気体噴出機構に新機構を採用しており、空気噴出口は噴出角度をワークに対して小さな角度を持たせている。気流の壁面接触による摩擦損失により生じる気流速度の減速が無い...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

太陽電池・ソーラーウエハ非接触搬送装置

太陽電池ソーラーウエハ、シリコン太陽電池、アモルファス太陽電池、薄膜太陽電池セルを気体を空気を噴出することにより、太陽電池ソーラーセルを非接触にて搬送する。　ノズルより噴出する高速空気流が直接ソーラーセルに衝突しないようなノズルを装着し、高速の噴出空気流により薄い、脆いソーラーセルの破損、損傷を防いぐ機構になっております。　また...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

超薄反り板状体非接触チャック

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

◎特長１．超薄反りウエハ・板状体を非接触にて把持、搬送２．ウエハに損傷を与えない３．汚れを付けない ◎ 適応１．反りのあるウエハ２．GaSaウエハ３．極薄ウエハ４．表面処理ウエハ ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

非接触エンドエフェクター

ウエハカセットローダ・アンローダ非接触ロボットハンド

　「非接触エンドエフェクター」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。　このハンドは薄く製作されていますので、キャリアーへのウ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット

φ３００ｍｍ高屈折率ガラスウエハ撓ますことなく、ストレスをかけることなく、キズ、汚れを付着させることなくマニュアル操作によるピンセットにて非接触にて移載およびハンドリングする。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

石英製ウエハ非接触ハンド

石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出する…

ウエハを非接触チャッキングする石英製耐熱性クリーンルームにて使用可能 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

極薄ウエハ非接触搬送装置

厚さ２０μm極薄いウエハを曲げ、反り、損傷せずにに非接触にて搬送す…

TAIKOウエハ、20μm厚さ超薄ウエハ、化合物半導体ウエハを損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。ウエハにストレスを生じさせない。反りのあるウエハも損傷無く非接触にて懸垂保持搬送が可能。空気消費量が非常に少ないく、経済的である。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

キャリアー用非接触ロボットハンド

ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド

非接触にてウエハを搬送可能。ハンドが薄いためキャリアーへのウエハの出し入れが可能。クリーンルーム内で使用可能。アライメントが可能。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

非接触チャック「フロートチャックSA型」

空気消費量が従来の1/3のベルヌーイチャック

非接触にてワークを搬送する。空気消費量が従来の１／３である。保持力が強力である。保持安定性に優れている。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー

光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。自動平行調整、…

当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事でフォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。露光方式としてプロキシミ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」

気流の摩擦損失を減じた気体垂直噴流方式を採用したベルヌーイチャックド「…

ソーラーリサーチ研究所にて発明開発した気体垂直噴流方式ベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」を採用使用したベルヌーイチャックシステム・非接触搬送装置を豊富な納入実績をもとにオーダーメイドにて製作します。・ウエハ非接触搬送装置・ガラス基板非接触搬送装置・非接触ピンセット・太陽電池ウエハ非接触搬送装置・ウエハチップ非接...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

『フォトマスク・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』

クラス100以下の清浄度を保持するタイプや、大型ガラス基板対応など品揃…

・有機EL用　基板搬送ケースの製作サービス』を提供しています。基板を効率良く収納できる「アルポリケース」をはじめ、クラス100以下の清浄度を保持する「クリーンケース」、ガラス基板を非接触で搬送できる「第6世代からの大型基板非接触搬送ケース」など、用途に合わせて多数のラインアップから選べるほか、オーダーメイドにも対応。さらにケースの製作から点検・修理・保管・輸送まで ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ディー・アール・エス（DRS)

非接触ロボットハンド

気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

VGFS非接触搬送装置「フロートチャックSAC型」

気体垂直噴流方式（VGFS）を採用し、気体流の摩擦損失を減少させたベル…

量をほぼ半減させました。上記の効率の良い負圧発生および昇圧作用を有するため、ナンバーワンの高負荷・低空気消費量を実現しています。（Ａ）「フロートチャックSAC型」シリーズの性能は、同種類の非接触搬送装置である（Ｂ）旋回流方式」および（Ｃ）従来型ベルヌーイチャックに比して、同じ供給空気量であれば、２～６倍と格段の懸垂力を発揮しています。気体垂直噴流方式「フロートチャックSA...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

