スピンコート | イプロスものづくり

真空紫外エキシマランプを使用！ポリビニルアルコールの化学構造がどう変化…

は、短波長で光子エネルギーが高いため、非熱過程で分子の結合を切断することができ、洗浄や微細加工、表面改質などへの応用が進められています。当資料では、金蒸着した基板にPVA水溶液をスピンコート後、加熱処理を行い、膜を作製し窒素あるいは乾燥空気雰囲気下でキセノンエキシマランプ（172nm）を照射。赤外分光器ならびにX線光電子分光分析装置を用い、VUVの照射に伴うPV...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クォークテクノロジー

スプレーコーター　ACingTec　IS-8型

立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター

【特長】　●微細な凹凸立体形状に均一なコーティング可能　●10nmから数100μmの広い範囲の応用が可能　●コーティング液の利用効率が高い（従来スピンコートの数十倍程度）　●エッジカバーの良好な薄膜コーティングが可能　●高メンテナンスを実現【仕様】　●4インチ、6インチ、8インチウエハーサイズ　（他形状にも対応）　●...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エーシングテクノロジーズ湘南藤沢研究所　

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-220AII』

高性能・低価格！研究、実験用にも適した小型のスピンコート機ACT-22…

アクティブの人気機種『卓上型スピンコーターACT-220AII』は弊社のスピンコーター標準機の中で最も小型の手動滴下用スピンコート機です。約18kgと女性でも持てる程度の重さで持ち運びができるため、場所を選ばずご使用いただけます。低価格ながら1分間の回転数を0～7000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下とと...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

加熱スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII-H』

注目度高し！　試料台の加熱が可能な卓上型スピンコート機ACT-300A…

は、アルミ製試料台の直下にヒーターを内蔵した加熱式の卓上型手動滴下用スピンコーターです。基板をのせる試料台を加熱するので、例えばワックスなどある程度基板が温まっていないと伸展性の悪い液をスピンコートする際に便利です。 1分間の回転数を0～6000の範囲で設定でき、その精度は±1rpm以下ととても良いです。1ステップの動作に「回転数」「加減速時間」「キープ時間」を同時に設定することがで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-300AII』

高性能・低価格！6インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-30…

負荷時) ■カップ（内径）：Φ300 ■外形寸法：W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ150mmまで、四角基板の場合は□110mmまで）の場合はこちらのカップ径300mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-400AII』

□150mm、8インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-400…

負荷時) ■カップ（内径）：Φ400 ■外形寸法：W450×D550×H扉閉313(扉開745)mm ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター400W）50 / 60Hz スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ200mmまで、四角基板の場合は□150mmまで）の場合はこちらのカップ径400mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-450AII』

□180mm、10インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-45…

サーボモーター400W）50 / 60Hz 基板が小型（丸基板の場合はφ250mmまで、四角基板の場合は□180mmまで）の場合はこちらのカップ径450mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含め...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

卓上型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-500AII』

□220mm、12インチ基板まで対応の卓上型スピンコート機ACT-50…

付762)×H扉閉365(扉開893)mm 基板が小型（丸基板の場合はφ300mmまで、四角基板の場合は□220mmまで）の場合はこちらのカップ径500mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含め...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

自立型スピンコーター（スピンコート機）『ACT-600AII』

□300mm、16インチ基板まで対応の自立型スピンコート機ACT-60…

085)×H扉閉986(扉開1640)mm 基板が小型（丸基板の場合はφ400mmまで、四角基板の場合は□300mmまで）の場合はこちらのカップ径600mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径を大きくすることで対応可能です。下方にあるラインナップで対応基板サイズをご確認ください。 ◎試料台が必須オプションです。スピンコートする基板の厚みを含め...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

高精度・高速回転スピンコーター『ACT-300A II-HS』

MAX12000rpm！高精度な高速回転スピンコート機ACT-300A…

『ACT-300A II-HS』は、MAX12,000±2rpmの高精度・高速回転が可能な卓上スピンコーターです。粘性が高いスピンコート液や揮発しやすいスピンコート液で高速回転で速やかに液を塗り拡げたいなど、標準機の回転数では足りない場合には、是非高速回転をご検討ください。こちらをベースにした特注（オプション追加）も承れ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

精密自動滴下スピンコーター『ACT-300AIIS』

㎕レベルで制御可能な精密自動滴下！　卓上型スピンコート機ACT-300…

mlより選択可能【仕様（一部抜粋）】 ■電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz ■制御方法：マイコン制御（テンキー入力でプログラム簡単） スピンコートしたい基板が小型（丸基板の場合はφ150mmまで、四角基板の場合は□110mmまで）の場合はこちらのカップ径300mmの機種をご検討ください。 スピンコートしたい基板が大きい場合はカップ径...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アクティブ

