PRP/HSR対応 冗長化装置RedBOX『RB304』

PR制御システム等における周辺装置のゼロ復旧時間を実現。 クリティカルな…

PRP/HSR(IEC62439-3）に対応していないデバイスも本製品と接続すれば、周辺装置をその冗長ネットワークに参加することが可能となります。 ＜PRP製品＞ 並列接続でLAN構成を二重化。 一方の回線が故障してもメッセージロスが生じません。 ＜HSR製品＞ LAN回線をリング構成とし、右回り・左回りに同じメッセージを伝達。 一方が故障してもメッセージロスが生じず、遅延も起...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リョウセイ

【事例集進呈】オートコネクタ/自動着脱装置

PR工場の自動化・省人化を実現！流体・粉体問わずご要望に応じた自動着脱装置…

当社では、スラリー・粉体などの配管を自動調芯により着脱可能な 「オートコネクタ(自動着脱装置)」を取り扱っております。 生産性の向上、多品種少量生産、省人化といったメリットがあり、 電池製造及び医薬等、スラリー・粉体を扱うユーザーに好適。 流体・粉体問わずご要望に応じた自動着脱装置の製作・納入いたします。 【特長】 ■スラリー・粉体配管を自動で着脱出来、粉体のブリッジ除去に...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

小型実験機で高精度を実現　スリット式塗布装置　リサーチコータ

様々な塗布条件や材料に柔軟に対応、高精度な塗布均一性を実現したコンパク…

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

半導体製造装置『スリットコーター』

独自のスリット技術を駆使した高品質なスリットコーター！

当社では、低粘度から高粘度まで幅広い塗布材料に対応する 『スリットコーター』を提供しております。 スリットノズルを採用。 リニアでスライドさせ、高い精度で制御することでガラス基板に レジスト液を均一に塗布可能です。 【特長】 ■低粘度から高粘度まで幅広い塗布材料に対応（粘度：1～10,000cps） ■0.1μmの薄膜から10μmの厚膜まで対応（10μm以上の厚膜も対応可能）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コンドー 横浜工場

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。 設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。 対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

段取り替えなし！複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター

現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…

2種類以上のウエハサイズを兼用した装置製作が「段取り替えなし」で可能です。 実績例 ■2・3・4インチ兼用装置 ■4・5インチ兼用装置 ■4・6インチ兼用装置 ■6・8インチ兼用装置 ■8・12インチ兼用装置 ウエハ重量、ウエハ材質によっても変わりますので、 まずはお気軽にご相談ください。 2種類のウエハサイズの専用装置を1台ずつ設置することを考えれば、設置面積は実質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ロール・スプレーコーターの置き換え！回転カップ式レジスト塗布装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

当社の装置はロールコーターやスプレーコーターなどで塗布するような基板でもスピンコーティングで処理をすることができます！ 細長い長方形の基板や正方形に近い角基板、段差のある基板や厚膜などでもスピンコーティングで塗布ができる回転カップ式塗布装置です（特許取得済み） マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップをご用意しています。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コンパクト！装置幅300mm自動レジスト塗布装置（コーター）

装置「幅」が300mm！ウェハサイズではなくて装置の幅が300mmの装…

装置幅が300mmのミニマルな装置を作製できます！ 幅は300mmですが、その分高さと奥行きはそれなりの長さになります。 300mm幅での装置作製実績があるので、後はメンテナンス性やトラブル時の部品交換などのランニングコストを考慮して装置の大きさを決定していただけます。 設置スペースの制限や建物の出入り口の大きさの制限、エレベーターなどの設置位置までの搬送ツールの大きさの制限などに対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。 ウェーハ搬送装置（ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

両面プロセスに最適！両面自動フォトレジスト塗布装置　コーター

ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！

一度ウェハをセットするだけで、ウェハの両面プロセスが自動で行える装置です。 塗布は片面ずつ行いますが、反転ユニットを使い、自動運転が終わる時には両面にレジストが塗られています。 ウェハの処理が律速しないように最適化した塗布・ベーク・反転の搬送手順で処理を行います。 ポジ・ネガどちらのレジストでも、低粘度～高粘度まで対応可能です。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