非接触搬送装置「フロートチャックWLNA型」

FPC・スルーホール基板・フィルム・通気性不織布を傷を付けずに掴んで搬…

アモルファス太陽電池・紙・グリーンシート・不織布等の柔軟物・通気性・発泡体・軟弱体を把持、チャックし搬送します。ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持し、搬送、積層、ハンドリングします...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

アモルファス太陽電池搬送装置

空気を噴出することによりアモルファス太陽電池・シリコン太陽電池・偏向板・ＦＰＣ・フィルムを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂する非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）にて構成される保持装置と「非接触支持走行装置」にて構成しております。アモルファス太陽電池・　偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

基板・フィルム用クリーンマシーン

非接触駆動を実現！除塵力変動を失くしたフィルムクリーンマシーン

メイン駆動部に強力なマグネットを使用することで非接触駆動を実現したテープ転写式除塵装置です。　新品テープ〜テープ終了時の、自重変化による除塵力の変化を失くし、安定した除塵力を得られるようになりました。 ●非接触駆動で、ギヤの摩擦・ロールユニッ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エム・エル・シー

非接触ピンセットＷ型

ウエハを非接触にて掴むピンセット！非接触ピンセットＷ型

ピンセットのように手で操作できる。 非接触にてウエハを掴み、搬送する。キズ汚れを付着させない。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

非接触リニアポジションセンサー

半導体製造装置向け　真空でも使用可能+高精度

【特長】 1. 高分解能1μm +高精度位置検出 2. 高速応答性能 10kHzを実現 3. ノイズリダクション 4. 耐振動 30G 5. 非接触で摩擦がなく、水、油、埃に強い 6. アブソリュート（絶対位置計測、原点復帰不要） ...

メーカー・取り扱い企業： Temposonics

ベルヌーイピンセット（５０μm超薄ガラス用）

５０μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット

気体を噴出することにより非接触にてウエハを搬送するベルヌーイチャックにバルブの付いた取っ手を付け、ピンセットのように手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるので...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

気体垂直噴流方式「非接触チャック」

空気でつかむ

●非接触にて吸引保持、搬送する。 ●きず、汚れ、パッド跡を付けない。 ●クリーンルームにて使用可能 ●通気性ワーク、穴あきワーク、極薄柔軟ワークも可能 ●手操作にても使用可能 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

非接触式直径測定器(DMC-02型)

レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ（基準ウェーハ）と…

・非接触にてウェーハの直径を測定します。・ステージを回転する事で、A直径（3ポイント）・B直径を測定することが出来ます。・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。・測定値は、付...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

基板搬送ケース　GHB-6755

LCD（＝液晶ディスプレイ）・OLED（＝有機EL）用　基板搬送ケース…

ルポリケースGHB-6755 ■□■特徴■□■ ■修理可能なため、半永久的に使用できる ■環境に優しい（エコマーク取得が可能） ■結露しにくい ■大型基板搬送ケース対応（G8まで非接触対応） ■寸法精度・耐振動性・耐剛性に優れ自動化に対応 ■帯電しにくい ■ガラスサイズ／Glass size(mm）　670×550×t0.7 ■投入枚数／Sheets　〜20枚 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ディー・アール・エス（DRS)

基板搬送用　オールインワンケース（アルポリケース）

きるオールインワンケース ■□■特徴■□■ ■修理可能なため、半永久的に使用できる ■環境に優しい（エコマーク取得が可能） ■結露しにくい ■大型基板搬送ケース対応（G8まで非接触対応） ■寸法精度・耐振動性・耐剛性に優れ自動化に対応 ■帯電しにくい ■ガラスサイズ／Glass size(mm）　1100×1300×t0.7 ■投入枚数／Sheets 〜60...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ディー・アール・エス（DRS)

ベルヌーイチャック（非接触タイプ）

反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。

ます。ひとつのチャックでひとつのサイズのウェーハとなります。引きつける力がベルヌーイの為、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウェーハに有効です。また、表裏の両面に対して非接触となるので、接触ができないウェーハに対しても有効です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