スピン洗浄装置　高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A

均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

高性能型減圧式スピンコーターは、各種基板にレジスト液を自動でスピンコートする装置です。チャンバー内の雰囲気をコントロールして均一な高精度のコートができる様技術が盛り込まれています。即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います。詳しくはお問い合わせ、もし...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

大型基板用レジストコータ

チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れるレジストスピンコート…

当社で取扱う大型基板用レジストコータのご紹介です。大型基板に対応したレジストスピンコートユニットです。チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れ、大型の基板に対応した自動搬送機付のモデルも御提案できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ソフエンジニアリング

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター JASC-200型

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…

自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは、2"□～5"□基板又はφ2"～φ5"基板に適用します。詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

太陽電池のハードコート等　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

太陽電池のTiO2やハードコート等実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で高価な真空設備コストを大幅に削減します。粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。排気、廃液処理が従来システムに比べ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

EHCセル　評価用セル

世界標準のＥＨＣセルです

【仕様】 ○ポリイミド樹脂：LX-1400（日立化成製） ○塗布厚：200?以下 ○垂直配向剤：セチルトリメチルアンモニウムブロマイド ○膜の製法：スピンコート ○ラビングロール →繊維：ポリエステル →繊維長さ：8mm →ロール直径：58mm ○ラビング条件 →ロール回転数：600rpm →移動速度：30mm/sec →回数：３往復 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イーエッチシー

EHCセル　クシ型電極セル

近年注目されている横電界タイプの高速材料の研究ツールです。

【仕様】 ○ポリイミド樹脂：LX-1400（日立化成製） ○塗布厚：200?以下 ○膜の製法：スピンコート ○ラビング条件 →ロール回転数：600rpm →移動速度：30mm/sec →回数：３往復 ○ラビングロール →繊維：コットン →繊維長さ：2.5mm →ロール直径：52mm ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イーエッチシー

EHCセル　クシ型電極セル

世界標準のＥＨＣセルです

【仕様】 ○ポリイミド樹脂：LX-1400（日立化成製） ○塗布厚：200?以下 ○膜の製法：スピンコート ○ラビング条件 →ロール回転数：600rpm →移動速度：30mm/sec →回数：３往復 ○ラビングロール →繊維：コットン →繊維長さ：2.5mm →ロール直径：52mm ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イーエッチシー

EHCセル　クサビセル

液晶材料及び関連素材の基礎的情報を得るための研究用ツール。

【仕様】 [配向膜] ○ポリイミド樹脂：LX-1400（日立化成製） ○膜の製法：スピンコート [ラビング] ○ラビングロール →繊維：ポリエステル →繊維長さ：8mm →ロール直径：58mm ○ラビング条件 →ロール回転数：600rpm →移動速度：30mm/sec ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イーエッチシー

EHCセル　クサビセル

世界標準のＥＨＣセルです

【仕様】 [配向膜] ○ポリイミド樹脂：LX-1400（日立化成製） ○膜の製法：スピンコート [ラビング] ○ラビングロール →繊維：ポリエステル →繊維長さ：8mm →ロール直径：58mm ○ラビング条件 →ロール回転数：600rpm →移動速度：30mm/sec ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イーエッチシー

イーエッチシーの新技術！評価セルのギャップ範囲拡大に成功！

研究者の方必見！評価セルのギャップ範囲が０．７～１００μｍに拡大しまし…

○ポリイミド樹脂：LX-1400（日立化成製） ○塗布厚：200?以下 ○垂直配向剤：セチルトリメチルアンモニウムブロマイド ○膜の製法：スピンコート ○ラビングロール →繊維：ポリエステル →繊維長さ：8mm →ロール直径：58mm ○ラビング条件 →ロール回転数：600rpm →移動速度：30mm/sec →回数：３往復 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イーエッチシー

液晶レジスト　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レジストやハードコートなど実績多数の成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で高価な真空設備コストを大幅に削減します。粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。排気、廃液処理が従来システムに比べ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

防曇膜など多数実績あり　成膜コーター『SPM-300シリーズ』

レンズ表面のハードコートや防曇膜に好適な成膜コーター

『SPM-300シリーズ』は、微少流量での成膜に適した成膜コーターです。塗布材料の塗着効率が高く、従来スプレー方式と比較し 1/2に削減、スピン方式と比較すると1/30以下に削減可能です。常圧環境で塗布成膜するため、真空環境の設備が不要で高価な真空設備コストを大幅に削減します。粒径の大きな固形物が混合されている材料が使用可能。排気、廃液処理が従来システムに比べ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研