コンバーティング関連機械　設計・製造サービス

コンバーティング関係機械などの産業機械製作のことなら当社まで！

当社では、スリッター、巻替機、コアカッター、各種中古機械など コンバーティング関連機械の設計・製作・販売を行っています。 些細なことや他社製機械、その他のご相談にも身軽なフットワークで 対応いたします。 お気軽にお問い合わせください。 【営業品目】 ■各種機械 　・スリッター機、巻替機、タイコ巻取機、巻出装置、巻取装置 　・輪切カッター機（手動式、自動式） 　・紙管カ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社トイザキ物産

【半導体製造装置関連】ミニマルスプレーコーター

レジストをスプレーノズルで塗布する装置。 つくば産総研・ミニマルファ…

パルスモータ軸数：3軸 ワーク（ノズル）移動用ＸＹステージ 塗布材料供給用シリンジ 塗布用ホットプレート：最大100℃ ベーク用ホットプレート：最大150℃ 気体制御：スプレーノズル用 ウェハ裏面回り込み用 ノズル乾燥防止：カップに液浸（PEGMA等） ウェハ供給：airPLAD hs5.0より セットパラメータ ・スプレー用空気圧（霧化圧） ・塗布材料供給シリンジ送り量 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライズワン

紫外線照射装置 | UV硬化装置シリーズ

ハンディ・卓上・ユニット・LED・コンベア型まで、様々なご用途に対応で…

実験用・ラボ用・製造ライン用など目的ご用途にあわせて、高圧水銀ランプ装置・メタルハライドランプ装置、LED装置を多彩に取り揃えています。UV光源ランプは１００Ｗから１０ｋＷオーバーまで網羅、UV硬化装置で業界No,1の品揃え（プロ業務用）を誇るラインナップです。 ...実験用から製造ライン用まで、UV硬化装置で業界No,1の品揃え。ハンディ・卓上・ユニット・LED・コンベア型まで、様々なご用途に...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社マリオネットワーク

高出力紫外線照射装置『UVflasher TX2000』

瞬時の硬化を実現！パルス発光による環境配慮型高出力紫外線照射装置！自動…

『UVflasher TX2000』は、紫外線を強力なパルス発光により照射し、 連続発光方式と比べて熱の発生が少なく、遥かに短い時間で 樹脂の硬化を実現した紫外線照射装置です。 キセノンガスを使用しているので、環境負荷が少なく、発光電圧、 発光パルス数などを目的に合わせて容易に設定変更が可能。 専用ソフトが標準で付属されているので、導入後直ちに使用できます。 当製品は、単体で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクト

半導体製造装置移設・立ち上げ・機能改善サービス

半導体製造装置の技術サービスはお任せ下さい。

特にステッパー、コーター・デベロッパーについては豊富な経験と実績により顧客数が拡大しております。投資予算が確保できずお困りになっている方がいらっしゃいましたらどうぞ弊社へご一報下さい。ご予算以上の成果を提供させて頂きます。...半導体生産の増減や生産品目の変更に伴い、生産装置の仕様変更やレイアウト変更等には膨大な時間とコストを要します。弊社のサービスは通常の約半額のコストで時間も従来の３０〜４０％...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

半導体製造装置（中古装置）の売買

中古装置活用で大幅なコストダウンができるだけでなく、導入後のアフターサ…

半導体製造装置の中古装置を売買しております。特にコーターデベロッパー、ＣＶＤ装置、エッチャー等は在庫もしております。中古装置は現状有姿渡しから改造、立ち上げ業務迄の一貫したソリューション等、ご要求内容に応じたご...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

株式会社テクノスマート　会社案内

“モノづくり”の原点に忠実！設備の組立、検査から出荷まで、一貫して保証…

ーズを形にする技術で 新しい価値を創造する企業を目指してまいりますので、今後とも何とぞ 変わらぬご支援ご指導を賜りますよう、お願い申し上げます。 【事業内容】 ■リチウムイオン電池電極製造装置 ■液晶ディスプレイ用偏光膜製造装置 ■他各種フィルム製造装置 ■コーティング・ラミネーティング用精密機械の設計製造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート

【コーター】小型塗工機、低価格、短納期、試作、選べる塗布方式

ダイ、グラビア、ロールコート、ロールtoロールの装置を小型、低価格、短…

コアボックスジャパンはコーターやロールプレスなどの二次電池試作設備、 高機能フイルム関連のコーターなどの装置を低価格、短納期で提供します。 また、制御盤設計製作、制御システムの構築を得意とする電気部門があり、様々な装置の制御お任せください。 当社の『コーター』は、小規模な研究施設に適した小型のものから、 生産機まで幅広く対応しています。 塗布方式もお客様のニーズに適した提案をい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コアボックスジャパン

薄膜形成装置 エレクトロスプレー SLEF-100

室温・大気圧下で高品質な薄膜を形成！電着による塗布とX-Yロボットで高…

『室温・大気圧』下であるにも関わらず、均一な薄膜を形成致します 『電着による塗布』＋『X-Yロボット』＝ムダのない効率的な塗布！ マスク板を汚しにくく『お手入れも簡単』！ 【特徴】 ・小型な装置でスプレーコーティング ・高温・高真空下ではなく、室温・大気圧下で塗布 ・電着による塗布により塗液を効率的に塗布！ ・X-Yロボットを使用した正確なコーティング ・マスク板を汚しにくいの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

技術者必見！高機能フイルム・二次電池等のコーターの選び方をご提案

試作に好適！小型にも対応！豊富な塗布方式で好適なコーターを短納期で提供…

コアボックスジャパンの『コーター』は、小規模な研究施設に適した小型のものから、 生産機まで幅広く対応しています。 ダイ、グラビア、ロールコート、バーコート、ディップコートなど、 ロールtoロールの装置を「小型」「低価格」「短納期」で製造し、 塗布方式もお客様のニーズに適した提案をいたします。 また、お客様独自のシステムは可能な限り搭載できる設計をいたします。 【特長】 ■低価...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コアボックスジャパン

ラボ用、高精度スリットコータ『リサーチコータ』LC-R300G

企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精…

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

反りウェハも搬送！ベルト搬送式自動レジスト塗布装置（コーター）

ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットで…

【特長】 ■ベルト搬送で高スループット（処理能力が高い） ■反りウェハの搬送も可能！ ■低価格を実現 ■自動ウェハサイズ認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■省レジストで多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ ロボットを使わず、高スループットを実現！ベルト搬送でのスピンコーターです。 トラックシステム（ベルト搬送）のため反りウェハの搬...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

小型で高精度！スリットコータ『リサーチコータ』LC-R400G

企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精…

液晶や有機ELディスプレー製造工程の要となる『コーターデベロッパー』は、最大で約3m角の巨大なガラス基板に薬液を高速かつ１マイクロメートルレベルで均一に塗布現像する装置で、当社は世界トップシェア（※）を獲得しています。（※アレイ用コータ―デベロッパー、2022年当社調べ） 『リサーチコータ』は、この塗布技術をラボスケールに展開したスリットコーター（ダイコーター）。 小型ながらも非常に高精度な均一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社SCREENファインテックソリューションズ

フォトリソグラフィー装置　ME-2500

有機EL等の基板製造装置に最適！

基板を受取りスピンコートに手動で搬入され、レジストのスピンコート、EBR装置による洗浄、ベークユニット装置によるプリベーク・ポストベーク及びクリーニングを行い、現像装置により現像を行い、手動で基板の取り出しを行う装置です。...スピンコート装置・EBR装置・ベークユニット装置・現像装置で構成されます。 【装置寸法】 ●スピンコート装置：W2000×D1300×H2150mm ●EBR装置：W...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジス…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【総合カタログ無料プレゼント】ディップコーター、ナノインコーター

実験・開発用卓上ディップコーター(ディップコーティング装置)、ナノイン…

◆◆今なら総合カタログ無料プレゼント中です。◆◆ 簡易(速度の可変で)に、低コストで、薄膜を均一にコーティングするディップ コーターや、離型剤を定着させるナノインコーターなど、薄膜コーティング技術の ディップ方式を、豊富なラインアップで、多くの分野に展開し用途に応じて選択できます。 様々なプロセスに対応する3次元タイプのナノスピードディップコーター、 両面同時に薄膜を形成することがで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

フォトレジスト量削減！回転カップ式塗布装置（スピンコーター）

ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効！回転カップ式スピンコータ…

回転カップ式スピンコーターは高粘度材料（ポリイミドや高粘度レジスト）の使用量を大幅に削減できます！ 弊社取得特許により、最小塗布量の薬液を低回転で均一に塗り広げることで、使用量を削減することに成功しました。 削減の幅は薬液によりますが、使用量3割～7割の削減実績があります。 生産量に合わせて、マニュアル機～フルオート機までのラインアップを揃えています。 設計から製造・販売ま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

小サイズ用卓上ディップコーター(デモ機、レンタル機貸出中)

"幅広い速度と可動域、革新的なディップコーター" +++++++++…

"革新的なディップコーターは、驚異的な柔軟性と性能を提供します。300mmの広大な可動域と0.1mm/秒から60mm/秒 この設備はナノテクノロジー、半導体製造、生体医学、光学、材料科学など、幅広い分野での革新的なコーティングとプロセス制御に貢献します。微細な構造物やナノマテリアルの合成、高精度なパターン形成、生体適合性のコーティング、光学デバイスの性能向上、新材料の研究、さらには触媒の開発まで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

超小幅・超狭域ロールtoロール除塵装置「CMX」

ワーク幅 300～1500mmに対応！片面・両面小幅アプリケーション

「CMX」超小幅ウェブクリーナー装置は、片面・両面用小幅ウェブアプリケーション対応しており、ワーク幅は300～1500mmまで対応しています。 シリコン×粘着シートロールの転写方式、もしくはGapless(TM) ロールtoロールSRR/ULTシステムから選択できます。 極めて狭い空間にラップアングルでの使用に最適、標準規格のロール径はΦ70mmとΦ90mmです。 【特徴】 ○超コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤンゴージャパン

ナノスピードディップコーター(カタログ配信中)

産業界に革新をもたらす超低速ディップコーター。これまでにない次元へと進…

++++++++++++++++++++ 　現在、HPで動画紹介中です。 ++++++++++++++++++++ 1.超低速コーティング技術: 弊社のディップコーターは、驚異的な低速で作動し、素材に均等で一層なコーティングを施します。これにより、製品の品質と仕上がりが向上します。 2.多機能性: さまざまな素材に対応する多機能性が魅力。ウエハ、金属、プラスチック、ガラスなど、幅広い材...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

ナノスピードディップコーター(デモ機、レンタル機貸出中)

ディップ速度、超低速度の1ナノm/sec、3次元制御を実現!！ 　現…

業界最大の引上げ速度範囲(1nm/secから60mm/sec)を備えたディップコーターは、次世代のコーティングソリューションです。その幅広い適用範囲は驚くべき革新性を提供します。 この設備はナノテクノロジー分野において微細な構造物やナノマテリアルの合成、半導体製造において微細なパターン形成、エレクトロニクスコンポーネントのコーティングにおいて高効率なソリューションを提供します。 生体医学研究者...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＩ

【デモ機貸出中！】卓上型スピンコーター

省スペースなスピンコーター　排気装置もこの一台に内包　インナーカップ方…

『卓上型スピンコーター』は、平滑な基材を高速回転させることで遠心力によって塗膜を生成する装置。主に半導体製造工程で活躍します。 塗布サイズはMAXφ150～MAXφ450（卓上型／インナーカップ方式）をラインアップしています。 また、デモ機の貸出や実際に弊社にてテスト的に厚み測定を行う事も随時受付ております。ご興味有る方はぜひお気軽にお問合せ下さい。 ※詳しくはカタログダウンロード、...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ウェブクリーナーの取り付けスペース問題に！コンパクトタイプ

CMXシリーズは取付スペースの問題でウエブクリーナーをあきらめていた皆…

装置横幅100ｍｍのスペースがあれば、転写式ウエブクリーナー装置の導入が可能になりました！ アキュムレーター後、巻き取り前や乾燥機後のほんのわずかなスペースがあれば、転写式でしっかり除塵が可能です。ご興味がある方は、写真にはなりますが、実際の装置をお見せすることも可能です。 ぜひお気軽にお問い合わせ下さい。 ＜コンバーティングの技術領域＞ コーティング技術（ウェットコーティング、ドライ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤンゴージャパン

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ 【ASAPのコーター・デベロッパ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater

低～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの半自動機（セミオート）も作製…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために半自動（セミオート機）の製作を低価格で実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

R&Dや少量生産に最適！手動レジスト塗布装置(スピンコーター)

研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置！卓上タイプとは違う自動機と同…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、装置の低価格を実現しました♪ 自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために最適な手動機（マニュアル）装置です。 卓上タイプとは違い、自動機と同等のレジスト塗布が可能なので、自動機へ移行した際もプロセスの条件出し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【コーター】小型、低価格、短納期、試作に好適、豊富な塗布方式

ダイ、グラビア、ロールコート、ロールtoロールの装置を小型、低価格、短…

コアボックスジャパンはコーターやロールプレスなどの二次電池試作設備、 高機能フイルム関連のコーターなどの装置を低価格、短納期で提供します。 また、制御盤設計製作、制御システムの構築を得意とする電気部門があり、様々な装置の制御お任せください。 当社の『コーター』は、小規模な研究施設に適した小型のものから、 生産機まで幅広く対応しています。 塗布方式もお客様のニーズに適した提案をい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コアボックスジャパン

大型薄膜コーティング装置（スプレーコーター）SP600型

長年の薄膜コーティング技術＆膜形成のノウハウ＆データベースで、お客様の…

利用ください。 弊社の薄膜コーティング装置は小型から大型まで、R&D用から量産用まで、お客様のニーズにお応えしてカスタマイズし、特注仕様で製作します。これら弊社コーティング装置は、量産用MEMS製造装置やMEA塗布装置として数多くの実績が有ります。 慶應藤沢イノベーションビレッジ（SFC-IV）で試作を実施しています。 ※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所　

10000cP！高粘度対応自動レジスト塗布装置（スピンコーター）

10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能！ASAP（エイ・エス…

高粘度レジストの塗布に強みを持っています！ 例えば、400cP以上のレジストでも面内均一±5％以内に納めます（φ300mmウェハ） ASAP(エイ・エス・エイ・ピイ)特許の回転カップ方式によって厚膜を均一良く塗布することが可能です（保有特許：第3821468） 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高粘度フォトレジスト対応！密閉式自動レジスト塗布装置（コーター）

高粘度フォトレジスト塗布に自信があります！10000cPのポリイミドで…

高粘度フォトレジストやポリイミド塗布の実績が多数あります！ 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 ベローズポンプやシリンジの対応も可能です！ マニュアル機～フルオート機までお客様の生産量に合わせて設計から製造まで行います。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■高粘度塗布でも高均一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

大型角基板用（～430mm）回転カップ式自動レジスト塗布コーター

430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、…

角基板は正方形、長方形などあらゆる形状のものを均一に塗布できます。 また、弊社の回転カップ式スピンコーターでは、ある程度の段差も気にすることなく均一に塗ることができます（高粘度で実績多数！） 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