シート送り出し・搬送・積層装置

くうきりゅうによりシーとを送り出し・搬送・積層する

アモルファス太陽電池、偏光板、フィルム、シート、ウエハ、ガラス、紙等のシートを非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）により積層したシートを１枚ずつ送り出し、先端部に垂れが生じないように搬送し、精度良く積層する装置であるフィルム送出部では「空気流による送出機構」（特許）を採...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

基盤搬送用アルポリケース『GHB-9273』※TFT・PDP対応

G8まで非接触！当社『ケース管理システム』でエコマーク取得、保管・維持…

『GHB-9273』は、振動・衝撃・落下・結露テスト、および、トラック輸送テストをクリアした高耐性の基盤搬送用アルポリケースです。大型ケースに対応し、G8まで非接触。最大40枚の基盤収納が可能です。また、当社の『ケース管理システム』を利用することで、エコマークの取得も可能です。『ケース管理システム』について ■梱包・出荷作業などを当社の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ディー・アール・エス（DRS)

量産用マイクロボールマウンタ　SBP662

最大１２インチウェハに対応した量産用マイクロボールマウンタ

本機は、フラックス印刷とボール搭載機能を有したウェハー用ボールマウンタです。独自の非接触ボール搭載方式によりダメージレスでウエハ上にマイクロボールを安定して搭載できます。更に小さなボールにも対応出来ます！！...

メーカー・取り扱い企業：澁谷工業株式会社メカトロ統括本部

凹・凸レンズ共用ベルヌーイチャックW型

凸レンズでも凹レンズでも、1台の同じベルヌーイチャックW型にて非接触に…

　非接触搬送装置「凸・凹レンズ共用ベルヌーイチャックW型」は、気体をレンズに向かって噴出することにより、非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。　これはレンズと対じする作動面に凹・凸レンズ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

高精度リニヤステージ　エアースライドステージ

300mmサイズのワークのプロセスに最適！

高精度位置決めを可能にした、エアースライドステージ【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して　石定盤で支えられており、高い移動平行度と剛性を確保 ○可動部・駆動部共に非接触 　防塵効果や静粛化に貢献し、クリーンルーム内での使用も可能 ○可動部に全面浮上方式を採用　高剛性仕様が可能で、超高精度仕上げが可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウイング

空気加熱ヒーター　PF100

はんだ付け予熱、樹脂硬化、洗浄後の乾燥、その他非接触の加熱工程に！25…

空気加熱ヒーターユニット。温度コントローラーとの組合せにより、簡単に非接触での加熱が可能です。加熱工程、乾燥、硬化、はんだ付けなど　幅広いアプリケーションに摘要可能です。設定温度範囲、流用、取付アングルなどは各仕様により製作が可能となっています。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MSAファクトリー

二宮システム製　超高圧精密洗浄装置

非接触で高い洗浄効果を発揮...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

株式会社ジャステム　事業紹介

測定機・加工機・専用機・自動化設備の製造販売の株式会社ジャステム

株式会社ジャステムでは、Si、SiC、サファイア等を対象とした、ウェーハ非接触厚さ測定機、ウェーハ厚さ仕分け機、ラップ・ポリシング加工機の自動化装置、ウェーハ移載機などウェーハ製造工程における自動化・省力化機械を独自技術開発により設計・製作・販売を行い、多くのお客様に提供さ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

フィルム貼付装置｜セミオートマウンター FM-664シリーズ

プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置

■特長・貼付け圧力、スピード、温度など諸条件設定可・ノーマルテープの貼付けピッチ可変・テンションフリー貼付け・バブルフリー貼付け・表面非接触貼付け対応可・静電気対策装置・小型、軽量、小フットプリント ■メリットウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チッ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノビジョン本社

スピンソニッククリーナー

サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄。

◆薬液対応ファインジェット＆EDジェットにより高い洗浄能力を実現 ◆非接触洗浄(プラシレス洗浄)によりメンテナンスフリーとダメージレスを実現 ◆１ステージで各洗浄・乾燥工程を可能に ◆完全常温プロセスのためヒーターを必要とせず、消費電力を大幅にカット ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プレテック

ウェーハ厚さ測定機（TMEシリーズ）

大人気のTMEシリーズ

カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。バーコードリーダを装備し、読み取ったバーコードナンバーをExcelの指定セルに保存可能です。 □TME-03型□ シリコンウェーハ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム

ウェーハ厚さ測定機（TMR）

シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定さ…

シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジャステム